မိုက်ခရိုဂျက်လေဆာနည်းပညာပစ္စည်းကိရိယာများ wafer ဖြတ်တောက်ခြင်း SiC ပစ္စည်းလုပ်ဆောင်ခြင်း
အလုပ်လုပ်ပုံ အခြေခံမူ
၁။ လေဆာချိတ်ဆက်မှု- ပဲ့တင်ထပ်လေဆာ (UV/အစိမ်းရောင်/အနီအောက်ရောင်ခြည်) ကို အရည်ဂျက်အတွင်း အာရုံစူးစိုက်ပြီး တည်ငြိမ်သော စွမ်းအင်ပို့လွှတ်လမ်းကြောင်းတစ်ခု ဖန်တီးသည်။
၂။ အရည်လမ်းညွှန်မှု- မြန်နှုန်းမြင့်ဂျက် (စီးဆင်းမှုနှုန်း 50-200m/s) သည် စီမံဆောင်ရွက်သည့်နေရာကို အအေးပေးပြီး အပူစုပုံခြင်းနှင့် ညစ်ညမ်းမှုကို ရှောင်ရှားရန် အပျက်အစီးများကို ဖယ်ရှားပေးသည်။
၃။ ပစ္စည်းဖယ်ရှားခြင်း- လေဆာစွမ်းအင်သည် ပစ္စည်း၏အအေးဓာတ်ကို စီမံဆောင်ရွက်ရန် (အပူဒဏ်ခံရသောဇုန် <1μm) အရည်တွင် cavitation အကျိုးသက်ရောက်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။
၄။ ဒိုင်းနမစ်ထိန်းချုပ်မှု- မတူညီသောပစ္စည်းများနှင့်ဖွဲ့စည်းပုံများ၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်လေဆာ parameters (ပါဝါ၊ ကြိမ်နှုန်း) နှင့်ဂျက်ဖိအားကိုအချိန်နှင့်တပြေးညီချိန်ညှိခြင်း။
အဓိက ကန့်သတ်ချက်များ-
၁။ လေဆာပါဝါ: 10-500W (ချိန်ညှိနိုင်သည်)
၂။ ဂျက်အချင်း: ၅၀-၃၀၀ မိုက်ခရိုမီတာ
၃။ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တိကျမှု- ±၀.၅μm (ဖြတ်တောက်ခြင်း)၊ အနက်နှင့် အနံအချိုး ၁၀:၁ (တူးဖော်ခြင်း)
နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်များ-
(၁) အပူဒဏ် လုံးဝမရှိသလောက်ပါပဲ
- အရည်ဂျက်အအေးပေးခြင်းသည် အပူဒဏ်ခံရသောဇုန် (HAZ) ကို **<1μm** အထိ ထိန်းချုပ်ပေးပြီး ရိုးရာလေဆာလုပ်ဆောင်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အဏုကြည့်အက်ကွဲကြောင်းများကို ရှောင်ရှားသည် (HAZ သည် များသောအားဖြင့် >10μm)။
(၂) အလွန်မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော စက်ယန္တရား
- **±0.5μm** အထိ ဖြတ်တောက်/တူးဖော်ခြင်း တိကျမှု၊ အနားသတ်ကြမ်းတမ်းမှု Ra<0.2μm ကြောင့် နောက်ဆက်တွဲ ඔප දැමීම လိုအပ်ချက်ကို လျှော့ချပေးပါသည်။
- ရှုပ်ထွေးသော 3D ဖွဲ့စည်းပုံ လုပ်ငန်းစဉ်များကို ပံ့ပိုးပေးသည် (ဥပမာ- ကွန်ကရစ်အပေါက်များ၊ ပုံသဏ္ဍာန် အပေါက်များ)။
(၃) ပစ္စည်းနှင့် လိုက်ဖက်ညီမှု ကျယ်ပြန့်ခြင်း
- မာကျောပြီး ကြွပ်ဆတ်သော ပစ္စည်းများ- SiC၊ နီလာ၊ ဖန်၊ ကြွေထည်များ (ရိုးရာနည်းလမ်းများသည် ကွဲလွယ်သည်)။
