SiC substrate 3inch 350um thickness HPSI type Prime Grade Dummy grade
သတ္တိ
ကန့်သတ်ချက် | ထုတ်လုပ်မှုအဆင့် | သုတေသနအဆင့် | Dummy အဆင့် | ယူနစ် |
တန်း | ထုတ်လုပ်မှုအဆင့် | သုတေသနအဆင့် | Dummy အဆင့် | |
လုံးပတ် | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
အထူ | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Wafer Orientation | ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 0.5° | ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 2.0° | ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 2.0° | ဘွဲ့ |
Micropipe Density (MPD) | ≤ ၁ | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
လျှပ်စစ်ခုခံနိုင်စွမ်း | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·စင်တီမီတာ |
Dopant | ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။ | ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။ | ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။ | |
Primary Flat Orientation | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ဘွဲ့ |
မူလတန်းအလျား | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
Secondary Flat Length | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
Secondary Flat Orientation | မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0° | မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0° | မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0° | ဘွဲ့ |
အနားသတ် ဖယ်ထုတ်ခြင်း | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | µm |
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်း။ | Si-face- CMP၊ C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်။ | Si-face- CMP၊ C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်။ | Si-face- CMP၊ C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်။ | |
အက်ကြောင်းများ (ပြင်းထန်သောအလင်း) | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ | |
Hex ပန်းကန်များ (High-Intensity Light) | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ | စုစည်းဧရိယာ 10% | % |
Polytype ဧရိယာများ (ပြင်းထန်မှုမြင့်မားသောအလင်း) | စုစည်းဧရိယာ 5% | စုစည်းဧရိယာ 20% | စုစည်းဧရိယာ 30% | % |
ခြစ်ရာများ (High-Intensity Light) | ≤ 5 ခြစ်ရာ၊ စုဆောင်းမှုအရှည် ≤ 150 | ≤ 10 ခြစ်ရာ၊ စုစည်းမှုအရှည် ≤ 200 | ≤ 10 ခြစ်ရာ၊ စုစည်းမှုအရှည် ≤ 200 | mm |
အစွန်းအထင်း | အနံ ≥ 0.5 မီလီမီတာ အကျယ်/အနံ မရှိပါ။ | 2 ခွင့်ပြုထားသည် ≤ 1 mm width/depth | 5 ခွင့်ပြုထားသည် ≤ 5 မီလီမီတာ အကျယ်/အတိမ် | mm |
မျက်နှာပြင်ညစ်ညမ်းခြင်း။ | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ |
အသုံးချမှု
1. ပါဝါမြင့်သော အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ
သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် SiC wafers များ၏ ကျယ်ပြန့်သော bandgap သည် ၎င်းတို့အား ပါဝါမြင့်သော၊ ကြိမ်နှုန်းမြင့်သော စက်များအတွက် စံပြဖြစ်စေသည်-
● ပါဝါပြောင်းလဲခြင်းအတွက် MOSFET နှင့် IGBTs။
● အင်ဗာတာများနှင့် အားသွင်းကိရိယာများ အပါအဝင် အဆင့်မြင့် လျှပ်စစ်ကား ပါဝါစနစ်များ။
● စမတ်ဂရစ်အခြေခံအဆောက်အအုံနှင့် ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်စနစ်များ။
2. RF နှင့် Microwave စနစ်များ
