ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု (ခက်ရင်း/လက်ကိုင်အမျိုးအစား)
အသေးစိတ်ပုံကြမ်း
Quartz Glass ၏ ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်
ထိုဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်း၊ ဖိုတွန်နစ်၊ အလိုအလျောက် ရိုဘော့တစ်နှင့် အဆင့်မြင့် ပစ္စည်းပြုပြင်ခြင်းအတွက် အင်ဂျင်နီယာပြုလုပ်ထားသော မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော ကိုင်တွယ်မှု အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ခက်ရင်း/လက် ပုံစံဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသောဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုထူးခြားသော အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု၊ အလွန်မြင့်မားသော တောင့်တင်းမှုနှင့် အမှုန်ထုတ်လုပ်မှု အလွန်နည်းပါးမှုကို ပေးစွမ်းသောကြောင့် အာရုံခံနိုင်စွမ်းမရှိသော wafer နှင့် substrate transfer လုပ်ဆောင်ချက်များအတွက် အသင့်တော်ဆုံးဖြစ်စေသည်။
ရိုးရာသတ္တု သို့မဟုတ် ပိုလီမာ အဖျားကိရိယာများနှင့်မတူဘဲ၊ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုအပူချိန်အလွန်အမင်း၊ ဓာတုဗေဒထိတွေ့မှုနှင့် လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ပုံသဏ္ဍာန်တိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်သည်။ ၎င်း၏ အလွန်ပြားချပ်သော မျက်နှာပြင်သည် ဆီလီကွန်ဝေဖာများ၊ ဖန်အောက်ခံများ၊ နီလာမှန်ဘီလူးများ၊ SiC ဝေဖာများနှင့် အခြားပျက်စီးလွယ်သောပစ္စည်းများကို တည်ငြိမ်စွာကိုင်တွယ်နိုင်စေပါသည်။ ပေါ့ပါးသော်လည်း မာကျောသောဖွဲ့စည်းပုံဖြင့်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုတုန်ခါမှုကို လျှော့ချပေးသည်၊ throughput ကို တိုးစေသည်၊ ထို့အပြင် ရိုဘော့တစ်မြန်ဆန်သော အရှိန်မြှင့်တင်မှုအတွင်း စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဖိစီးမှုကို လျှော့ချပေးသည်။
ညစ်ညမ်းမှု လုံးဝကင်းစင်သော စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသောဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုကို FOUP load port များ၊ EFEM မော်ဂျူးများ၊ lithography စနစ်များ၊ vacuum transfer tool များနှင့် metrology station များတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြပြီး automation ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် အဖိုးတန်ပစ္စည်းများအကြား ယုံကြည်စိတ်ချရသော၊ မြင့်မားသောသန့်စင်မှု interface ကို ပေးစွမ်းသည်။
ထုတ်လုပ်မှုမူ
ထိုဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုမြင့်မားသောသန့်စင်မှု၊ မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆနှင့် ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို အာမခံသည့် အထူးပြုကြွေထည်ထုတ်လုပ်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်မှတစ်ဆင့် ထုတ်လုပ်ထားသည်။ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တစ်လျှောက်လုံးတွင် တင်းကျပ်သောအရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုများသည် တစ်ခုချင်းစီကို သေချာစေသည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုsemiconductor-class automated systems များ၏ တင်းကျပ်သော လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
၁။ ပစ္စည်းပြင်ဆင်ခြင်း
ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် မြင့်မားသောသန့်စင်မှု SiC အမှုန့်များ ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့် စတင်သည်။ ဤအမှုန့်များသည် ၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအစွမ်းသတ္တိနှင့် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုအထူးချည်နှောင်ပစ္စည်းများနှင့် sintering ဖြည့်စွက်ပစ္စည်းများကို ရောစပ်ထားပြီး အမှုန်အမွှားများကို အကောင်းဆုံးထုပ်ပိုးမှုရရှိစေရန်နှင့် တစ်ပြေးညီသိပ်သည်းဆကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
၂။ ပုံသွင်းခြင်းနှင့် ကြိုတင်ပုံသွင်းခြင်း
အစိမ်းရောင်ခန္ဓာကိုယ်ကဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုisostatic pressing သို့မဟုတ် ceramic injection molding ကို အသုံးပြု၍ ဖွဲ့စည်းထားသည်။ ၎င်းသည် အတွင်းပိုင်းချို့ယွင်းချက် အနည်းဆုံးဖြင့် ဖိအားမျှတသောဖွဲ့စည်းပုံကို သေချာစေသည်။ fork-style geometry ကို ဤအဆင့်တွင် wafer အချင်းများနှင့် robotic mounting interfaces များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် ပုံသွင်းထားသည်။
