ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် wafer SiO2 wafer ထူထူ Polished, Prime And Test Grade

Silicon Dioxide wafer SiO2 wafer ထူထူ Polished, Prime And Test Grade အသားပေးပုံ

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

အပူဓာတ် oxidation သည် ဆီလီကွန် wafer တစ်ခုအား ဓာတ်တိုးအေးဂျင့်များနှင့် အပူများပေါင်းစပ်ကာ ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (SiO2) အလွှာတစ်ခုဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း၏ရလဒ်ဖြစ်သည်။ကျွန်ုပ်တို့၏ကုမ္ပဏီသည် ဖောက်သည်များအတွက် အထူးကောင်းမွန်သောအရည်အသွေးများဖြင့် ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်အမှုန်အမွှားများကို စိတ်ကြိုက်သတ်မှတ်နိုင်သည်၊အောက်ဆိုဒ်အလွှာအထူ၊ ကျစ်လစ်မှု၊ ညီညွှတ်မှုနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပုံဆောင်ခဲ တိမ်းညွှတ်မှုအားလုံးကို နိုင်ငံတော် စံနှုန်းများနှင့်အညီ အကောင်အထည်ဖော် ဆောင်ရွက်ပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

wafer box နဲ့ မိတ်ဆက်ပေးပါရစေ

ထုတ်ကုန်	အပူအောက်ဆိုဒ် (Si + SiO2) wafers
ထုတ်လုပ်မှုနည်းလမ်း	LPCVD
မျက်နှာပြင် ပွတ်ခြင်း။	SSP/DSP
အချင်း	၂လက်မ/၃လက်မ/၄လက်မ/၅လက်မ/၆လက်မ
ရိုက်ပါ။	P type/N အမျိုးအစား
Oxidation Layer အထူ	100nm ~ 1000nm
တိမ်းညွှတ်မှု	<100> <111>
လျှပ်စစ်ခုခံမှု	0.001-25000(Ω•cm)
လျှောက်လွှာ	synchrotron radiation sample carrier၊ PVD/CVD အပေါ်ယံလွှာအဖြစ်၊ magnetron sputtering ကြီးထွားမှုနမူနာ၊ XRD၊ SEM၊အက်တမ်တွန်းအား၊ အနီအောက်ရောင်ခြည်သုံး spectroscopy၊ fluorescence spectroscopy နှင့် အခြားခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာစမ်းသပ်မှုအလွှာများ၊ မော်လီကျူလာရောင်ခြည် epitaxial ကြီးထွားမှုအလွှာများ၊ ပုံဆောင်ခဲတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း၏ X-ray ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှု

ဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ် wafers များသည် အပူချိန်မြင့်သောအပူချိန် (800°C ~ 1150°C) တွင် အောက်ဆီဂျင် သို့မဟုတ် ရေငွေ့ဖြင့် စိုက်ပျိုးထားသော ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်ရုပ်ရှင်များဖြစ်သည်။လုပ်ငန်းစဉ်၏အထူသည် 50 nanometers မှ 2 microns ၊ လုပ်ငန်းစဉ်အပူချိန် 1100 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိရှိပြီး ကြီးထွားမှုနည်းလမ်းကို "wet oxygen" နှင့် "dry oxygen" ဟူ၍ နှစ်မျိုးခွဲထားသည်။Thermal Oxide သည် CVD တွင်ထည့်ထားသော အောက်ဆိုဒ်အလွှာများထက် ပိုမိုတူညီမှုရှိခြင်း၊ ပိုကောင်းသောသိပ်သည်းဆနှင့် ပိုမိုမြင့်မားသော dielectric strength ရှိသည့် "ကြီးထွား" အောက်ဆိုဒ်အလွှာတစ်ခုဖြစ်ပြီး အရည်အသွေးပိုကောင်းသည်။

ခြောက်သွေ့သော အောက်ဆီဂျင် အောက်ဆီဂျင်

ဆီလီကွန်သည် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ဓာတ်ပြုပြီး အောက်ဆိုဒ်အလွှာသည် အောက်ခြေအလွှာဆီသို့ အဆက်မပြတ်ရွေ့လျားနေသည်။ခြောက်သွေ့သောဓာတ်တိုးခြင်းကို အပူချိန် 850 မှ 1200°C တွင်ပြုလုပ်ရန်လိုအပ်ပြီး ကြီးထွားမှုနှုန်းနိမ့်ကျကာ MOS insulated gate ကြီးထွားမှုအတွက်အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။အရည်အသွေးမြင့်မားပြီး အလွန်ပါးလွှာသော ဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ်အလွှာ လိုအပ်သောအခါ စိုစွတ်သောဓာတ်တိုးခြင်းထက် ခြောက်သွေ့သောဓာတ်တိုးခြင်းကို ဦးစားပေးပါသည်။ခြောက်သွေ့သောဓာတ်တိုးစွမ်းရည်- 15nm ~ 300nm။

2. Wet Oxidation

ဤနည်းလမ်းသည် အပူချိန်မြင့်မားသော အခြေအနေအောက်တွင် မီးဖိုပြွန်အတွင်းသို့ ဝင်ရောက်ခြင်းဖြင့် အောက်ဆိုဒ်အလွှာကို ဖွဲ့စည်းရန် ရေငွေ့ကို အသုံးပြုသည်။စိုစွတ်သောအောက်ဆီဂျင်ဓာတ်တိုးခြင်း၏သိပ်သည်းဆသည်ခြောက်သွေ့သောအောက်ဆီဂျင်ဓာတ်တိုးခြင်းထက်အနည်းငယ်ပိုမိုဆိုးရွားသော်လည်းခြောက်သွေ့သောအောက်ဆီဂျင်ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့်နှိုင်းယှဉ်ပါက၎င်း၏အားသာချက်မှာ 500nm ဖလင်ကြီးထွားမှုအတွက်သင့်လျော်သောကြီးထွားနှုန်းပိုမိုမြင့်မားသောကြောင့်ဖြစ်သည်။စိုစွတ်သောဓာတ်တိုးစွမ်းရည်- 500nm ~ 2µm။

AEMD ၏ လေထုဖိအား oxidation furnace tube သည် မြင့်မားသော လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှု၊ ကောင်းမွန်သော ဖလင်တူညီမှုနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အမှုန်အမွှားထိန်းချုပ်မှုတို့ဖြင့် သွင်ပြင်လက္ခဏာရှိသော Czech horizontal furnace tube ဖြစ်သည်။ဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ် မီးဖိုပြွန်သည် ပြွန်တစ်ခုလျှင် wafers 50 အထိ လုပ်ဆောင်နိုင်ပြီး အတွင်းပိုင်းနှင့် wafers အချင်းချင်း တူညီမှုကောင်းမွန်ပါသည်။