နီလာ SiC Si အတွက် အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်

အကျဉ်းချုပ်ဖော်ပြချက်:

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ပုံသွင်းခြင်းနှင့် ඔප දැමීමစက်သည် အိုင်းယွန်း දැමී ...් දැමීම් දැමීම් දැමීම් දැමීම් දැමීම් දැමීම්

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ

အင်္ဂါရပ်များ

အသေးစိတ်ပုံကြမ်း

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်၏ ထုတ်ကုန်ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်

ထိတွေ့မှုမရှိသော လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုအနေဖြင့် အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဖိစီးမှုကို ဖယ်ရှားပေးပြီး မြေအောက်မျက်နှာပြင် ပျက်စီးမှုကို ရှောင်ရှားပေးသောကြောင့် နက္ခတ္တဗေဒ၊ အာကာသယာဉ်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများနှင့် အဆင့်မြင့်သုတေသနအသုံးချမှုများတွင် အသုံးပြုသည့် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော မှန်ဘီလူးများ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်စေသည်။

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်၏ အလုပ်လုပ်ပုံနိယာမ

အိုင်းယွန်းထုတ်လုပ်ခြင်း
အစွမ်းမဲ့ဓာတ်ငွေ့ (ဥပမာ၊ အာဂွန်) ကို ဖိသိပ်ခန်းထဲသို့ ထည့်သွင်းပြီး လျှပ်စစ်ဓာတ်အားထုတ်လွှတ်မှုမှတစ်ဆင့် ပလာစမာကို ဖွဲ့စည်းသည်။

အရှိန်မြှင့်ခြင်းနှင့် ရောင်ခြည်ဖွဲ့စည်းခြင်း
အိုင်းယွန်းများကို အီလက်ထရွန်ဗို့အား ရာပေါင်းများစွာ သို့မဟုတ် ထောင်ပေါင်းများစွာ (eV) အထိ အရှိန်မြှင့်ပြီး တည်ငြိမ်သော၊ အာရုံစူးစိုက်ထားသော ရောင်ခြည်အစက်အပြောက်အဖြစ် ပုံသွင်းသည်။

ပစ္စည်းဖယ်ရှားခြင်း
အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်သည် ဓာတုဓာတ်ပြုမှုများ မစတင်ဘဲ မျက်နှာပြင်မှ အက်တမ်များကို ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအရ ဖြန်းထုတ်ပါသည်။

အမှားရှာဖွေခြင်းနှင့် လမ်းကြောင်းစီစဉ်ခြင်း
မျက်နှာပြင်ပုံသွေဖည်မှုများကို interferometry ဖြင့် တိုင်းတာသည်။ ဖယ်ရှားခြင်းလုပ်ဆောင်ချက်များကို အသုံးပြု၍ နေထိုင်ချိန်ကို ဆုံးဖြတ်ရန်နှင့် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ထားသော ကိရိယာလမ်းကြောင်းများကို ထုတ်လုပ်ပေးသည်။

ပိတ်ထားသော ကွင်းဆက်ပြင်ဆင်ခြင်း
RMS/PV တိကျမှုပစ်မှတ်များ ရရှိသည်အထိ လုပ်ဆောင်မှု နှင့် တိုင်းတာမှု၏ အထပ်ထပ်သံသရာများ ဆက်လက်ဖြစ်ပေါ်နေပါသည်။

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ

မျက်နှာပြင်အားလုံးနှင့် လိုက်ဖက်ညီမှု– ပြားချပ်ချပ်၊ လုံးဝိုင်း၊ လုံးမဝိုင်းနှင့် လွတ်လပ်သောပုံသဏ္ဍာန် မျက်နှာပြင်များကို လုပ်ဆောင်သည်

အလွန်တည်ငြိမ်သော ဖယ်ရှားမှုနှုန်း- နာနိုမီတာအောက် ပုံသေပြင်ဆင်မှုကို ဖွင့်ပေးသည်

ပျက်စီးမှုကင်းသော စီမံဆောင်ရွက်မှု- မြေအောက်မျက်နှာပြင် ချို့ယွင်းချက်များ သို့မဟုတ် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ပြောင်းလဲမှု မရှိပါ

တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်ရည်- မာကျောမှု အမျိုးမျိုးရှိသော ပစ္စည်းများတွင် တူညီစွာ ကောင်းမွန်စွာ အလုပ်လုပ်သည်

အနိမ့်/အလတ် ကြိမ်နှုန်း ပြင်ဆင်ခြင်း- အလယ်အလတ်/မြင့်မားသော ကြိမ်နှုန်း အပိုပစ္စည်းများကို မထုတ်လုပ်ဘဲ အမှားများကို ဖယ်ရှားပေးသည်

ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လိုအပ်ချက်နည်းပါးခြင်း- အနည်းဆုံး downtime ဖြင့် ကြာရှည်စွာ စဉ်ဆက်မပြတ် လည်ပတ်နိုင်ခြင်း

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်၏ အဓိက နည်းပညာဆိုင်ရာ သတ်မှတ်ချက်များ

ပစ္စည်း	သတ်မှတ်ချက်
လုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းလမ်း	လေဟာနယ်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် အိုင်းယွန်းများ ပျံ့နှံ့ခြင်း
လုပ်ဆောင်ခြင်း အမျိုးအစား	ထိတွေ့မှုမရှိသော မျက်နှာပြင် ပုံဖော်ခြင်းနှင့် ඔප දැමීම
အများဆုံး အလုပ်အရွယ်အစား	Φ၄၀၀၀ မီလီမီတာ
ရွေ့လျားမှုဝင်ရိုးများ	၃-ဝင်ရိုး / ၅-ဝင်ရိုး
ဖယ်ရှားရေးတည်ငြိမ်မှု	≥၉၅%
မျက်နှာပြင် တိကျမှု	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (ပုံမှန် RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
ကြိမ်နှုန်းပြင်ဆင်မှုစွမ်းရည်	အလယ်အလတ်/မြင့်မားသော ကြိမ်နှုန်းအမှားများ မဖြစ်ပေါ်စေဘဲ အနိမ့်-အလတ် ကြိမ်နှုန်း အမှားများကို ဖယ်ရှားပေးသည်
စဉ်ဆက်မပြတ်လည်ပတ်မှု	ဖုန်စုပ်စက်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုမပါဘဲ ၃-၅ ပတ်
ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကုန်ကျစရိတ်	နိမ့်ကျသော

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်၏ လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းများ

ပံ့ပိုးပေးထားသော မျက်နှာပြင်အမျိုးအစားများ

ရိုးရှင်းသော: ပြားချပ်ချပ်၊ စက်ဝိုင်းပုံ၊ ပရစ်ဇမ်

ရှုပ်ထွေးသော: ညီညာသော/မညီညာသော အက်စဖီးယား၊ ဝင်ရိုးပြင်ပ အက်စဖီးယား၊ ဆလင်ဒါပုံသဏ္ဍာန်

အထူး: အလွန်ပါးလွှာသော မှန်ဘီလူးများ၊ slat မှန်ဘီလူးများ၊ တစ်ဝက်စက်ဝိုင်းမှန်ဘီလူးများ၊ conformal မှန်ဘီလူးများ၊ phase plate များ၊ freeform မျက်နှာပြင်များ

ပံ့ပိုးပေးထားသော ပစ္စည်းများ

အလင်းမှန်: Quartz၊ microcrystalline၊ K9 စသည်တို့။

အနီအောက်ရောင်ခြည်ပစ္စည်းများ- ဆီလီကွန်၊ ဂျာမေနီယမ် စသည်တို့။

သတ္တုများ: အလူမီနီယမ်၊ သံမဏိ၊ တိုက်တေနီယမ်အလွိုင်း၊ စသည်တို့။

ပုံဆောင်ခဲများ- YAG၊ single-crystal silicon carbide၊ စသည်တို့။

မာကျောသော/ကြွပ်ဆတ်သောပစ္စည်းများ- ဆီလီကွန်ကာဗိုက် စသည်တို့။

မျက်နှာပြင် အရည်အသွေး / တိကျမှု

PV < ၁၀ နာနိုမီတာ

RMS ≤ 0.5 nm

အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်၏ လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုင်ရာ ဖြစ်ရပ်လေ့လာမှုများ

Case 1 – စံပြားချပ်ချပ်မှန်

အလုပ်အပိုင်း: D630 မီလီမီတာ ကွာ့ဇ်ပြား

ရလဒ်: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Case 2 – X-ray ရောင်ပြန်မှန်

အလုပ်အပိုင်း: ၁၅၀ × ၃၀ မီလီမီတာ ဆီလီကွန်ပြား

ရလဒ်: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; စောင်း 0.13 µrad

Case 3 – ဝင်ရိုးပြင်ပ မှန်

အလုပ်အပိုင်း: D326 မီလီမီတာ ဝင်ရိုးပြင်ပ မြေပြင်မှန်

ရလဒ်: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Quartz မျက်မှန်များ၏ မကြာခဏမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ

မကြာခဏမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ – အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်

