Silicon carbide ကြွေဗန်းစုတ်သည် Silicon carbide ကြွေပြွန်သည် မြင့်မားသောအပူချိန် sintering စိတ်ကြိုက်လုပ်ဆောင်ခြင်းကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
1. ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ဗန်း
- မြင့်မားသော မာကျောမှုနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှု- မာကျောမှုသည် စိန်နှင့်နီးစပ်ပြီး wafer လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အချိန်ကြာမြင့်စွာ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဝတ်ဆင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
- မြင့်မားသော thermal conductivity နှင့် low thermal expansion coefficient- လျှင်မြန်စွာ အပူပျံ့ခြင်းနှင့် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု၊ အပူဖိစီးမှုကြောင့် ပုံပျက်ခြင်းများကို ရှောင်ရှားခြင်း။
- မြင့်မားသော ချောမွေ့မှုနှင့် မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်ခြင်း- မျက်နှာပြင်ပြားသည် မိုက်ခရိုနအဆင့်အထိဖြစ်ပြီး wafer နှင့် disk အကြား အပြည့်အဝထိတွေ့မှုကို သေချာစေပြီး ညစ်ညမ်းမှုနှင့် ပျက်စီးမှုများကို လျှော့ချပေးသည်။
ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှု- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် စိုစွတ်သောသန့်ရှင်းရေးနှင့် etching လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် သင့်လျော်သောအားကောင်းသောချေးခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
2. Silicon carbide ကြွေပြွန်
- မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်- ၎င်းသည် 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထက်မြင့်မားသောအပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်အချိန်ကြာမြင့်စွာအလုပ်လုပ်နိုင်ပြီး၊ semiconductor မြင့်မားသောအပူချိန်လုပ်ငန်းစဉ်အတွက်သင့်လျော်သည်။
အလွန်ကောင်းမွန်သော သံချေးတက်ခြင်း- အက်ဆစ်များ၊ အယ်ကာလီများနှင့် ဓာတုအပျော်အရည်မျိုးစုံတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ကြမ်းတမ်းသောလုပ်ငန်းစဉ်ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် သင့်လျော်သည်။
- မြင့်မားသော မာကျောမှုနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှု- အမှုန်အမွှားတိုက်စားမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဝတ်ဆင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။
- မြင့်မားသော thermal conductivity နှင့် low coefficient of heat expansion of heat and dimensional stability of fast conduction ၊ thermal stress ကြောင့်ဖြစ်သော ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ကွဲအက်ခြင်းကို လျှော့ချပေးသည်။
ထုတ်ကုန် ကန့်သတ်ချက်
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ဗန်း သတ်မှတ်ချက်-
| (ပစ္စည်းဥစ္စာ)၊ | (ယူနစ်) | (ssic) | |
| (SiC အကြောင်းအရာ) | (Wt)% | >99 | |
| (ပျမ်းမျှစပါးအရွယ်အစား) | မိုက်ခရို | ၄-၁၀ | |
| (သိပ်သည်းဆ) | kg/dm3 | > ၃.၁၄ | |
| (ထင်ရှားသော ချွေးပေါက်များ) | Vo1% | <0.5 | |
| (Vickers မာကျောမှု) | HV 0.5 | ဂျီပီ | 28 |
| *() Flexural strength* (သုံးမှတ်) | 20ºC | MPa | ၄၅၀ |
| (Compressive strength)၊ | 20ºC | MPa | ၃၉၀၀ |
| (Elastic Modulus) | 20ºC | ဂျီပီ | ၄၂၀ |
| (အရိုးကျိုးခိုင်မာမှု) | MPa/m'% | ၃.၅ | |
| (အပူစီးကူးမှု) | 20°C | W/(m*K) | ၁၆၀ |
| (ခုခံနိုင်စွမ်း) | 20°C | Ohm.cm | ၁၀၆-၁၀၈ |
(အပူချဲ့ကိန်း) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | ၄.၃ |
