Si/SiC နှင့် HBM (Al) အတွက် ၁၂ လက်မ အပြည့်အဝ အလိုအလျောက် တိကျသော အတုံးလေးများ လှီးဖြတ်သည့် လွှစက် ဝေဖာ သီးသန့်စနစ်
နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ
| ကန့်သတ်ချက် | သတ်မှတ်ချက် |
| အလုပ်လုပ်နိုင်သော အရွယ်အစား | Φ၈"၊ Φ၁၂" |
| စပင်ဒယ်လ် | ဝင်ရိုးနှစ်ခုပါ ၁.၂/၁.၈/၂.၄/၃.၀၊ အများဆုံး ၆၀၀၀ rpm |
| ဓားသွားအရွယ်အစား | ၂" ~ ၃" |
| Y1 / Y2 ဝင်ရိုး
| တစ်ဆင့်ချင်း တိုးခြင်း- ၀.၀၀၀၁ မီလီမီတာ |
| နေရာချထားမှုတိကျမှု: < 0.002 မီလီမီတာ | |
| ဖြတ်တောက်နိုင်သည့် အကွာအဝေး: ၃၁၀ မီလီမီတာ | |
| X ဝင်ရိုး | ကျွေးနှုန်းအပိုင်းအခြား: 0.1–600 mm/s |
| Z1 / Z2 ဝင်ရိုး
| တစ်ဆင့်ချင်း တိုးခြင်း- ၀.၀၀၀၁ မီလီမီတာ |
| တည်နေရာတိကျမှု: ≤ 0.001 မီလီမီတာ | |
| θ ဝင်ရိုး | နေရာချထားမှုတိကျမှု: ±၁၅" |
| သန့်ရှင်းရေးဌာန
| လည်ပတ်နှုန်း: ၁၀၀–၃၀၀၀ rpm |
| သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်း- အလိုအလျောက်ဆေးကြောပြီး လှည့်၍အခြောက်ခံခြင်း | |
| လည်ပတ်မှုဗို့အား | ၃-အဆင့် ၃၈၀ဗို့ ၅၀Hz |
| အတိုင်းအတာ (W×D×H) | ၁၅၅၀ × ၁၂၅၅ × ၁၈၈၀ မီလီမီတာ |
| အလေးချိန် | ၂၁၀၀ ကီလိုဂရမ် |
အလုပ်လုပ်ပုံ အခြေခံမူ
ဤကိရိယာသည် အောက်ပါနည်းပညာများမှတစ်ဆင့် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော ဖြတ်တောက်မှုကို ရရှိသည်-
၁။ ခိုင်ခံ့မှုမြင့်မားသော Spindle စနစ်- ၆၀,၀၀၀ RPM အထိ လည်ပတ်နှုန်း၊ မတူညီသော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများနှင့် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် စိန်ဓားသွားများ သို့မဟုတ် လေဆာဖြတ်တောက်သည့် ခေါင်းများ တပ်ဆင်ထားသည်။
၂။ ဘက်စုံဝင်ရိုး ရွေ့လျားမှု ထိန်းချုပ်ခြင်း- ±1μm ၏ X/Y/Z-ဝင်ရိုး နေရာချထားမှု တိကျမှု၊ သွေဖည်မှုကင်းသော ဖြတ်တောက်မှုလမ်းကြောင်းများကို သေချာစေရန် မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော ဆန်ခါစကေးများနှင့် တွဲဖက်ထားသည်။
၃။ ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်သော အမြင်အာရုံ ချိန်ညှိမှု- မြင့်မားသော ရုပ်ထွက်အရည်အသွေးရှိသော CCD (5 megapixels) သည် လမ်းများဖြတ်တောက်ခြင်းကို အလိုအလျောက် မှတ်မိပြီး ပစ္စည်းကောက်ကွေးခြင်း သို့မဟုတ် မညီမညာဖြစ်ခြင်းအတွက် ပြန်လည်ချိန်ညှိပေးသည်။
၄။ အအေးပေးခြင်းနှင့် ဖုန်မှုန့်များ ဖယ်ရှားခြင်း- အပူသက်ရောက်မှုနှင့် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချရန်အတွက် ပေါင်းစပ်ထားသော ရေသန့်စင်အအေးပေးစနစ်နှင့် ဖုန်စုပ်စက်ဖြင့် စုပ်ထုတ်သည့် ဖုန်မှုန့်များ ဖယ်ရှားခြင်း။
ဖြတ်တောက်ခြင်းမုဒ်များ
၁။ ဓားသွားလှီးဖြတ်ခြင်း- Si နှင့် GaAs ကဲ့သို့သော ရိုးရာတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများအတွက် သင့်လျော်ပြီး kerf အကျယ် 50–100μm ရှိသည်။
၂။ Stealth Laser Dicing: အလွန်ပါးလွှာသော ဝေဖာများ (<100μm) သို့မဟုတ် ပျက်စီးလွယ်သော ပစ္စည်းများ (ဥပမာ၊ LT/LN) အတွက် အသုံးပြုပြီး ဖိစီးမှုကင်းစွာ ခွဲထုတ်နိုင်စေပါသည်။
