100mm 4လက်မ GaN နီလာ Epi-အလွှာ wafer Gallium nitride epitaxial wafer

100mm 4inch GaN တွင် Sapphire Epi-layer wafer Gallium nitride epitaxial wafer အထူးအသားပေးပုံ

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

Gallium nitride epitaxial sheet သည် wide band gap ဖြစ်သော semiconductor epitaxial ပစ္စည်းများ၏ တတိယမျိုးဆက်၏ ပုံမှန်ကိုယ်စားလှယ်ဖြစ်ပြီး၊ ကျယ်ပြန့်သော band gap၊ high breakdown field strength၊ high thermal conductivity၊ high electron saturation drift speed၊ strong radiation resistance နှင့် မြင့်မားသောဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။ ဓာတုတည်ငြိမ်မှု။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

GaN အပြာရောင် LED ကွမ်တမ်ကောင်းစွာတည်ဆောက်မှု၏တိုးတက်မှုဖြစ်စဉ်။လုပ်ငန်းစဉ်အသေးစိတ်မှာ အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်။

(1) အပူချိန်မြင့်မားစွာဖုတ်ခြင်း၊ နီလာအလွှာကို ဟိုက်ဒရိုဂျင်လေထုတွင် 1050 ℃ မှ ပထမအပူပေးသည်၊ ရည်ရွယ်ချက်မှာ အလွှာမျက်နှာပြင်ကို သန့်ရှင်းစေရန်ဖြစ်သည်။

(2) အလွှာအပူချိန် 510 ℃ သို့ ကျဆင်းသွားသောအခါ၊ အထူ 30nm ရှိသော GaN/AlN ကြားခံအလွှာသည် နီလာအလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ကျရောက်နေသည်။

(3) အပူချိန် 10 ℃အထိ မြင့်တက်လာသည်၊ တုံ့ပြန်မှုဓာတ်ငွေ့ အမိုးနီးယား၊ trimethylgallium နှင့် silane တို့ကို အသီးသီး ထိုးသွင်းပြီး သက်ဆိုင်ရာ စီးဆင်းနှုန်းကို ထိန်းချုပ်ကာ 4um အထူရှိသော ဆီလီကွန်-ဆေးဆိုးထားသော N-type GaN ကို စိုက်ပျိုးသည်။

(4) အထူ 0.15um ရှိသော ဆီလီကွန်-ဆေးဆိုးထားသော N-type A⒑ တိုက်ကြီးများကို ပြင်ဆင်ရန်အတွက် ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ်နှင့် ထရီမီသိုင်းဂယ်လီယမ်၏ တုံ့ပြန်ဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြုခဲ့သည်။

(5) 50nm Zn-doped InGaN ကို အပူချိန် 8O0 ℃ တွင် trimethylgallium၊ trimethylindium၊ diethylzinc နှင့် ammonia တို့ကို ထိုးသွင်းပြီး မတူညီသော စီးဆင်းမှုနှုန်းကို အသီးသီး ထိန်းချုပ်ခြင်းဖြင့် ပြင်ဆင်ထားပါသည်။

(6) အပူချိန် 1020 ဒီဂရီအထိ တိုးလာသည်၊ ထရိုင်မီတီလာလူမီနီယမ်၊ ထရီမီတီလီယမ်နှင့် ဘစ် (cyclopentadienyl) မဂ္ဂနီဆီယမ်တို့ကို 0.15um Mg doped P-type AlGaN နှင့် 0.5um Mg doped P-type G သွေးဂလူးကို့စ်ကို ပြင်ဆင်ရန် ထိုးသွင်းခဲ့သည်။

(7) အရည်အသွေးမြင့် P-type GaN Sibuyan ဖလင်ကို နိုက်ထရိုဂျင် လေထုထဲတွင် 700 ℃ တွင် မွှေခြင်းဖြင့် ရရှိခဲ့ပါသည်။

(၈) N-type G stasis မျက်နှာပြင်ကို ဖော်ပြရန်အတွက် P-type G stasis မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ပုံဖော်ခြင်း၊

(၉) p-GaNI မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ Ni/A အဆက်အသွယ်ပြားများ၏ အငွေ့ပျံခြင်း၊ ll-GaN မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ △/Al အဆက်အသွယ်ပြားများ အငွေ့ပျံခြင်း

သတ်မှတ်ချက်များ

ကုသိုလ်ကံ	GaN-TCU-C100	GaN-TCN-C100
အတိုင်းအတာများ	e 100 မီလီမီတာ ± 0.1 မီလီမီတာ
အထူ	4.5±0.5 um စိတ်ကြိုက်လုပ်နိုင်ပါသည်။
တိမ်းညွှတ်မှု	C-လေယာဉ်(0001) ±0.5°
Conduction အမျိုးအစား	N အမျိုးအစား (မရပ်တော့ပါ)	N အမျိုးအစား ( Si-doped )
ခုခံနိုင်စွမ်း (300K)	< 0.5 Q・ စင်တီမီတာ	< 0.05 Q・cm
Carrier Concentration	< 5x10¹⁷စင်တီမီတာ^-3	> 1x10¹⁸စင်တီမီတာ^-3
ရွေ့လျားနိုင်မှု	~ 300 စင်တီမီတာ²/vs	~ 200 စင်တီမီတာ²/vs
Dislocation Density	5x10 အောက်⁸စင်တီမီတာ^-2(XRD ၏ FWHMs မှတွက်ချက်သည်)
Substrate တည်ဆောက်ပုံ	နီလာပေါ်ရှိ GaN (စံသတ်မှတ်ချက်- SSP ရွေးချယ်မှု- DSP)
အသုံးပြုနိုင်သော မျက်နှာပြင်ဧရိယာ	> 90%
အထုပ်	နိုက်ထရိုဂျင်လေထုအောက်ရှိ 25pcs သို့မဟုတ် wafer တစ်ခုတည်းရှိသော ကက်ဆက်များတွင် class 100 သန့်ရှင်းသော အခန်းပတ်ဝန်းကျင်တွင် ထုပ်ပိုးထားသည်။