SiC wafer 4H-N 6H-N HPSI 4H-Semi 6H-Semi 4H-P 6H-P 3C အမျိုးအစား 2 လက်မ 3 လက်မ 4 လက်မ 6 လက်မ 8 လက်မ
ဂုဏ်သတ္တိများ
4H-N နှင့် 6H-N (N-အမျိုးအစား SiC ဝေဖာများ)
လျှောက်လွှာ:ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ၊ အော်တိုအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် အပူချိန်မြင့်အသုံးချမှုများတွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုသည်။
အချင်းအပိုင်းအခြား:၅၀.၈ မီလီမီတာမှ ၂၀၀ မီလီမီတာအထိ။
အထူ:၃၅၀ μm ± ၂၅ μm၊ ၅၀၀ μm ± ၂၅ μm အထူ ရွေးချယ်နိုင်သည်။
ခုခံအား:N-အမျိုးအစား 4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (Z-အဆင့်)၊ ≤ 0.3 Ω·cm (P-အဆင့်)၊ N-အမျိုးအစား 3C-N: ≤ 0.8 mΩ·cm (Z-အဆင့်)၊ ≤ 1 mΩ·cm (P-အဆင့်)။
ကြမ်းတမ်းမှု:Ra ≤ 0.2 nm (CMP သို့မဟုတ် MP)။
မိုက်ခရိုပိုက် သိပ်သည်းဆ (MPD):< ၁ ခု/စင်တီမီတာ²။
တီတီဗီ: အချင်းအားလုံးအတွက် ≤ 10 μm။
ဝါ့ပ်: ≤ ၃၀ μm (၈ လက်မ ဝေဖာများအတွက် ≤ ၄၅ μm)။
အနားသတ် ဖယ်ထုတ်ခြင်း-wafer အမျိုးအစားပေါ် မူတည်၍ ၃ မီလီမီတာမှ ၆ မီလီမီတာအထိ။
ထုပ်ပိုးမှု:ဝါဖာများစွာပါသော ကက်ဆက် သို့မဟုတ် ဝါဖာတစ်ခုတည်းပါသော ကွန်တိန်နာ။
ရရှိနိုင်သော အရွယ်အစား ၃ လက်မ ၄ လက်မ ၆ လက်မ ၈ လက်မ
HPSI (မြင့်မားသောသန့်စင်မှု တစ်ဝက်လျှပ်ကာ SiC ဝေဖာများ)
လျှောက်လွှာ:RF ကိရိယာများ၊ ဖိုတွန်နစ် အပလီကေးရှင်းများနှင့် အာရုံခံကိရိယာများကဲ့သို့ မြင့်မားသော ခုခံမှုနှင့် တည်ငြိမ်သော စွမ်းဆောင်ရည် လိုအပ်သော ကိရိယာများအတွက် အသုံးပြုသည်။
အချင်းအပိုင်းအခြား:၅၀.၈ မီလီမီတာမှ ၂၀၀ မီလီမီတာအထိ။
အထူ:စံအထူ ၃၅၀ μm ± ၂၅ μm ရှိပြီး ၅၀၀ μm အထိ ပိုထူသော ဝေဖာများအတွက် ရွေးချယ်စရာများရှိသည်။
ကြမ်းတမ်းမှု:Ra ≤ 0.2 nm။
မိုက်ခရိုပိုက် သိပ်သည်းဆ (MPD): ≤ ၁ တစ်ခု/စင်တီမီတာ²။
ခုခံအား:ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသောကြောင့် semi-insulating applications များတွင် အသုံးပြုလေ့ရှိသည်။
ဝါ့ပ်: ≤ 30 μm (အရွယ်အစားသေးငယ်သူများအတွက်)၊ အချင်းပိုကြီးသောအချင်းများအတွက် ≤ 45 μm။
တီတီဗီ: ≤ ၁၀ မိုက်ခရိုမီတာ။
ရရှိနိုင်သော အရွယ်အစား ၃ လက်မ ၄ လက်မ ၆ လက်မ ၈ လက်မ
4H-P၊၆H-P&3C SiC ဝေဖာ(P-အမျိုးအစား SiC ဝေဖာများ)
လျှောက်လွှာ:အဓိကအားဖြင့် ပါဝါနှင့် မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်းရှိသော စက်ပစ္စည်းများအတွက်။
အချင်းအပိုင်းအခြား:၅၀.၈ မီလီမီတာမှ ၂၀၀ မီလီမီတာအထိ။
အထူ:၃၅၀ μm ± ၂၅ μm သို့မဟုတ် စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်စရာများ။
ခုခံအား:P-အမျိုးအစား 4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (Z-အဆင့်)၊ ≤ 0.3 Ω·cm (P-အဆင့်)။
ကြမ်းတမ်းမှု:Ra ≤ 0.2 nm (CMP သို့မဟုတ် MP)။
မိုက်ခရိုပိုက် သိပ်သည်းဆ (MPD):< ၁ ခု/စင်တီမီတာ²။
တီတီဗီ: ≤ ၁၀ မိုက်ခရိုမီတာ။
အနားသတ် ဖယ်ထုတ်ခြင်း-၃ မီလီမီတာမှ ၆ မီလီမီတာအထိ။
ဝါ့ပ်: အရွယ်အစားငယ်များအတွက် ≤ 30 μm၊ အရွယ်အစားကြီးများအတွက် ≤ 45 μm။
ရရှိနိုင်သော အရွယ်အစား ၃ လက်မ ၄ လက်မ ၆ လက်မ5×၅ ၁၀×10
တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းဒေတာ ကန့်သတ်ချက်များဇယား
| အိမ်ခြံမြေ | ၂ လက်မ | ၃ လက်မ | ၄ လက်မ | ၆ လက်မ | ၈ လက်မ | |||
| အမျိုးအစား | ၄H-N/HPSI/ | ၄H-N/HPSI/ | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI/4H-SEMI | |||
| အချင်း | ၅၀.၈ ± ၀.၃ မီလီမီတာ | ၇၆.၂ ± ၀.၃ မီလီမီတာ | ၁၀၀ ± ၀.၃ မီလီမီတာ | ၁၅၀ ± ၀.၃ မီလီမီတာ | ၂၀၀ ± ၀.၃ မီလီမီတာ | |||
| အထူ | ၃၃၀ ± ၂၅ အွမ် | ၃၅၀ ±၂၅ um | ၃၅၀ ±၂၅ um | ၃၅၀ ±၂၅ um | ၃၅၀ ±၂၅ um | |||