- အပူဒဏ်ခံနိုင်သော ပစ္စည်းများ- ပိုလီမာများ၊ ဇီဝဗေဒဆိုင်ရာ တစ်ရှူးများ (အပူဓာတ်ပျက်စီးခြင်း အန္တရာယ်မရှိပါ)။
(၄) ပတ်ဝန်းကျင်ထိန်းသိမ်းရေးနှင့် ထိရောက်မှု
- ဖုန်မှုန့်ညစ်ညမ်းမှုမရှိပါ၊ အရည်ကို ပြန်လည်အသုံးပြုနိုင်ပြီး စစ်ထုတ်နိုင်သည်။
- စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ခြင်းနှင့် နှိုင်းယှဉ်လျှင် လုပ်ဆောင်မှုအမြန်နှုန်း ၃၀%-၅၀% တိုးလာသည်။
(၅) ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်သော ထိန်းချုပ်မှု
- ပေါင်းစပ်ထားသော အမြင်အာရုံ အနေအထားနှင့် AI ကန့်သတ်ချက် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း၊ လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသော ပစ္စည်းအထူနှင့် ချို့ယွင်းချက်များ။
နည်းပညာဆိုင်ရာ သတ်မှတ်ချက်များ
| စားပွဲခုံ ပမာဏ | ၃၀၀*၃၀၀*၁၅၀ | ၄၀၀*၄၀၀*၂၀၀ |
| XY မျဉ်းဖြောင့်ဝင်ရိုး | လီနင်မော်တာ။ လီနင်မော်တာ | လီနင်မော်တာ။ လီနင်မော်တာ |
| မျဉ်းဖြောင့်ဝင်ရိုး Z | ၁၅၀ | ၂၀၀ |
| တည်နေရာတိကျမှု μm | +/- ၅ | +/- ၅ |
| ထပ်ခါတလဲလဲ နေရာချထားမှု တိကျမှု μm | +/- ၂ | +/- ၂ |
| အရှိန်မြှင့် G | 1 | ၀.၂၉ |
| ဂဏန်းသင်္ချာထိန်းချုပ်မှု | ဝင်ရိုး ၃ ခု / ဝင်ရိုး ၃+၁ / ဝင်ရိုး ၃+၂ | ဝင်ရိုး ၃ ခု / ဝင်ရိုး ၃+၁ / ဝင်ရိုး ၃+၂ |
| ဂဏန်းသင်္ချာထိန်းချုပ်မှုအမျိုးအစား | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
| လှိုင်းအလျား nm | ၅၃၂/၁၀၆၄ | ၅၃၂/၁၀၆၄ |
| အဆင့်သတ်မှတ်ထားသောပါဝါ W | ၅၀/၁၀၀/၂၀၀ | ၅၀/၁၀၀/၂၀၀ |
| ရေဂျက် | ၄၀-၁၀၀ | ၄၀-၁၀၀ |
| နော်ဇယ်ဖိအားဘား | ၅၀-၁၀၀ | ၅၀-၆၀၀ |
| အတိုင်းအတာ (စက်ကိရိယာ) (အနံ * အလျား * အမြင့်) မီလီမီတာ | ၁၄၄၅*၁၉၄၄*၂၂၆၀ | ၁၇၀၀*၁၅၀၀*၂၁၂၀ |
| အရွယ်အစား (ထိန်းချုပ်ကက်ဘိနက်) (အနံ * အလျား * အမြင့်) | ၇၀၀*၂၅၀၀*၁၆၀၀ | ၇၀၀*၂၅၀၀*၁၆၀၀ |
| အလေးချိန် (ပစ္စည်း) T | ၂.၅ | 3 |
| အလေးချိန် (ထိန်းချုပ်ကက်ဘိနက်) ကီလိုဂရမ် | ၈၀၀ | ၈၀၀ |
| လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်း | မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု Ra≤1.6um ဖွင့်နှုန်း ≥1.25mm/s လုံးပတ်ဖြတ်တောက်ခြင်း ≥6mm/s လိုင်းဖြတ်တောက်မှုအမြန်နှုန်း ≥50mm/s | မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု Ra≤1.2um ဖွင့်နှုန်း ≥1.25mm/s လုံးပတ်ဖြတ်တောက်ခြင်း ≥6mm/s လိုင်းဖြတ်တောက်မှုအမြန်နှုန်း ≥50mm/s |
