6 Silicon Carbide 4H-SiC Semi-Insulating Ingot၊ Dummy Grade
သတ္တိ
1. ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ
● ပစ္စည်းအမျိုးအစား- ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC)
●Polytype- 4H-SiC၊ ဆဋ္ဌဂံပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံ
● အချင်း : 6 လက်မ (150 mm)
●အထူ- ပြင်ဆင်သတ်မှတ်နိုင်သည် (Dummy အဆင့်အတွက် ပုံမှန် 5-15 မီလီမီတာ)
●Crystal Orientation-
oPrimary- [0001] (C-လေယာဉ်)
oSecondary options များ- ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ထားသော epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် Off-axis 4°
●Primary Flat Orientation- (10-10) ± 5°
●Secondary Flat Orientation- မူလပြားချပ်ချပ် ± 5° မှ 90° နာရီလက်တံပြောင်းပြန်
2. လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများ
●ခုခံနိုင်မှု-
oSemi-insulating (>106^66 Ω·cm)၊ ကပ်ပါးစွမ်းရည်ကို လျှော့ချရန်အတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။
●Doping အမျိုးအစား-
o လည်ပတ်မှုအခြေအနေအမျိုးမျိုးတွင် မြင့်မားသောလျှပ်စစ်ခံနိုင်ရည်နှင့် တည်ငြိမ်မှုတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေသော မရည်ရွယ်ဘဲ ဆေးဆိုးထားသည်။
3. အပူဂုဏ်သတ္တိများ
●Thermal Conductivity: 3.5-4.9 W/cm·K၊ စွမ်းအားမြင့်စနစ်များတွင် ထိရောက်သော အပူများကို ဖြန့်ဝေပေးသည်။
●Thermal Expansion Coefficient- 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K၊ အပူချိန်မြင့်သော လုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို အာမခံသည်။
4. Optical Properties
●Bandgap- 3.26 eV ကျယ်ဝန်းသော bandgap သည် မြင့်မားသောဗို့အားများနှင့် အပူချိန်များအောက်တွင် လုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။
●Transparency- ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်နှင့် မြင်နိုင်သောလှိုင်းအလျားများအတွက် မြင့်မားသော ပွင့်လင်းမြင်သာမှု၊ optoelectronic စမ်းသပ်ခြင်းအတွက် အသုံးဝင်သည်။
5. စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ
● မာကျောမှု- Mohs scale 9 သည် စိန်ထက်သာလွန်ပြီး ပြုပြင်နေစဉ် တာရှည်ခံမှုကို အာမခံသည်။
● ချို့ယွင်းချက်သိပ်သည်းမှု-
o dummy-grade အပလီကေးရှင်းများအတွက် လုံလောက်သော အရည်အသွေးကို အာမခံချက် အနည်းဆုံး macro ချို့ယွင်းချက်များအတွက် ထိန်းချုပ်ထားသည်။
● ညီညာမှု- သွေဖည်မှုများနှင့် တူညီမှု
ကန့်သတ်ချက် | အသေးစိတ် | ယူနစ် |
တန်း | Dummy အဆင့် | |
လုံးပတ် | 150.0 ± 0.5 | mm |
Wafer Orientation | ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 0.5° | ဘွဲ့ |
လျှပ်စစ်ခုခံနိုင်စွမ်း | > 1E5 | Ω·စင်တီမီတာ |
Primary Flat Orientation | {10-10} ± 5.0° | ဘွဲ့ |
မူလတန်းအလျား | ထစ် | |
အက်ကြောင်းများ (High-Intensity Light စစ်ဆေးခြင်း) | အချင်းဝက် < 3 မီလီမီတာ | mm |
Hex Plates (High-Intensity Light စစ်ဆေးခြင်း) | စုစည်းဧရိယာ ≤ 5% | % |
Polytype ဧရိယာများ (ပြင်းထန်မှုမြင့်မားသောအလင်းစစ်ဆေးခြင်း) | စုစည်းဧရိယာ ≤ 10% | % |
Micropipe Density | < 50 | cm−2^-2−2 |
