AlN-on-NPSS Wafer- အပူချိန်မြင့်မားမှု၊ စွမ်းအားမြင့် နှင့် RF အသုံးချမှုများအတွက် ပွတ်မဟုတ်သော နီလာအလွှာပေါ်ရှိ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိတ်အလွှာ
အင်္ဂါရပ်များ
စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် AlN အလွှာ: အလူမီနီယမ် နိုက်ထရိတ် (AlN) သည် ၎င်းအတွက် လူသိများသည်။မြင့်မားသောအပူစီးကူး(~200 W/m·K)၊ကျယ်ပြန့်သော bandgap, နှင့်မြင့်မားသောပြိုကွဲဗို့အား၊ ၎င်းကို စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်အောင် ပြုလုပ်သည်။စွမ်းအားမြင့်, ကြိမ်နှုန်းမြင့်, နှင့်မြင့်မားသောအပူချိန်လျှောက်လွှာများ။
ပွတ်မဟုတ်သော နီလာအလွှာ (NPSS): ပွတ်မဟုတ်သော နီလာကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။စရိတ်သက်သာတယ်။, စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်base၊ မျက်နှာပြင်ပေါ်လစ်တိုက်ခြင်း၏ရှုပ်ထွေးမှုမရှိဘဲ epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက်တည်ငြိမ်သောအခြေခံအုတ်မြစ်ကိုသေချာစေသည်။ NPSS ၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများသည် စိန်ခေါ်မှုပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် တာရှည်ခံစေသည်။
မြင့်မားသောအပူဓာတ်တည်ငြိမ်မှုAlN-on-NPSS wafer သည် အလွန်အမင်း အပူချိန် အတက်အကျများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ၎င်းကို အသုံးပြုရန် သင့်လျော်သည်။ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်, မော်တော်ကားစနစ်များ, အယ်လ်အီးဒီများ, နှင့်optical applications များအပူချိန်မြင့်သော အခြေအနေများတွင် တည်ငြိမ်သော စွမ်းဆောင်ရည် လိုအပ်သည်။
လျှပ်စစ်လျှပ်ကာ: AlN သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော လျှပ်စစ်လျှပ်ကာပစ္စည်းများ ပါ၀င်သောကြောင့် ၎င်းသည် အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ပြီးပြည့်စုံစေသည်။လျှပ်စစ်အထီးကျန်အပါအဝင် အရေးကြီးသည်။RF ကိရိယာများနှင့်မိုက်ခရိုဝေ့ လျှပ်စစ်ပစ္စည်း.
သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူကို ချေဖျက်ပေးခြင်း: မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့်အတူ၊ AlN အလွှာသည် ပါဝါနှင့် ကြိမ်နှုန်းမြင့်မားသော စက်ပစ္စည်းများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ထိရောက်သောအပူကို ချေဖျက်ပေးပါသည်။
နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ
ကန့်သတ်ချက် | သတ်မှတ်ချက် |
Wafer Diameter | 2 လက်မ၊ 4 လက်မ (စိတ်ကြိုက်အရွယ်အစားများရရှိနိုင်သည်) |
Substrate အမျိုးအစား | ပွတ်မဟုတ်သော နီလာအလွှာ (NPSS) |
AlN အလွှာအထူ | 2µm မှ 10µm (စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သည်) |
Substrate Thickness | 430µm ± 25µm (2 လက်မအတွက်)၊ 500µm ± 25µm (4 လက်မအတွက်) |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း | 200 W/m·K |
လျှပ်စစ်ခုခံနိုင်မှု | မြင့်မားသော insulation၊ RF applications များအတွက်သင့်လျော်သည်။ |
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်း။ | Ra ≤ 0.5µm (AlN အလွှာအတွက်) |
ပစ္စည်း သန့်ရှင်းမှု | မြင့်မားသော သန့်စင်မှု AlN (99.9%) |
အရောင် | အဖြူရောင်/အဖြူရောင်အလွှာ (အလင်းရောင် NPSS အလွှာပါသော AlN အလွှာ) |
Wafer Warp | < 30µm (ပုံမှန်) |
Doping အမျိုးအစား | Un-doped (စိတ်ကြိုက်လုပ်နိုင်ပါတယ်) |
အသုံးချမှု
ဟိAlN-on-NPSS waferလုပ်ငန်းအများအပြားတွင် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော အသုံးချပရိုဂရမ်များစွာအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။