| ဂယ်လီယမ် နိုက်ထရိုက် ပုံဆောင်ခဲ၊ အလွန်ကျယ်ပြန့်သော band gap semiconductor ပစ္စည်းများ (စိန်/ဂယ်လီယမ် အောက်ဆိုဒ်)၊ အာကာသနှင့် အာကာသ အထူးပစ္စည်းများ၊ LTCC ကာဗွန် ကြွေထည် အလွှာ၊ photovoltaic၊ scintillator ပုံဆောင်ခဲ နှင့် အခြားပစ္စည်းများ လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက်။ မှတ်ချက်- စီမံဆောင်ရွက်နိုင်စွမ်းသည် ပစ္စည်းဝိသေသလက္ခဏာများပေါ် မူတည်၍ ကွဲပြားသည်
| ||
စီမံဆောင်ရွက်သည့်ကိစ္စ-
XKH ရဲ့ ဝန်ဆောင်မှုတွေကတော့ -
XKH သည် microjet လေဆာနည်းပညာပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် အပြည့်အဝသက်တမ်းဝန်ဆောင်မှုပံ့ပိုးမှုပေးပါသည်။ အစောပိုင်းလုပ်ငန်းစဉ်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့် ပစ္စည်းကိရိယာများရွေးချယ်မှုဆိုင်ရာ တိုင်ပင်ဆွေးနွေးခြင်းမှသည် အလယ်အလတ်စိတ်ကြိုက်စနစ်ပေါင်းစပ်မှု (လေဆာရင်းမြစ်၊ ဂျက်စနစ်နှင့် အလိုအလျောက်မော်ဂျူး၏ အထူးကိုက်ညီမှုအပါအဝင်)၊ နောက်ပိုင်းလည်ပတ်မှုနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုသင်တန်းနှင့် စဉ်ဆက်မပြတ်လုပ်ငန်းစဉ်အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်လုပ်ဆောင်ခြင်းအထိ၊ လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကို ပရော်ဖက်ရှင်နယ်နည်းပညာအဖွဲ့ပံ့ပိုးမှုဖြင့် တပ်ဆင်ထားပါသည်။ တိကျသောစက်ယန္တရားဆိုင်ရာ နှစ် ၂၀ အတွေ့အကြုံအပေါ်အခြေခံ၍ ကျွန်ုပ်တို့သည် ပစ္စည်းကိရိယာများစစ်ဆေးခြင်း၊ အစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှုမိတ်ဆက်ခြင်းနှင့် ရောင်းချပြီးနောက်အမြန်တုံ့ပြန်မှု (၂၄ နာရီနည်းပညာပံ့ပိုးမှု + အဓိကအပိုပစ္စည်းများအရန်) အပါအဝင် တစ်နေရာတည်းတွင်ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးဆောင်နိုင်ပြီး ၁၂ လကြာအာမခံနှင့် တစ်သက်တာပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုနှင့် အဆင့်မြှင့်တင်မှုဝန်ဆောင်မှုကို ကတိပြုပါသည်။ ဖောက်သည်ပစ္စည်းကိရိယာများသည် လုပ်ငန်းနယ်ပယ်တွင် ဦးဆောင်နေသော လုပ်ငန်းစဉ်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တည်ငြိမ်မှုကို အမြဲထိန်းသိမ်းထားကြောင်း သေချာစေပါသည်။
အသေးစိတ်ပုံကြမ်း