SiC အလွှာများသည် လှိုင်းနှုန်းမြင့် RF နှင့် မိုက်ခရိုဝေ့ဖ် အပလီကေးရှင်းများကို အချက်ပြဆုံးရှုံးမှု အနည်းဆုံးဖြင့် လုပ်ဆောင်နိုင်သည်-
● ဆက်သွယ်ရေးနှင့် ဂြိုလ်တုစနစ်များ။
●အာကာသယာဉ်ရေဒါစနစ်များ။
● အဆင့်မြင့် 5G ကွန်ရက် အစိတ်အပိုင်းများ။
3. Optoelectronics နှင့် အာရုံခံကိရိယာများ
SiC ၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများသည် optoelectronic applications အမျိုးမျိုးကိုထောက်ပံ့ပေးသည်-
● ပတ်ဝန်းကျင်စောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် စက်မှုအာရုံခံခြင်းအတွက် UV detectors။
● အစိုင်အခဲ-အခြေအနေအလင်းရောင်နှင့် တိကျမှုတူရိယာများအတွက် LED နှင့် လေဆာအလွှာ။
●အာကာသယာဉ်နှင့် မော်တော်ယာဥ်လုပ်ငန်းများအတွက် အပူချိန်မြင့်အာရုံခံကိရိယာများ။
4. သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး
အဆင့်များ ကွဲပြားမှု (ထုတ်လုပ်မှု၊ သုတေသန၊ Dummy) သည် ပညာရပ်ဆိုင်ရာနှင့် လုပ်ငန်းနယ်ပယ်များတွင် နောက်ဆုံးပေါ် လက်တွေ့စမ်းသပ်မှုများနှင့် စက်ပစ္စည်းပုံတူပုံစံကို ပံ့ပိုးပေးသည်။
အားသာချက်များ
●ယုံကြည်စိတ်ချရမှု-အဆင့်အလိုက် ခုခံနိုင်စွမ်းနှင့် တည်ငြိမ်မှု အထူးကောင်းမွန်သည်။
●စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ခြင်း-မတူညီသော လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် ချိန်ညှိထားသော လမ်းကြောင်းများနှင့် အထူများ။
● High PurityUndoped ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းမှုသည် အနည်းဆုံး အညစ်အကြေးဆိုင်ရာ ကွဲပြားမှုများကို သေချာစေသည်။
● အတိုင်းအတာ-အစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုနှင့် စမ်းသပ်သုတေသန နှစ်ခုလုံး၏ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။
3 လက်မအရွယ် သန့်စင်မြင့် SiC wafers များသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် စက်များနှင့် ဆန်းသစ်သော နည်းပညာဆိုင်ရာ တိုးတက်မှုများအတွက် သင့်တံခါးပေါက်ဖြစ်သည်။ စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများနှင့် အသေးစိတ်သတ်မှတ်ချက်များအတွက် ယနေ့ကျွန်ုပ်တို့ကို ဆက်သွယ်ပါ။
အနှစ်ချုပ်
ထုတ်လုပ်မှု၊ သုတေသနနှင့် Dummy အဆင့်များတွင် ရရှိနိုင်သော 3 လက်မ High Purity Silicon Carbide (SiC) Wafers များသည် စွမ်းအားမြင့် အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ၊ RF/microwave စနစ်များ၊ optoelectronics နှင့် အဆင့်မြင့် R&D အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ပရီမီယံအလွှာများဖြစ်သည်။ ဤ wafer များသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ခံနိုင်ရည်ရှိမှု (≥1E10 Ω·cm၊ မိုက်ခရိုပိုက်သိပ်သည်းဆ (≤1 cm−2^-2−2) နှင့် ထူးခြားသော မျက်နှာပြင် အရည်အသွေးတို့နှင့်အတူ မပိတ်ဘဲ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကာ ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ၎င်းတို့ကို ပါဝါပြောင်းခြင်း၊ ဆက်သွယ်ရေး၊ UV အာရုံခံခြင်း နှင့် LED နည်းပညာများ အပါအဝင် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် ပြုလုပ်ထားပါသည်။ စိတ်ကြိုက်ပြုပြင်နိုင်သော လမ်းကြောင်းများ၊ သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် ကြံ့ခိုင်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများဖြင့်၊ ဤ SiC wafers များသည် စက်မှုလုပ်ငန်းခွင်များအတွင်း ထိရောက်ပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော စက်ပစ္စည်းများကို တီထွင်ဖန်တီးနိုင်ကာ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုများကို လုပ်ဆောင်ပေးပါသည်။