၃။ အပူချိန်မြင့် မီးညှိခြင်း
ပုံသွင်းထားသော အစိတ်အပိုင်းကို ၂၀၀၀°C အထက်ရှိ လေဟာနယ် သို့မဟုတ် အစွမ်းမဲ့လေထုတွင် sintered လုပ်သည်။ ဤအဆင့်အတွင်းတွင်၊ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုသီအိုရီအရသိပ်သည်းဆနီးပါးသို့ရောက်ရှိကာ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သောမာကျောမှု၊ အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်နှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။ ဤအဆင့်သည် အစိတ်အပိုင်း၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတည်တံ့မှုကို သတ်မှတ်ပေးသည်။
၄။ CNC တိကျသော စက်ယန္တရား
sintering၊ စိန်ကြိတ်ခွဲခြင်းနှင့် multi-axis CNC machining ပြီးနောက် geometry ကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်သည်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုwafer contact surfaces၊ mounting holes၊ alignment groove များနှင့် fork spacing ကဲ့သို့သော အရေးကြီးသော အင်္ဂါရပ်များကို ±0.01 မီလီမီတာအထိ ခံနိုင်ရည်ရှိအောင် စက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
၅။ မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်ခြင်းနှင့် သန့်ရှင်းရေး
နောက်ဆုံးအနေနဲ့၊ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုအလွန်သေးငယ်သော ඔප දැමීමနှင့် မြင့်မားသော သန့်ရှင်းမှုရှိသော အသံလှိုင်းဖြင့် သန့်စင်ခြင်းကို ဖြတ်သန်းသည်။ ဤအဆင့်သည် မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုကို လျှော့ချပေးပြီး အမှုန်အမွှားများကို ဖယ်ရှားပေးသောကြောင့် သန့်ရှင်းသောအခန်းနှင့် လိုက်ဖက်ညီမှုကို သေချာစေသည်။ ရွေးချယ်နိုင်သော CVD-SiC အပေါ်ယံလွှာများ သို့မဟုတ် ပလာစမာခံနိုင်ရည်ရှိသော အလွှာများသည် တာရှည်ခံမှုကို ပိုမိုမြှင့်တင်ပေးနိုင်ပါသည်။
ဤဂရုတစိုက်ထုတ်လုပ်မှုချဉ်းကပ်မှုသည် တစ်ခုချင်းစီကိုသေချာစေသည်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုမြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော အလိုအလျောက်စနစ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချစွာ လုပ်ဆောင်သည်။
အပလီကေးရှင်းများ
ထိုဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုသန့်ရှင်းမှု၊ တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့ကို ညှိနှိုင်း၍မရသော စက်မှုလုပ်ငန်းများအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ၎င်း၏ ခက်ရင်း/လက်ဒီဇိုင်းကြောင့် စက်ရုပ်လက်များ၊ pick-and-place စနစ်များ၊ vacuum transfer tools များနှင့် အဆင့်မြင့်စစ်ဆေးရေးပလက်ဖောင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
၁။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်း
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်ရုံများတွင်၊ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု၎င်းကို အောက်ပါတို့တွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးပြုပါသည်-
-
ဝေဖာတင်ခြင်း/ချခြင်း
-
FOUP စီခြင်း
-
ဖုန်စုပ်ခန်းသယ်ယူပို့ဆောင်ရေး
-
အက်တမ်၊ လစ်သိုဂရပ်ဖီ နှင့် သတ္တုပုံသွင်းခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များ
အလွန်သန့်ရှင်းပြီး မာကျောသောဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုဝေဖာချော်ခြင်း၊ ကွေးခြင်းနှင့် ညစ်ညမ်းခြင်းကို ကာကွယ်ပေးပြီး ဝေဖာများကို 150 မီလီမီတာမှ 300 မီလီမီတာအထိ ထောက်ပံ့ပေးသည်။
၂။ ဖိုတွန်နစ်နှင့် အော့ပတိုအီလက်ထရွန်းနစ်
ပျက်စီးလွယ်သော မှန်ဘီလူးများ၊ အလင်းတန်းကိရိယာများ၊ GaN အောက်ခံများနှင့် ဖိုတွန်နစ်ချစ်ပ်များကို ကိုင်တွယ်ရန်အတွက်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုတုန်ခါမှုကင်းသော တည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။ ၎င်း၏ သတ္တုမဟုတ်သော သဘောသဘာဝက သံလိုက်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှုနှင့် အလင်းဆိုင်ရာညစ်ညမ်းမှုကို ရှောင်ရှားပေးသည်။
၃။ မျက်နှာပြင်နှင့် ပြားထုတ်လုပ်ခြင်း
