ဆီလီကွန် / ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ဝေဖာ လေးဆင့်ချိတ်ဆက် ඔප දැමීම အလိုအလျောက်လိုင်း (ပေါင်းစပ် ඔප දැමීම ကိုင်တွယ်ခြင်းလိုင်း)

ဤအဆင့်လေးဆင့် ချိတ်ဆက်ထားသော ඔප දැමීම အလိုအလျောက်စနစ်လိုင်းသည် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ပေါင်းစပ်ထားသော၊ လိုင်းတွင်းဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ඔප දැමීම / CMP ပြီးနောက်လုပ်ငန်းများဆီလီကွန်နှင့်ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC)ဝေဖာများ။ တည်ဆောက်ထားသည်ကြွေထည်သယ်ဆောင်ကိရိယာများ (ကြွေပြားများ)စနစ်သည် အောက်ပိုင်းလုပ်ငန်းဆောင်တာများစွာကို ညှိနှိုင်းထားသော လိုင်းတစ်ခုတည်းအဖြစ် ပေါင်းစပ်ပေးသည်—စက်ရုံများကို လူကိုယ်တိုင်ကိုင်တွယ်မှုကို လျှော့ချရန်၊ ယူဆောင်သွားချိန်ကို တည်ငြိမ်စေရန်နှင့် ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်ရေးကို အားကောင်းစေရန် ကူညီပေးသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင်၊CMP ပြီးနောက် ထိရောက်သော သန့်ရှင်းရေးနောက်လုပ်ငန်းစဉ်မတိုင်မီ ချို့ယွင်းချက်များကို လျှော့ချရန် အဓိကခြေလှမ်းတစ်ခုအဖြစ် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသိအမှတ်ပြုထားပြီး အဆင့်မြင့်ချဉ်းကပ်မှုများ (အပါအဝင်)မီဂါဆွန်နစ် သန့်ရှင်းရေး) ကို အမှုန်ဖယ်ရှားမှုစွမ်းဆောင်ရည် တိုးတက်စေရန်အတွက် အများအားဖြင့် ဆွေးနွေးလေ့ရှိကြသည်။

အထူးသဖြင့် SiC အတွက်၊ ၎င်း၏မာကျောမှုမြင့်မားခြင်းနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ မငြိမ်မသက်ဖြစ်ခြင်းඔප දැමීමကို စိန်ခေါ်မှုဖြစ်စေသည် (များသောအားဖြင့် ပစ္စည်းဖယ်ရှားမှုနှုန်းနည်းပါးခြင်းနှင့် မျက်နှာပြင်/မျက်နှာပြင်အောက်ပိုင်း ပျက်စီးမှုအန္တရာယ် မြင့်မားခြင်းနှင့် ဆက်စပ်နေလေ့ရှိသည်)၊ ၎င်းသည် ඔප දැමීමပြီးနောက် တည်ငြိမ်သော အလိုအလျောက်လုပ်ဆောင်မှုနှင့် ထိန်းချုပ်ထားသော သန့်ရှင်းရေး/ကိုင်တွယ်မှုကို အထူးတန်ဖိုးရှိစေသည်။