| ၃၅၀ ± ၂၅um; | ၅၀၀ ± ၂၅um | ၅၀၀ ± ၂၅um | ၅၀၀ ± ၂၅um | ၅၀၀ ± ၂၅um | ||||
| သို့မဟုတ် စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသည် | သို့မဟုတ် စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသည် | သို့မဟုတ် စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသည် | သို့မဟုတ် စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသည် | သို့မဟုတ် စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသည် | ||||
| ကြမ်းတမ်းမှု | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | |||
| ဝါ့ပ် | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤၄၅um | |||
| တီတီဗီ | ≤ ၁၀um | ≤ ၁၀um | ≤ ၁၀um | ≤ ၁၀um | ≤ ၁၀um | |||
| ကုတ်ခြစ်/တူး | CMP/MP | |||||||
| MPD | <၁ ခု/စင်တီမီတာ-၂ | <၁ ခု/စင်တီမီတာ-၂ | <၁ ခု/စင်တီမီတာ-၂ | <၁ ခု/စင်တီမီတာ-၂ | <၁ ခု/စင်တီမီတာ-၂ | |||
| ပုံသဏ္ဍာန် | အဝိုင်း၊ ပြားချပ်ချပ် ၁၆ မီလီမီတာ; အရှည် ၂၂ မီလီမီတာ; အရှည် ၃၀/၃၂.၅ မီလီမီတာ; အရှည် ၄၇.၅ မီလီမီတာ; အပေါက်; အပေါက်; | |||||||
| ဘီဗယ် | ၄၅°၊ တစ်ဝက်သတ်မှတ်ချက်၊ C ပုံသဏ္ဍာန် | |||||||
| အဆင့် | MOS&SBD အတွက် ထုတ်လုပ်မှုအဆင့်၊ သုတေသနအဆင့်၊ Dummy အဆင့်၊ Seed wafer အဆင့် | |||||||
| မှတ်ချက်များ | အချင်း၊ အထူ၊ ဦးတည်ချက်၊ အထက်ပါသတ်မှတ်ချက်များကို သင့်တောင်းဆိုချက်အပေါ်တွင် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။ | |||||||
အပလီကေးရှင်းများ
·ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်
N အမျိုးအစား SiC ဝေဖာများသည် မြင့်မားသောဗို့အားနှင့် မြင့်မားသောလျှပ်စီးကြောင်းကို ကိုင်တွယ်နိုင်စွမ်းကြောင့် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ကိရိယာများတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ၎င်းတို့ကို ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်၊ လျှပ်စစ်ယာဉ်များနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းအလိုအလျောက်စနစ်ကဲ့သို့သော စက်မှုလုပ်ငန်းများအတွက် ပါဝါပြောင်းစက်များ၊ အင်ဗာတာများနှင့် မော်တာဒရိုက်များတွင် အသုံးများသည်။
· အလင်းလျှပ်စစ်
N အမျိုးအစား SiC ပစ္စည်းများ၊ အထူးသဖြင့် optoelectronic အသုံးချမှုများအတွက်၊ light-emitting diode (LEDs) နှင့် laser diode ကဲ့သို့သော စက်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းတို့၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ကျယ်ပြန့်သော bandgap ကြောင့် မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော optoelectronic စက်ပစ္စည်းများအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်စေသည်။
·အပူချိန်မြင့် အသုံးချမှုများ
4H-N 6H-N SiC ဝေဖာများသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် အပူပျံ့နှံ့မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှု အရေးကြီးသည့် အာကာသ၊ မော်တော်ကားနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများတွင် အသုံးပြုသည့် အာရုံခံကိရိယာများနှင့် ပါဝါကိရိယာများကဲ့သို့ မြင့်မားသောအပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် အလွန်သင့်လျော်ပါသည်။
·RF ကိရိယာများ
4H-N 6H-N SiC ဝေဖာများကို မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်းအပိုင်းအခြားများတွင် လည်ပတ်သော ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်း (RF) ကိရိယာများတွင် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းတို့ကို မြင့်မားသောပါဝါထိရောက်မှုနှင့်စွမ်းဆောင်ရည် လိုအပ်သည့် ဆက်သွယ်ရေးစနစ်များ၊ ရေဒါနည်းပညာနှင့် ဂြိုလ်တုဆက်သွယ်ရေးများတွင် အသုံးပြုသည်။