အစွန်းအထင်း | 3 ခွင့်ပြုသည်၊ တစ်ခုစီ ≤ 3 မီလီမီတာ | mm |
မှတ်ချက် | လှီးဖြတ်ခြင်း wafer အထူ < 1 မီလီမီတာ၊ > 70% (အစွန်းနှစ်ဖက်မပါ) သည် အထက်ပါလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီသည် |
အသုံးချမှု
1. ပုံတူရိုက်ခြင်းနှင့် သုတေသနပြုခြင်း။
ဒမ်မီတန်း 6 လက်မ 4H-SiC ingot သည် ထုတ်လုပ်သူနှင့် ဓာတ်ခွဲခန်းများကို ခွင့်ပြုပေးသော နမူနာပုံစံနှင့် သုတေသနအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
●Chemical Vapor Deposition (CVD) သို့မဟုတ် Physical Vapor Deposition (PVD) တွင် Test process parameters များ။
● ထွင်းထုခြင်း၊ ပွတ်တိုက်ခြင်းနှင့် wafer လှီးဖြတ်ခြင်းနည်းပညာများကို တီထွင်ပြီး သန့်စင်ပါ။
● ထုတ်လုပ်ရေးအဆင့် ပစ္စည်းသို့ မကူးပြောင်းမီ စက်ဒီဇိုင်းအသစ်များကို စူးစမ်းပါ။
2. စက်ကို ချိန်ညှိခြင်းနှင့် စမ်းသပ်ခြင်း။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကာဂုဏ်သတ္တိများသည် ဤအရာအတွက် အဖိုးမဖြတ်နိုင်စေသည်-
● စွမ်းအားမြင့်နှင့် ကြိမ်နှုန်းမြင့်စက်ပစ္စည်းများ၏ လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို အကဲဖြတ်ခြင်းနှင့် ချိန်ညှိခြင်း။
● စမ်းသပ်ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ MOSFETs၊ IGBTs သို့မဟုတ် diodes အတွက် လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုအခြေအနေများကို ပုံဖော်ခြင်း။
● အစောပိုင်းအဆင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကာလအတွင်း သန့်စင်မြင့်အလွှာအတွက် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော အစားထိုးပစ္စည်းအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပေးခြင်း။
3. ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်
4H-SiC ၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် ကျယ်ပြန့်သော ပတ်တီးမှုတ်ဝိသေသလက္ခဏာများသည် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများတွင် ထိရောက်စွာလည်ပတ်နိုင်စေသည်-
●ဗို့အားမြင့် ပါဝါထောက်ပံ့မှုများ။
●လျှပ်စစ်ယာဉ် (EV) အင်ဗာတာများ။
● နေစွမ်းအင် အင်ဗာတာများနှင့် လေတာဘိုင်များကဲ့သို့သော ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်စနစ်များ။
4. ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်း (RF) အသုံးချမှုများ
4H-SiC ၏ နိမ့်သော dielectric ဆုံးရှုံးမှုနှင့် မြင့်မားသော အီလက်ထရွန် ရွေ့လျားနိုင်မှုသည် ၎င်းအတွက် သင့်လျော်သည်-
● ဆက်သွယ်ရေးအခြေခံအဆောက်အအုံရှိ RF အသံချဲ့စက်များနှင့် ထရန်စစ္စတာများ။
● လေကြောင်းနှင့် ကာကွယ်ရေးဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် ကြိမ်နှုန်းမြင့် ရေဒါစနစ်များ။
● ပေါ်ပေါက်လာသော 5G နည်းပညာများအတွက် ကြိုးမဲ့ကွန်ရက် အစိတ်အပိုင်းများ။
5. Radiation-Resistant စက်များ
ဓာတ်ရောင်ခြည်ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ချို့ယွင်းချက်များကို ၎င်း၏ မွေးရာပါ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့်၊ Semi-insulating 4H-SiC သည်-
● ဂြိုလ်တုအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် ပါဝါစနစ်များအပါအဝင် အာကာသစူးစမ်းလေ့လာရေးကိရိယာများ။
● နျူကလီးယားစောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် ထိန်းချုပ်ခြင်းအတွက် ရေဒီယိုသတ္တိကြွအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ။
● လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကြံ့ခိုင်မှုလိုအပ်သော ကာကွယ်ရေးအပလီကေးရှင်းများ။
6. Optoelectronics
4H-SiC ၏ optical ပွင့်လင်းမြင်သာမှုနှင့် ကျယ်ပြန့်သော bandgap သည် ၎င်း၏အသုံးပြုမှုကို လုပ်ဆောင်နိုင်သည်-
●UV ဓာတ်ပုံထောက်လှမ်းကိရိယာများနှင့် စွမ်းအားမြင့် LED မီးများ။
● အလင်းအလွှာများနှင့် မျက်နှာပြင် ကုသမှုများကို စမ်းသပ်ခြင်း။
●အဆင့်မြင့်အာရုံခံကိရိယာများအတွက် အလင်းပြအစိတ်အပိုင်းများကို ပုံတူရိုက်ခြင်း။
Dummy-Grade Material ၏ အားသာချက်များ
ကုန်ကျစရိတ် ထိရောက်မှု-
dummy grade သည် သုတေသန သို့မဟုတ် ထုတ်လုပ်ရေးအဆင့် ပစ္စည်းများအတွက် ပိုမိုတတ်နိုင်သော အစားထိုးတစ်ခုဖြစ်ပြီး ၎င်းသည် ပုံမှန်စစ်ဆေးမှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်များကို သန့်စင်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။
စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်မှု-
ပုံဖော်နိုင်သော အတိုင်းအတာများနှင့် ပုံသဏ္ဍာန်လမ်းညွှန်ချက်များသည် ကျယ်ပြန့်သော အပလီကေးရှင်းများနှင့် လိုက်ဖက်မှုရှိစေရန် သေချာစေသည်။
အတိုင်းအတာ-
6 လက်မ အချင်းသည် စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီပြီး ထုတ်လုပ်မှုအဆင့် လုပ်ငန်းစဉ်များသို့ ချောမွေ့စွာ ချဲ့ထွင်နိုင်စေပါသည်။
ကြံ့ခိုင်မှု-
မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားနှင့် အပူဓာတ် တည်ငြိမ်မှုသည် မတူညီသော စမ်းသပ်မှု အခြေအနေများအောက်တွင် ingot ကို တာရှည်ခံပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရစေသည်။
ဘက်စုံသုံးနိုင်မှု-
စွမ်းအင်စနစ်များမှ ဆက်သွယ်ရေးနှင့် optoelectronics အထိ စက်မှုလုပ်ငန်းမျိုးစုံအတွက် သင့်လျော်သည်။
နိဂုံး
6 လက်မအရွယ် Silicon Carbide (4H-SiC) semi- insulating ingot၊ dummy grade သည် သုတေသန၊ ပုံတူရိုက်ခြင်းနှင့် စမ်းသပ်ခြင်းများအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး စွယ်စုံရပလက်ဖောင်းကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ၎င်း၏ခြွင်းချက်ဖြစ်သော အပူ၊ လျှပ်စစ်နှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ တတ်နိုင်မှုနှင့် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်မှုတို့ ပေါင်းစပ်ထားသောကြောင့် ၎င်းသည် ပညာရပ်ဆိုင်ရာနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ပစ္စည်းတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။ ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများမှ RF စနစ်များနှင့် ဓာတ်ရောင်ခြည်သုံးပစ္စည်းများအထိ၊ ဤအရာသည် တီထွင်ဆန်းသစ်တီထွင်မှုအဆင့်တိုင်းတွင် ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
အသေးစိတ်အချက်အလက်များအတွက် သို့မဟုတ် ကိုးကားချက်တစ်ခုတောင်းဆိုရန်၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ တိုက်ရိုက်ဆက်သွယ်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့၏နည်းပညာအဖွဲ့သည် သင့်လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန် အံဝင်ခွင်ကျဖြေရှင်းနည်းများကို ကူညီပေးရန် အသင့်ရှိပါသည်။