SiC ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုမီးဖို SiC Ingot ကြီးထွားလာ 4 လက်မ 6 လက်မ 8inch PTV Lely TSSG LPE ကြီးထွားမှုနည်းလမ်း
ပင်မကြည်လင်ကြီးထွားမှုနည်းလမ်းများနှင့်၎င်းတို့၏ဝိသေသလက္ခဏာများ
(၁) ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အငွေ့လွှဲပြောင်းနည်း (PTV)၊
အခြေခံသဘောတရား- မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်၊ SiC ကုန်ကြမ်းသည် အစေ့ပုံဆောင်ခဲပေါ်တွင် ပြန်လည်ပုံဆောင်ထားသည့် ဓာတ်ငွေ့အဆင့်သို့ စိမ့်ဝင်သွားပါသည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
မြင့်မားသောကြီးထွားအပူချိန် (2000-2500°C)။
အရည်အသွေးမြင့်၊ ကြီးမားသောအရွယ်အစား 4H-SiC နှင့် 6H-SiC ပုံဆောင်ခဲများကို စိုက်ပျိုးနိုင်သည်။
ကြီးထွားမှုနှုန်း နှေးကွေးသော်လည်း ကြည်လင်သော အရည်အသွေး မြင့်မားသည်။
လျှောက်လွှာ- ပါဝါတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ RF စက်များနှင့် အခြားအဆင့်မြင့်နယ်ပယ်များတွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုသည်။
(၂) လီလီနည်းလမ်း
အခြေခံသဘောတရား- မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် SiC အမှုန့်များကို အလိုအလျောက် sublimation နှင့် ပြန်လည်ပုံသွင်းခြင်းဖြင့် သလင်းကျောက်များကို ကြီးထွားစေသည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အစေ့များမလိုအပ်ဘဲ ပုံဆောင်ခဲအရွယ်အစားသည် သေးငယ်သည်။
ပုံဆောင်ခဲအရည်အသွေး မြင့်မားသော်လည်း ကြီးထွားမှုထိရောက်မှု နည်းပါးသည်။
ဓာတ်ခွဲခန်းသုတေသနနှင့် အသေးစားအသုတ်ထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် သင့်လျော်သည်။
အပလီကေးရှင်း- သေးငယ်သော အရွယ်အစား SiC ပုံဆောင်ခဲများကို သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနနှင့် ပြင်ဆင်မှုတွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုသည်။
(၃) ထိပ်တန်းမျိုးစေ့များ ကြီးထွားမှုနည်းလမ်း (TSSG)၊
အခြေခံသဘောတရား- အပူချိန်မြင့်သည့်ဖြေရှင်းချက်တွင်၊ SiC ကုန်ကြမ်းသည် အစေ့ပုံဆောင်ခဲပေါ်တွင် ပျော်ဝင်ပြီး ပုံဆောင်ခဲဖြစ်သွားသည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
ကြီးထွားမှုအပူချိန် (1500-1800°C) နိမ့်သည်။
အရည်အသွေးမြင့်၊ ချို့ယွင်းချက်နည်းပါးသော SiC crystals များကို စိုက်ပျိုးနိုင်သည်။
ကြီးထွားမှုနှုန်းနှေးသော်လည်း ကြည်လင်ညီညွှတ်မှုသည် ကောင်းမွန်သည်။
အပလီကေးရှင်း- optoelectronic ကိရိယာများကဲ့သို့သော အရည်အသွေးမြင့် SiC ပုံဆောင်ခဲများ ပြင်ဆင်မှုအတွက် သင့်လျော်သည်။
(၄) Liquid Phase epitaxy (LPE)
အခြေခံသဘောတရား- အရည်သတ္တုရည်တွင်၊ SiC ကုန်ကြမ်းအလွှာပေါ်ရှိ epitaxial ကြီးထွားမှု။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
ကြီးထွားမှုအပူချိန် (1000-1500°C) နိမ့်သည်။
လျင်မြန်စွာကြီးထွားနှုန်း၊ ရုပ်ရှင်တိုးတက်မှုအတွက်သင့်လျော်သည်။
ပုံဆောင်ခဲအရည်အသွေး မြင့်မားသော်လည်း အထူမှာ အကန့်အသတ်ရှိသည်။
အပလီကေးရှင်း- အာရုံခံကိရိယာများနှင့် optoelectronic ကိရိယာများကဲ့သို့သော SiC ရုပ်ရှင်များ၏ epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် အဓိကအသုံးပြုသည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပုံဆောင်ခဲမီးဖို၏အဓိကအသုံးချနည်းလမ်းများ
SiC crystal furnace သည် sic crystals များကို ပြင်ဆင်ရန်အတွက် အဓိက ကိရိယာဖြစ်ပြီး ၎င်း၏ အဓိက အသုံးချနည်းလမ်းများ ပါဝင်သည်။
ပါဝါတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း- အရည်အသွေးမြင့် 4H-SiC နှင့် 6H-SiC ပုံဆောင်ခဲများကို ပါဝါသုံးပစ္စည်းများ (MOSFETs၊ diodes ကဲ့သို့သော) အလွှာပစ္စည်းများအဖြစ် ကြီးထွားရန်အသုံးပြုသည်။