·ဖိုတွန်နစ် အသုံးချမှုများ
ဖိုတွန်နစ်တွင် SiC ဝေဖာများကို photodetectors နှင့် modulators ကဲ့သို့သော ကိရိယာများအတွက် အသုံးပြုသည်။ ဤပစ္စည်း၏ ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် optical communication systems နှင့် imaging devices များတွင် အလင်းထုတ်လုပ်မှု၊ modulation နှင့် detection တို့တွင် ထိရောက်မှုရှိစေသည်။
·အာရုံခံကိရိယာများ
SiC ဝေဖာများကို အာရုံခံကိရိယာအသုံးချမှုအမျိုးမျိုးတွင် အသုံးပြုကြပြီး အထူးသဖြင့် အခြားပစ္စည်းများ ပျက်စီးနိုင်သည့် ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းတို့တွင် အပူချိန်၊ ဖိအားနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ အာရုံခံကိရိယာများ ပါဝင်ပြီး မော်တော်ကား၊ ရေနံနှင့် သဘာဝဓာတ်ငွေ့နှင့် ပတ်ဝန်းကျင်စောင့်ကြည့်ခြင်းကဲ့သို့သော နယ်ပယ်များတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။
·လျှပ်စစ်ယာဉ်မောင်းနှင်မှုစနစ်များ
SiC နည်းပညာသည် မောင်းနှင်မှုစနစ်များ၏ ထိရောက်မှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုးတက်စေခြင်းဖြင့် လျှပ်စစ်ယာဉ်များတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ SiC ပါဝါတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများဖြင့် လျှပ်စစ်ယာဉ်များသည် ပိုမိုကောင်းမွန်သော ဘက်ထရီသက်တမ်း၊ ပိုမိုမြန်ဆန်သော အားသွင်းချိန်နှင့် ပိုမိုမြင့်မားသော စွမ်းအင်ထိရောက်မှုကို ရရှိနိုင်သည်။
·အဆင့်မြင့် အာရုံခံကိရိယာများနှင့် ဖိုတွန်နစ် ကွန်ဗာတာများ
အဆင့်မြင့်အာရုံခံနည်းပညာများတွင်၊ SiC ဝေဖာများကို ရိုဘော့တစ်၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာကိရိယာများနှင့် ပတ်ဝန်းကျင်စောင့်ကြည့်ခြင်းတွင် အသုံးချမှုများအတွက် မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော အာရုံခံကိရိယာများဖန်တီးရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။ ဖိုတွန်ကွန်ဗာတာများတွင်၊ SiC ၏ဂုဏ်သတ္တိများကို လျှပ်စစ်စွမ်းအင်ကို အလင်းအချက်ပြမှုများအဖြစ် ထိရောက်စွာပြောင်းလဲနိုင်စေရန် အသုံးချပြီး ၎င်းသည် ဆက်သွယ်ရေးနှင့် မြန်နှုန်းမြင့်အင်တာနက်အခြေခံအဆောက်အအုံတွင် အရေးပါပါသည်။
မေး-ဖြေ
Q4H SiC မှာ 4H ဆိုတာ ဘာလဲ။
A:4H SiC ရှိ "4H" သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၏ ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံကို ရည်ညွှန်းပြီး၊ အထူးသဖြင့် အလွှာလေးလွှာ (H) ပါသော ဆဋ္ဌဂံပုံသဏ္ဍာန်ဖြစ်သည်။ "H" သည် ဆဋ္ဌဂံပုံ polytype အမျိုးအစားကို ညွှန်ပြပြီး 6H သို့မဟုတ် 3C ကဲ့သို့သော အခြား SiC polytype များနှင့် ခွဲခြားပေးသည်။
Q4H-SiC ရဲ့ အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းက ဘယ်လောက်လဲ။
A4H-SiC (Silicon Carbide) ၏ အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းသည် အခန်းအပူချိန်တွင် ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် 490-500 W/m·K ဖြစ်သည်။ ဤမြင့်မားသော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းသည် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် အပူချိန်မြင့်ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးချမှုများအတွက် အသင့်တော်ဆုံးဖြစ်ပြီး၊ ထိုပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူထိရောက်စွာ ပျံ့နှံ့ရန် အရေးကြီးပါသည်။














