8 လက်မ SiC ထုတ်လုပ်မှုအဆင့် wafer 4H-N SiC အလွှာ

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

8 လက်မအရွယ် SiC အလွှာများကို ပါဝါ MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors)၊ Schottky diodes နှင့် အခြားသော ပါဝါတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများကဲ့သို့သော စွမ်းအားမြင့် အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

အောက်ပါဇယားသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ 8 လက်မ SiC wafers ၏သတ်မှတ်ချက်များကိုပြသသည်-

8 လက်မ N-type SiC DSP Specs များ
နံပါတ်	ကုသိုလ်ကံ	ယူနစ်	ထုတ်လုပ်မှု	သုတေသန	Dummy
1: ကန့်သတ်ချက်များ
၁.၁	polytype	--	4H	4H	4H
၁.၂	မျက်နှာပြင်တိမ်းညွှတ်	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: လျှပ်စစ် ကန့်သတ်ချက်
၂.၁	လိမ်းဆေး	--	n-နိုက်ထရိုဂျင်အမျိုးအစား	n-နိုက်ထရိုဂျင်အမျိုးအစား	n-နိုက်ထရိုဂျင်အမျိုးအစား
၂.၂	ခုခံနိုင်စွမ်း	ohm · စင်တီမီတာ	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်
၃.၁	အချင်း	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
၃.၂	အထူ	µm	500±25	500±25	500±25
၃.၃	Notch တိမ်းညွှတ်မှု	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
၃.၄	Notch Depth	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
၃.၅	LTV	µm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
၃.၆	TTV	µm	≤10	≤10	≤15
၃.၇	ဦးညွှတ်	µm	-၂၅~၂၅	-၄၅~၄၅	-၆၅~၆၅
၃.၈	ရုန်းသည်။	µm	≤30	≤50	≤70
၃.၉	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: ဖွဲ့စည်းပုံ
၄.၁	micropipe သိပ်သည်းဆ	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
၄.၂	သတ္တုပါဝင်မှု	အက်တမ်/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
၄.၃	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
၄.၄	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
၄.၅	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. ရှေ့အရည်အသွေး
၅.၁	ရှေ့	--	Si	Si	Si
၅.၂	မျက်နှာပြင်ပြီးစီး	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
၅.၃	အမှုန်	ea/wafer	≤100(size≥0.3μm)	NA	NA
၅.၄	ခြစ်	ea/wafer	≤5၊စုစုပေါင်းအရှည်≤200mm	NA	NA
၅.၅	အစွန်း chips/indents/cracks/stains/contamination	--	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ	NA
၅.၆	Polytype နေရာများ	--	တစ်ခုမှ	ဧရိယာ ≤10%	ဧရိယာ ≤30%
၅.၇	ရှေ့အမှတ်အသား	--	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ
6: နောက်ကျောအရည်အသွေး
၆.၁	ပြီးအောင်	--	C-မျက်နှာအမတ်	C-မျက်နှာအမတ်	C-မျက်နှာအမတ်
၆.၂	ခြစ်	mm	NA	NA	NA
၆.၃	နောက်ကျော အနာအဆာ အစွန်း ချစ်ပ်များ/အင်တင်းများ	--	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ	NA
၆.၄	နောက်ကျောကြမ်းတမ်းခြင်း။	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
၆.၅	နောက်ကြောင်းအမှတ်အသား	--	ထစ်	ထစ်	ထစ်
7: အစွန်း
၇.၁	အစွန်း	--	ချမ်ဖာ	ချမ်ဖာ	ချမ်ဖာ
8: အထုပ်
၈.၁	ထုပ်ပိုးမှု	--	Epi-ဖုန်စုပ်စက် အဆင်သင့် ထုပ်ပိုးမှု	Epi-ဖုန်စုပ်စက် အဆင်သင့် ထုပ်ပိုးမှု	Epi-ဖုန်စုပ်စက် အဆင်သင့် ထုပ်ပိုးမှု
၈.၂	ထုပ်ပိုးမှု	--	ဆပ်ပြာမျိုးစုံ ကက်ဆက်ထုပ်ပိုးမှု	ဆပ်ပြာမျိုးစုံ ကက်ဆက်ထုပ်ပိုးမှု	ဆပ်ပြာမျိုးစုံ ကက်ဆက်ထုပ်ပိုးမှု