ပုံမှန်အသုံးချမှုများ
| လိုက်ဖက်သောပစ္စည်း | လျှောက်လွှာနယ်ပယ် | လုပ်ဆောင်ရန် လိုအပ်ချက်များ |
| ဆီလီကွန် (Si) | IC များ၊ MEMS အာရုံခံကိရိယာများ | မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသောဖြတ်တောက်ခြင်း၊ ချစ်ပ်ခြင်း <10μm |
| ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) | ပါဝါကိရိယာများ (MOSFET/diodes) | ပျက်စီးမှုနည်းသော ဖြတ်တောက်ခြင်း၊ အပူချိန်စီမံခန့်ခွဲမှု အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း |
| ဂယ်လီယမ် အာဆင်းနိုက် (GaAs) | RF ကိရိယာများ၊ အော်တိုအီလက်ထရွန်းနစ်ချစ်ပ်များ | မိုက်ခရိုအက်ကွဲမှုကာကွယ်ခြင်း၊ သန့်ရှင်းမှုထိန်းချုပ်ခြင်း |
| LT/LN အောက်ခံများ | SAW filter များ၊ optical modulator များ | ဖိစီးမှုကင်းစွာဖြတ်တောက်ခြင်း၊ piezoelectric ဂုဏ်သတ္တိများကို ထိန်းသိမ်းခြင်း |
| ကြွေထည်အလွှာများ | ပါဝါမော်ဂျူးများ၊ LED ထုပ်ပိုးမှု | မာကျောမှုမြင့်မားသော ပစ္စည်းပြုပြင်ခြင်း၊ အနားသတ်ပြားခြင်း |
| QFN/DFN ဘောင်များ | အဆင့်မြင့်ထုပ်ပိုးမှု | ချစ်ပ်များစွာကို တစ်ပြိုင်နက်ဖြတ်တောက်ခြင်း၊ ထိရောက်မှုအကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း |
| WLCSP ဝေဖာများ | ဝေဖာအဆင့်ထုပ်ပိုးမှု | အလွန်ပါးလွှာသော ဝေဖာများ (50μm) ကို ပျက်စီးမှုမရှိဘဲ 깍둑썰기 လုပ်ခြင်း |
အားသာချက်များ
၁။ တိုက်မိမှုကာကွယ်ခြင်း အချက်ပေးစနစ်များ၊ မြန်ဆန်သောလွှဲပြောင်းမှုနေရာချထားမှုနှင့် ခိုင်မာသောအမှားပြင်ဆင်နိုင်စွမ်းတို့ဖြင့် မြန်နှုန်းမြင့် ကက်ဆက်ဘောင်စကင်ဖတ်ခြင်း။
၂။ single-spindle စနစ်များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက စွမ်းဆောင်ရည်ကို ၈၀% ခန့် မြှင့်တင်ပေးသည့် dual-spindle ဖြတ်တောက်မှုမုဒ်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။
၃။ တိကျစွာတင်သွင်းသော ဘောလုံးဝက်အူများ၊ linear guides များနှင့် Y-axis grating scale closed-loop control တို့က မြင့်မားသောတိကျသော စက်ယန္တရား၏ ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။
၄။ အပြည့်အဝ အလိုအလျောက် တင်/ချခြင်း၊ လွှဲပြောင်း နေရာချထားခြင်း၊ ချိန်ညှိမှု ဖြတ်တောက်ခြင်းနှင့် ကွေ့ကောက် စစ်ဆေးခြင်းတို့ကြောင့် အော်ပရေတာ (OP) ၏ အလုပ်ဝန်ကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးပါသည်။
၅။ အနည်းဆုံး ၂၄ မီလီမီတာ dual-blade အကွာအဝေးရှိသော Gantry-style spindle mounting structure သည် dual-spindle ဖြတ်တောက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်နိုင်စေပါသည်။
အင်္ဂါရပ်များ
၁။ ထိတွေ့စရာမလိုသော အမြင့်တိုင်းတာမှု တိကျမှုမြင့်မားသည်။
၂။ တစ်ခုတည်းသောဗန်းပေါ်တွင် Multi-wafer dual-blade ဖြတ်တောက်ခြင်း။
၃။ အလိုအလျောက် ချိန်ညှိခြင်း၊ ဓားသွားများ စစ်ဆေးခြင်းနှင့် ဓားသွားကျိုးခြင်း ထောက်လှမ်းခြင်း စနစ်များ။