OLED၊ QLED နှင့် LCD ပြားများ ထုတ်လုပ်ရာတွင်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုပါးလွှာသောဖန်နှင့် အထူးပြုအောက်ခံများကို ဘေးကင်းစွာလွှဲပြောင်းပေးသည်။ ၎င်း၏ ဓာတုဗေဒအရ ငြိမ်ဝပ်သောမျက်နှာပြင်သည် အကြွင်းအကျန်များနှင့် မျက်နှာပြင်ပျက်စီးမှုများမှ ကာကွယ်ပေးသည်။
၄။ အာကာသနှင့် ဖုန်စုပ်စက်ရုပ်များ
လေဟာနယ်မြင့်မားသော အခန်းများနှင့် အာကာသယာဉ် တပ်ဆင်ရေးလိုင်းများတွင်၊ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုမြင့်မားသောအပူချိန်၊ ရောင်ခြည်ထိတွေ့မှုနှင့် ချေးတက်သောဓာတ်ငွေ့များကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အတိုင်းအတာတိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်။
ဤစက်မှုလုပ်ငန်းများအားလုံးတွင်၊ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုသတ္တုနှင့် ပိုလီမာ အစားထိုးပစ္စည်းများထက် အဆက်မပြတ် သာလွန်ကောင်းမွန်ပါသည်။
မကြာခဏမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ - မကြာခဏမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ
မေး ၁: Silicon Carbide Ceramic End Effector က စိတ်ကြိုက်အရွယ်အစားတွေကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသလား။
ဟုတ်တယ်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုမည်သည့် wafer၊ panel သို့မဟုတ် substrate အရွယ်အစားအတွက်မဆို ဒီဇိုင်းထုတ်နိုင်ပါသည်။ Fork အကွာအဝေး၊ အထူ၊ အလေးချိန်နှင့် mounting hole ပုံစံများကို အပြည့်အဝ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။
မေး- ဆီလီကွန်ကာဘိုက်ကြွေအဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုသည် ဖုန်စုပ်စက်ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် သင့်လျော်ပါသလား။
လုံးဝ။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှု အလွန်နည်းပါးပြီး သတ္တုညစ်ညမ်းမှု မရှိသောကြောင့် UHV နှင့် သန့်ရှင်းရေးအခန်းပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် အသင့်တော်ဆုံးဖြစ်သည်။
Q3: အလူမီနီယမ် သို့မဟုတ် သံမဏိထက် SiC end effector ရဲ့ အားသာချက်တွေက ဘာတွေလဲ။
A ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုကမ်းလှမ်းချက်များ-
-
အလေးချိန်နှင့် မာကျောမှုအချိုး မြင့်မားခြင်း
-
အပူချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးခြင်း
-
သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်
-
ပလာစမာနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ခံနိုင်ရည် ပိုကောင်းခြင်း
-
သံချေးလုံးဝမတက်ခြင်း
ကြှနျုပျတို့အကွောငျး
XKH သည် အထူးအလင်းတန်းမှန်နှင့် ပုံဆောင်ခဲပစ္စည်းများ၏ အဆင့်မြင့်နည်းပညာဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု၊ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ရောင်းချမှုတွင် အထူးပြုပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် အလင်းတန်းအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ၊ စားသုံးသူအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် စစ်တပ်အတွက် ဝန်ဆောင်မှုပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် Sapphire အလင်းတန်းအစိတ်အပိုင်းများ၊ မိုဘိုင်းဖုန်းမှန်ဘီလူးအဖုံးများ၊ ကြွေထည်များ၊ LT၊ Silicon Carbide SIC၊ Quartz နှင့် semiconductor crystal wafers များကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ကျွမ်းကျင်သောကျွမ်းကျင်မှုနှင့် ခေတ်မီသောပစ္စည်းကိရိယာများဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် စံမမီသောထုတ်ကုန်ပြုပြင်ထုတ်လုပ်မှုတွင် ထူးချွန်ပြီး ဦးဆောင် optoelectronic ပစ္စည်းများ၏ အဆင့်မြင့်နည်းပညာလုပ်ငန်းတစ်ခုဖြစ်ရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။
ဆက်စပ်ထုတ်ကုန်များ
-
အလူမီနာကြွေထည် စိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်း
-
SiC ကြွေဗန်းအဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသော ဝေဖာကိုင်တွယ်ခြင်း ...
-
စိတ်ကြိုက်စက်မှုလုပ်ငန်း SiC ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများစက်ရုံ res ...
-
စိတ်ကြိုက်စက်မှုလုပ်ငန်း SiC ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများစက်ရုံ res ...
-
အလူမီနာ ကြွေပြား ၄ လက်မ သန့်စင်မှု ၉၉% polycrys...
-
ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဒ်ရောင်ခြည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဒ်ရောင်ခြည်ပြန်လည်ပြုပြင်ခြင်း...