တိုက်တေနီယမ် လိမ်းထားသော နီလာပုံဆောင်ခဲ လေဆာချောင်းများ၏ မျက်နှာပြင် ပြုပြင်ခြင်းနည်းလမ်း

တိုက်တေနီယမ်ကျောက်မျက်ပုံဆောင်ခဲများ Ti:Al2O3 (doping concentration 0.35 wt% Ti2O3)၊ ပလပ်စတစ်အကွက်များသည် လက်ရှိတီထွင်မှု၏ တိုက်တေနီယမ်ကျောက်မျက်ရတနာပုံဆောင်ခဲများ၏ မျက်နှာပြင်လုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းလမ်း၏ လုပ်ငန်းစဉ်စီးဆင်းပုံဇယားအတိုင်းဖြစ်သော ပုံဆောင်ခဲများကို ပုံ ၁ တွင်ပြသထားသည်။

<1> လမ်းကြောင်းဖြတ်တောက်ခြင်း- တိုက်တေနီယမ်ကျောက်မျက်ပုံဆောင်ခဲကို ပထမဦးစွာဦးတည်ထားပြီး၊ ထို့နောက် ပြီးစီးသွားသော လေဆာလှံတံ၏အရွယ်အစားနှင့်အညီ 0.4 မှ 0.6 မီလီမီတာခန့်ရှိသော စီမံဆောင်ရွက်ပေးသည့်စရိတ်ကိုချန်ထားခြင်းဖြင့် tetragonal ကော်လံပုံသဏ္ဍာန်အလွတ်တစ်ခုအဖြစ် ဖြတ်တောက်လိုက်ပါ။

<2>ကော်လံကို ကြမ်းတမ်းပြီး ကောင်းမွန်စွာ ကြိတ်ချေခြင်း- ကော်လံအလွတ်အား 120~180# ဆီလီကွန်ကာဗိုက် သို့မဟုတ် ဘိုရွန်ကာဗိုက်အညစ်အကြေးများကို 120~180# ဖြင့် ထုလုပ်ထားသော အကြမ်းဖျင်းနှင့် အဝိုင်းပုံမှားယွင်းမှု ±0.01mm ရှိသော ကော်လံအလွတ်ကို ကြိတ်ခွဲထားသည်။

<3> မျက်နှာကိုအဆုံးသတ်လုပ်ဆောင်ခြင်း- တိုက်တေနီယမ်ကျောက်မျက်ရတနာလေဆာဘားတန်းနှစ်ခုအဆုံးမျက်နှာကို W40၊ W20၊ W10 ဘိုရွန်ကာဗိုက်ဖြင့်စတီးပြားပေါ်တွင်ကြိတ်ထားသောအဆုံးမျက်နှာကို ဆက်တိုက်လုပ်ဆောင်ခြင်း။ ကြိတ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ အဆုံးမျက်နှာ၏ ဒေါင်လိုက်ကို တိုင်းတာရန် အာရုံစိုက်သင့်သည်။

<4> Chemical-mechanical polishing- chemical-mechanical polishing သည် pre-formated chemical etching solution အစက်အစက်များဖြင့် ပေါ်လစ်ပွတ်ချပ်ပေါ်တွင် ပုံဆောင်ခဲများကို ပွတ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ဖြစ်သည်။ နှိုင်းရရွေ့လျားမှုနှင့် ပွတ်တိုက်မှုအတွက် ပွတ်တိုက်ခြင်း နှင့် ပွတ်တိုက်ခြင်း pad သည် သုတေသနပြုမှုတွင် ဓာတု etching agent ( polishing liquid ဟုခေါ်သည် ) ပါဝင်သော slurry ၏အကူအညီဖြင့် polishing ကို အပြီးသတ်ရန်။

<5> Acid etching- အထက်တွင်ဖော်ပြထားသည့်အတိုင်း ပွတ်ပြီးနောက် တိုက်တေနီယမ်ကျောက်မျက်ချောင်းများကို H2SO4:H3PO4 = 3:1 (v/v) အပူချိန် 100-400°C တွင် အက်ဆစ်ခြစ်ပြီး 5-30 မိနစ်ကြာ အရောအနှောပြုလုပ်ထားသည်။ ရည်ရွယ်ချက်မှာ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ မျက်နှာပြင်ပျက်စီးမှုကြောင့် ထွက်လာသော လေဆာဘား၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပွတ်တိုက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို ဖယ်ရှားရန်နှင့် မျက်နှာပြင်၏ ချောမွေ့ပြီး ပြားချပ်ချပ် သမာဓိရရှိစေရန် အက်တမ်အဆင့်ကို ရရှိစေရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။

<6> မျက်နှာပြင်အပူဖြင့် ကုသခြင်း- ရှေ့လုပ်ငန်းစဉ်ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော မျက်နှာပြင် ဖိစီးမှုနှင့် ခြစ်ရာများကို ထပ်မံဖယ်ရှားရန်နှင့် အက်တမ်အဆင့်တွင် ပြားသွားသော မျက်နှာပြင်ကို ရရှိရန်အတွက်၊ အက်ဆစ်ထွင်းဖောက်ပြီးနောက် တိုက်တေနီယမ်ကျောက်မျက်လှံတံအား 5 မိနစ်ခန့် ရေဖြင့် ဆေးကြောပြီး တိုက်တေနီယမ်ကျောက်မျက်ရတနာလှံတံကို ± 10°C ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူချိန် 20 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင် ထားရှိခဲ့သည်။ ဟိုက်ဒရိုဂျင်လေထုထဲတွင် 1 နာရီမှ 3 နာရီအထိ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး မျက်နှာပြင်အပူကို ကုသပေးသည်။