၄။ ရွေးချယ်နိုင်သော အလိုအလျောက် ချိန်ညှိမှု အယ်လဂိုရီသမ်များဖြင့် မတူညီသော လုပ်ငန်းစဉ်များကို ပံ့ပိုးပေးသည်။
၅။ ချို့ယွင်းချက်ကိုယ်တိုင်ပြင်ဆင်ခြင်းလုပ်ဆောင်ချက်နှင့် အချိန်နှင့်တပြေးညီ ဘက်စုံအနေအထားစောင့်ကြည့်ခြင်း။
၆။ အစပိုင်း အတုံးသေးများ လှီးဖြတ်ပြီးနောက် ပထမဆုံး လှီးဖြတ် စစ်ဆေးနိုင်စွမ်း။
၇။ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သော စက်ရုံအလိုအလျောက်စနစ် မော်ဂျူးများနှင့် အခြားရွေးချယ်နိုင်သော လုပ်ဆောင်ချက်များ။
ပစ္စည်းကိရိယာများ ဝန်ဆောင်မှုများ
ကျွန်ုပ်တို့သည် စက်ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုမှသည် ရေရှည်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုအထိ ပြည့်စုံသောပံ့ပိုးမှုကို ပေးဆောင်ပါသည်-
(၁) စိတ်ကြိုက် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု
· ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ (ဥပမာ SiC မာကျောမှု၊ GaAs ကြွပ်ဆတ်မှု) အပေါ် အခြေခံ၍ ဓါး/လေဆာဖြတ်တောက်ခြင်း ဖြေရှင်းချက်များကို အကြံပြုပါသည်။
· ဖြတ်တောက်မှု အရည်အသွေး (အစင်းကြောင်းများ၊ ကွေးညွှတ်မှုအကျယ်၊ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု စသည်ဖြင့်) ကို အတည်ပြုရန် အခမဲ့နမူနာစမ်းသပ်မှုကို ပေးဆောင်ပါ။
(၂) နည်းပညာသင်တန်း
· အခြေခံလေ့ကျင့်ရေး- စက်ပစ္စည်းလည်ပတ်မှု၊ ကန့်သတ်ချက်ချိန်ညှိမှု၊ ပုံမှန်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု။
· အဆင့်မြင့်သင်တန်းများ- ရှုပ်ထွေးသောပစ္စည်းများအတွက် လုပ်ငန်းစဉ်အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း (ဥပမာ၊ LT အောက်ခံများကို ဖိစီးမှုကင်းစွာဖြတ်တောက်ခြင်း)။
(၃) ရောင်းချပြီးနောက် ပံ့ပိုးမှု
· ၂၄/၇ တုံ့ပြန်မှု- အဝေးထိန်းစနစ်ဖြင့် ရောဂါရှာဖွေခြင်း သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းခွင်တွင် အကူအညီပေးခြင်း။
· အပိုပစ္စည်းများ ထောက်ပံ့ခြင်း- လျင်မြန်စွာ အစားထိုးရန်အတွက် သိုလှောင်ထားသော spindle များ၊ blades များနှင့် optical အစိတ်အပိုင်းများ။
· ကြိုတင်ကာကွယ်ထိန်းသိမ်းမှု- တိကျမှုကိုထိန်းသိမ်းရန်နှင့် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းတိုးစေရန် ပုံမှန်ချိန်ညှိခြင်း။
ကျွန်ုပ်တို့၏ အားသာချက်များ
✔ လုပ်ငန်းအတွေ့အကြုံ- ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူ ၃၀၀ ကျော်ကို ဝန်ဆောင်မှုပေးနေပါသည်။
✔ ခေတ်မီနည်းပညာ- တိကျသော linear guides များနှင့် servo systems များသည် လုပ်ငန်းနယ်ပယ်တွင် ဦးဆောင်နေသော တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။
✔ ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ဝန်ဆောင်မှုကွန်ရက်- ဒေသတွင်းပံ့ပိုးမှုအတွက် အာရှ၊ ဥရောပနှင့် မြောက်အမေရိကတို့တွင် လွှမ်းခြုံမှု။
စမ်းသပ်ခြင်း သို့မဟုတ် မေးမြန်းစုံစမ်းလိုပါက ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။