(အမြင့်ဆုံးလည်ပတ်မှုအပူချိန်) | oºC | ၁၇၀၀ | |
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေပြွန် သတ်မှတ်ချက်
| ပစ္စည်းများ | အညွှန်း |
| α-SIC | 99% မိနစ် |
| ထင်ရှားသော Porosity | 16% အများဆုံး |
| အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | 2.7g/cm3 မိနစ် |
| မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ကွေးညွှတ်ခွန်အား | 100 Mpa မိနစ် |
| Thermal Expansion ၏ Coefficient | K-1 4.7x10 -6 |
| Thermal Conductivity ကိန်းဂဏန်း (1400ºC) | 24 W/mk |
| မက်တယ်။ အလုပ်အပူချိန် | 1650ºC |
အဓိက အပလီကေးရှင်းများ-
1. Silicon carbide ကြွေပြား
- Wafer ဖြတ်တောက်ခြင်းနှင့် ပေါလစ်ပွတ်ခြင်း- ဖြတ်တောက်ခြင်းနှင့် ပွတ်တိုက်ရာတွင် မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုရှိစေရန်အတွက် ဝက်ဝံပလပ်ဖောင်းတစ်ခုအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။
- Lithography လုပ်ငန်းစဉ်- ထိတွေ့မှုအတွင်း မြင့်မားသောတိကျမှုရှိကြောင်း သေချာစေရန်အတွက် wafer ကို ပုံသဏ္ဍာန်စက်တွင် တပ်ဆင်ထားသည်။
- Chemical Mechanical Polishing (CMP) : တူညီသောဖိအားနှင့် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို ပံ့ပိုးပေးသော ပေါလစ်ပြားများအတွက် အထောက်အကူပလက်ဖောင်းတစ်ခုအဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။
2. Silicon carbide ကြွေပြွန်
- High temperature furnace tube : မြင့်မားသော အပူချိန်ဖြစ်စဉ်ကို ကုသရန်အတွက် wafers များကိုသယ်ဆောင်ရန်အတွက် diffusion furnace နှင့် oxidation furnace ကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအပူချိန်ကိရိယာများအတွက် အသုံးပြုသည်။
- CVD/PVD လုပ်ငန်းစဉ်- တုံ့ပြန်မှုခန်းရှိ bearing tube အနေဖြင့် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ- အပူလဲလှယ်ကိရိယာများ၊ ဓာတ်ငွေ့ပိုက်လိုင်းများ စသည်တို့အတွက်၊ စက်ကိရိယာများ၏ အပူပိုင်းစီမံခန့်ခွဲမှု စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန်။
XKH သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်ဗန်းများ၊ စုပ်ခွက်များနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေပြွန်များအတွက် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများစွာကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ဗူးများနှင့် စုတ်ယူခွက်များ၊ XKH သည် မတူညီသောအရွယ်အစား၊ ပုံသဏ္ဍာန်များနှင့် မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုတို့ကို ဖောက်သည်များ၏လိုအပ်ချက်အရ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပြီး အထူးအပေါ်ယံပိုင်းကုသမှုကို ပံ့ပိုးပေးကာ ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်နှင့် ချေးခံနိုင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်ပြွန်များအတွက်၊ XKH သည် အတွင်းအချင်း၊ အပြင်ဘက်အချင်း၊ အလျားနှင့် ရှုပ်ထွေးသောဖွဲ့စည်းပုံ (ပုံသဏ္ဍာန်ပြွန် သို့မဟုတ် ပေါက်ရောက်သောပြွန်ကဲ့သို့) အမျိုးမျိုးကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပြီး အရောင်တင်ခြင်း၊ ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်အလွှာနှင့် အခြားမျက်နှာပြင် ကုသမှုလုပ်ငန်းစဉ်များကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်သည်။ XKH သည် သုံးစွဲသူများသည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်ပစ္စည်းများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်အကျိုးကျေးဇူးများကို အပြည့်အဝအသုံးချနိုင်စေရန် အာမခံပေးပါသည်။
အသေးစိတ် ပုံကြမ်း