စွမ်းအားမြင့် အီလက်ထရွန်းနစ်: AlN အလွှာ၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် လျှပ်ကာဂုဏ်သတ္တိများက ၎င်းကို စံပြပစ္စည်းတစ်ခု ဖြစ်စေသည်။ပါဝါထရန်စစ္စတာများ, rectifiers, နှင့်ပါဝါ IC များတွင်အသုံးပြုသည်။မော်တော်ကား, စက်မှု, နှင့်ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်စနစ်များ။
ရေဒီယို-ကြိမ်နှုန်း (RF) အစိတ်အပိုင်းများ: AlN ၏အလွန်ကောင်းမွန်သောလျှပ်စစ်လျှပ်ကာဂုဏ်သတ္တိများနှင့်အတူ၎င်း၏နိမ့်ဆုံးရှုံးမှုနှင့်အတူပေါင်းစပ်, ၏ထုတ်လုပ်မှုကို enableRF ထရန်စစ္စတာများ, HEMTs (High-Electron-Mobility Transistors), နှင့်အခြားမိုက်ခရိုဝေ့ဖ် အစိတ်အပိုင်းများမြင့်မားသော ကြိမ်နှုန်းများနှင့် ပါဝါအဆင့်များတွင် ထိရောက်စွာလည်ပတ်သည်။
Optical Devices များ: AlN-on-NPSS wafers များကို အသုံးပြုသည်။လေဆာ diodes, အယ်လ်အီးဒီများ, နှင့်ဓာတ်ပုံထောက်လှမ်းကိရိယာများဘယ်မှာလဲ။မြင့်မားသောအပူစီးကူးနှင့်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှုသက်တမ်းရှည်ကြာစွာ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။
အပူချိန်မြင့်အာရုံခံကိရိယာများ: အဆိုပါ wafer ၏ လွန်ကဲသော အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်သည် သင့်လျော်စေသည်။အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာများနှင့်ပတ်ဝန်းကျင်စောင့်ကြည့်ရေးကဲ့သို့သော စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင်၊အာကာသယာဉ်, မော်တော်ကား, နှင့်ရေနံနှင့်ဓာတ်ငွေ့.
Semiconductor ထုပ်ပိုးမှု: တွင်သုံးသည်။ အပူဖြန့်ကိရိယာများနှင့်အပူစီမံခန့်ခွဲမှုအလွှာထုပ်ပိုးမှုစနစ်များတွင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများ၏ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် ထိရောက်မှုကို အာမခံသည်။
အမေးအဖြေ
မေး- ဆီလီကွန်ကဲ့သို့ ရိုးရာပစ္စည်းများထက် AlN-on-NPSS wafers ၏ အဓိကအားသာချက်ကဘာလဲ။
A: အဓိက အားသာချက်ကတော့ AlN ပါ။မြင့်မားသောအပူစီးကူးအပူကို ထိရောက်စွာ ချေဖျက်နိုင်စေသောကြောင့် သင့်လျော်ပါသည်။စွမ်းအားမြင့်နှင့်ကြိမ်နှုန်းမြင့် application များအပူစီမံခန့်ခွဲမှုသည် အရေးကြီးသောနေရာဖြစ်သည်။ ထို့အပြင် AlN တွင်တစ်ခုရှိသည်။ကျယ်ပြန့်သော bandgapကောင်းမွန်သောလျှပ်စစ်လျှပ်ကာ၊ အသုံးပြုရန် အထူးကောင်းမွန်ပါသည်။RFနှင့်မိုက်ခရိုဝေ့ဖ် ကိရိယာများရိုးရာဆီလီကွန်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါ။
မေး- NPSS wafers ပေါ်ရှိ AlN အလွှာကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသလား။
A- ဟုတ်ပါသည်၊ သင့်လျှောက်လွှာ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရန် အထူ (2µm မှ 10µm သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပို၍) အထူအားဖြင့် AlN အလွှာကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် တားမြစ်ဆေးအမျိုးအစား (N-type သို့မဟုတ် P-type) နှင့် အထူးပြုလုပ်ဆောင်ချက်များအတွက် ထပ်လောင်းအလွှာများကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ပေးပါသည်။
မေး- မော်တော်ယာဥ်လုပ်ငန်းမှာ ဒီ wafer အတွက် ပုံမှန်အပလီကေးရှင်းက ဘာလဲ။
A- မော်တော်ကားလုပ်ငန်းတွင် AlN-on-NPSS wafers များကို အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်, LED မီးအလင်းရောင်စနစ်များ, နှင့်အပူချိန်အာရုံခံကိရိယာများ. ၎င်းတို့သည် မတူညီသော အပူချိန်အခြေအနေများအောက်တွင် လုပ်ဆောင်နိုင်သော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောစနစ်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီမံခန့်ခွဲမှုနှင့် လျှပ်စစ်ကာဗာများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
အသေးစိတ် ပုံကြမ်း