အသုံးချပရိုဂရမ်များ- လျှပ်စစ်ကားများ၊ photovoltaic အင်ဗာတာများ၊ စက်မှုစွမ်းအင်သုံးပစ္စည်းများ၊ စသည်တို့။
Rf စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း- 5G ဆက်သွယ်ရေး၊ ရေဒါနှင့် ဂြိုလ်တုဆက်သွယ်ရေး၏ ကြိမ်နှုန်းမြင့်မားသောလိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းရန် RF စက်များအတွက် အလွှာအဖြစ် ချို့ယွင်းချက်နည်းပါးသော SiC ပုံဆောင်ခဲများကို ကြီးထွားစေရန် အသုံးပြုပါသည်။
Optoelectronic စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း- leds၊ ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်ထောက်လှမ်းသည့်ကိရိယာများနှင့် လေဆာရောင်ခြည်များအတွက် အရည်အသွေးမြင့် SiC ပုံဆောင်ခဲများကို ကြီးထွားစေရန်အသုံးပြုသည်။
သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသနနှင့် အသေးစားအသုတ်ထုတ်လုပ်ခြင်း- ဓာတ်ခွဲခန်းသုတေသနနှင့် SiC crystal တိုးတက်မှုနည်းပညာ၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်လုပ်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် ဓာတ်ခွဲခန်းသုတေသနနှင့် ပစ္စည်းအသစ်များ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုအတွက်။
မြင့်မားသောအပူချိန်စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း- မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်ရှိသော SiC ပုံဆောင်ခဲများကို အာကာသယာဉ်နှင့် အပူချိန်မြင့်အာရုံခံကိရိယာများအတွက် အခြေခံပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုသည်။
ကုမ္ပဏီမှ ပံ့ပိုးပေးသော SiC မီးဖိုသုံးပစ္စည်းများနှင့် ဝန်ဆောင်မှုများ
XKH သည် အောက်ဖော်ပြပါ ဝန်ဆောင်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးသော SIC crystal furnace စက်ပစ္စည်းများ၏ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေးနှင့် ထုတ်လုပ်ရေးအပေါ် အာရုံစိုက်ပါသည်။
စိတ်ကြိုက်စက်ပစ္စည်း- XKH သည် ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်အရ PTV နှင့် TSSG ကဲ့သို့သော ကြီးထွားမှုနည်းလမ်းအမျိုးမျိုးဖြင့် စိတ်ကြိုက်ကြီးထွားမီးဖိုများကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။
နည်းပညာပံ့ပိုးမှု- XKH သည် သုံးစွဲသူများအား ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု လုပ်ငန်းစဉ် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းမှ စက်ကိရိယာများ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်းအထိ လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးအတွက် နည်းပညာဆိုင်ရာ ပံ့ပိုးမှုပေးပါသည်။
လေ့ကျင့်ရေးဝန်ဆောင်မှုများ- XKH သည် စက်ကိရိယာများ ထိရောက်စွာလည်ပတ်နိုင်စေရန်အတွက် သုံးစွဲသူများအား လုပ်ငန်းလည်ပတ်လေ့ကျင့်ရေးနှင့် နည်းပညာလမ်းညွှန်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
အရောင်းအပြီးဝန်ဆောင်မှု- XKH သည် ဖောက်သည်ထုတ်လုပ်မှု၏ စဉ်ဆက်မပြတ်သေချာစေရန်အတွက် အမြန်တုံ့ပြန်မှု အပြီးရောင်းဝန်ဆောင်မှုနှင့် စက်ပစ္စည်းများ အဆင့်မြှင့်တင်မှုများကို ဆောင်ရွက်ပေးသည်။
Silicon carbide crystal ကြီးထွားမှုနည်းပညာ (ဥပမာ PTV၊ Lely၊ TSSG၊ LPE) တွင် ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်း၊ RF စက်များနှင့် optoelectronics နယ်ပယ်တွင် အရေးကြီးသော အသုံးချပရိုဂရမ်များ ရှိသည်။ XKH သည် အရည်အသွေးမြင့် SiC ပုံဆောင်ခဲများ အကြီးစားထုတ်လုပ်မှုတွင် ဖောက်သည်များအား ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် အဆင့်မြင့် SiC မီးဖိုသုံးကိရိယာများနှင့် ဝန်ဆောင်မှုများစွာကို ပံ့ပိုးပေးပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်စက်မှုလုပ်ငန်းကို ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေပါသည်။
အသေးစိတ် ပုံကြမ်း

