6 လက်မ HPSI SiC အလွှာ wafer Silicon Carbide တစ်ပိုင်းစော်ကားသော SiC wafers
PVT Silicon Carbide Crystal SiC ကြီးထွားမှုနည်းပညာ
SiC တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲအတွက် လက်ရှိ ကြီးထွားမှုနည်းလမ်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါသုံးမျိုးပါဝင်သည်- အရည်အဆင့်နည်းလမ်း၊ အပူချိန်မြင့်မားသော ဓာတုအငွေ့ထုတ်နည်းနှင့် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအခိုးအငွေ့အဆင့် သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနည်းလမ်း (PVT) နည်းလမ်းတို့ဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့အနက်၊ PVT နည်းလမ်းသည် SiC တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအတွက် သုတေသနပြုပြီး အရင့်ကျက်ဆုံးနည်းပညာဖြစ်ပြီး ၎င်း၏နည်းပညာဆိုင်ရာအခက်အခဲများမှာ-
(1) SiC single crystal သည် 2300°C မြင့်သော အပူချိန်တွင် ပိတ်ထားသော ဂရက်ဖိုက်ခန်းအထက် "အစိုင်အခဲ-ဓာတ်ငွေ့-အစိုင်အခဲ" အဖြစ်ပြောင်းလဲခြင်း recrystallisation လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန်၊ ကြီးထွားမှုသံသရာသည် ရှည်လျားပြီး၊ ထိန်းချုပ်ရန် ခက်ခဲပြီး microtubules၊ ပါဝင်မှုများနှင့် အခြားသော ချို့ယွင်းချက်များ ဖြစ်နိုင်သည်။
(2) Silicon carbide တစ်ခုတည်းသော crystal အမျိုးအစား 200 ကျော်ပါဝင်သော်လည်း ယေဘူယျအားဖြင့် တစ်ခုတည်းသော crystal အမျိုးအစားကိုထုတ်လုပ်ခြင်း၊ crystal type အသွင်ပြောင်းထုတ်လုပ်ရလွယ်ကူပြီး ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အမျိုးအစားများစွာပါဝင်မှုများသောချို့ယွင်းချက်များဖြစ်ပေါ်ခြင်း၊ တစ်ခုတည်းသော crystal type ၏ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် တည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းချုပ်ရန်ခက်ခဲသည် ဥပမာ၊ 4H-type ၏လက်ရှိခေတ်ရေစီးကြောင်းဖြစ်သည်။
(3) Silicon carbide တစ်ခုတည်းသော crystal growth thermal field သည် temperature gradient ရှိပြီး crystal growth process တွင် မူလအတွင်းစိတ်ဖိစီးမှုရှိလာပြီး ရလဒ် dislocations, faults and other defects induced.
(4) Silicon carbide တစ်ခုတည်းသော crystal ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော semi-insulating crystal သို့မဟုတ် directionally doped conductive crystal ကိုရရှိရန်အတွက် ပြင်ပအညစ်အကြေးများကို တင်းကြပ်စွာထိန်းချုပ်ရန်လိုအပ်ပါသည်။ RF စက်များတွင်အသုံးပြုသော semi- insulating silicon carbide substrates များအတွက်၊ အလွန်နိမ့်သောညစ်ညမ်းမှုအာရုံစူးစိုက်မှုနှင့် crystal ရှိအမှတ်ချို့ယွင်းချက်အမျိုးအစားများကိုထိန်းချုပ်ခြင်းဖြင့်လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကိုရရှိရန်လိုအပ်သည်။
အသေးစိတ် ပုံကြမ်း