မေးခွန်း ၁: အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමဆိုတာ ဘာလဲ။
A1:အိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමသည် ထိတွေ့မှုမရှိသော လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုဖြစ်ပြီး အာဂွန်အိုင်းယွန်းများကဲ့သို့သော အိုင်းယွန်းများ၏ အာရုံစူးစိုက်ထားသော ရောင်ခြည်ကို အသုံးပြု၍ အလုပ်မျက်နှာပြင်မှ ပစ္စည်းများကို ဖယ်ရှားသည်။ အိုင်းယွန်းများကို အရှိန်မြှင့်ပြီး မျက်နှာပြင်သို့ ဦးတည်စေကာ အက်တမ်အဆင့် ပစ္စည်းဖယ်ရှားခြင်းကို ဖြစ်စေပြီး အလွန်ချောမွေ့သော အပြီးသတ်မှုများကို ရရှိစေပါသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်သည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဖိစီးမှုနှင့် မြေအောက်မျက်နှာပြင် ပျက်စီးမှုများကို ဖယ်ရှားပေးပြီး တိကျသော အလင်းတန်း အစိတ်အပိုင်းများအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်စေသည်။

မေးခွန်း ၂: Ion Beam Polishing Machine က ဘယ်လို မျက်နှာပြင်အမျိုးအစားတွေကို စီမံဆောင်ရွက်နိုင်ပါသလဲ။
A2:ထိုအိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်ရိုးရှင်းသော အလင်းတန်း အစိတ်အပိုင်းများ အပါအဝင် မျက်နှာပြင်အမျိုးမျိုးကို စီမံဆောင်ရွက်နိုင်သည်ပြားချပ်ချပ်များ၊ စက်ဝိုင်းပုံများနှင့် ပရစ်ဇမ်များရှုပ်ထွေးသော ဂျီဩမေတြီများအပြင်အက်စဖီးယားများ၊ ဝင်ရိုးပြင်ပ အက်စဖီးယားများနှင့်လွတ်လပ်သောပုံသဏ္ဍာန်မျက်နှာပြင်များ။ ၎င်းသည် အလင်းမှန်၊ အနီအောက်ရောင်ခြည်အလင်းတန်းများ၊ သတ္တုများနှင့် မာကျော/ကြွပ်ဆတ်သောပစ္စည်းများကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများတွင် အထူးထိရောက်မှုရှိသည်။

Q3: Ion Beam Polishing Machine ကို မည်သည့်ပစ္စည်းများဖြင့် အသုံးပြုနိုင်သနည်း။
A3:ထိုအိုင်းယွန်းရောင်ခြည် ඔප දැමීමစက်အောက်ပါတို့ အပါအဝင် ပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ඔප දැමීම ...နိုင်သည်-

အလင်းမှန်: ကွာ့ဇ်၊ မိုက်ခရိုခရစ္စတယ်လင်း၊ K9 စသည်တို့။
အနီအောက်ရောင်ခြည်ပစ္စည်းများဆီလီကွန်၊ ဂျာမေနီယမ် စသည်တို့။
သတ္တုများအလူမီနီယမ်၊ သံမဏိ၊ တိုက်တေနီယမ်သတ္တုစပ် စသည်တို့။
ပုံဆောင်ခဲပစ္စည်းများYAG၊ single-crystal silicon carbide၊ စသည်တို့။
အခြားမာကျောသော/ကြွပ်ဆတ်သောပစ္စည်းများဆီလီကွန်ကာဗိုက်၊ စသည်တို့။

ကြှနျုပျတို့အကွောငျး

XKH သည် အထူးအလင်းတန်းမှန်နှင့် ပုံဆောင်ခဲပစ္စည်းများ၏ အဆင့်မြင့်နည်းပညာဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု၊ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ရောင်းချမှုတွင် အထူးပြုပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် အလင်းတန်းအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ၊ စားသုံးသူအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် စစ်တပ်အတွက် ဝန်ဆောင်မှုပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် Sapphire အလင်းတန်းအစိတ်အပိုင်းများ၊ မိုဘိုင်းဖုန်းမှန်ဘီလူးအဖုံးများ၊ ကြွေထည်များ၊ LT၊ Silicon Carbide SIC၊ Quartz နှင့် semiconductor crystal wafers များကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ကျွမ်းကျင်သောကျွမ်းကျင်မှုနှင့် ခေတ်မီသောပစ္စည်းကိရိယာများဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် စံမမီသောထုတ်ကုန်ပြုပြင်ထုတ်လုပ်မှုတွင် ထူးချွန်ပြီး ဦးဆောင် optoelectronic ပစ္စည်းများ၏ အဆင့်မြင့်နည်းပညာလုပ်ငန်းတစ်ခုဖြစ်ရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။