6 လက်မ SiC Epitaxiy wafer N/P အမျိုးအစား စိတ်ကြိုက်လက်ခံသည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial wafer ၏ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် Chemical Vapor Deposition (CVD) နည်းပညာကိုအသုံးပြုထားသောနည်းလမ်းဖြစ်သည်။ အောက်ပါတို့သည် သက်ဆိုင်ရာ နည်းပညာဆိုင်ရာ စည်းမျဉ်းများနှင့် ပြင်ဆင်မှု လုပ်ငန်းစဉ် အဆင့်များဖြစ်သည်-
နည်းပညာဆိုင်ရာ နိယာမ-
Chemical Vapor Deposition- ဓါတ်ငွေ့အဆင့်ရှိ ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြု၍ သီးခြားတုံ့ပြန်မှုအခြေအနေများအောက်တွင် ၎င်းကို ပြိုကွဲပျက်စီးစေပြီး လိုချင်သောပါးလွှာသောဖလင်အဖြစ် ဖန်တီးရန် အလွှာပေါ်တွင် ထားရှိပါသည်။
ဓာတ်ငွေ့အဆင့် တုံ့ပြန်မှု- pyrolysis သို့မဟုတ် ကွဲအက်တုံ့ပြန်မှုမှတစ်ဆင့်၊ ဓာတ်ငွေ့အဆင့်ရှိ ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့များသည် တုံ့ပြန်မှုခန်းအတွင်း ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် ပြောင်းလဲသွားပါသည်။
ပြင်ဆင်မှု လုပ်ငန်းစဉ် အဆင့်များ-
အလွှာကို ကုသခြင်း- epitaxial wafer ၏ အရည်အသွေးနှင့် ပုံဆောင်ခဲများကို သေချာစေရန်အတွက် အလွှာသည် မျက်နှာပြင် သန့်ရှင်းရေးနှင့် ကြိုတင် သန့်စင်မှု ပြုလုပ်ရပါမည်။
တုံ့ပြန်မှုအခန်း အမှားရှာပြင်ခြင်း- တုံ့ပြန်မှုအခန်း၏ အပူချိန်၊ ဖိအားနှင့် စီးဆင်းမှုနှုန်းနှင့် တုံ့ပြန်မှုအခြေအနေများ၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတို့ကို သေချာစေရန် တုံ့ပြန်မှုအခန်းနှင့် အခြားကန့်သတ်ဘောင်များကို ချိန်ညှိပါ။
ကုန်ကြမ်းထောက်ပံ့မှု- လိုအပ်သောဓာတ်ငွေ့ကုန်ကြမ်းများကို ဓာတ်ပြုခန်းထဲသို့ ပေးဆောင်ကာ လိုအပ်သလို ရောစပ်ကာ စီးဆင်းမှုနှုန်းကို ထိန်းချုပ်ခြင်း။
တုံ့ပြန်မှုလုပ်ငန်းစဉ်- ဓာတ်ပြုခန်းကို အပူပေးခြင်းဖြင့်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖလင် (ဥပမာ- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖလင်) ကို ထုတ်ယူရန်အတွက် အခန်းအတွင်းရှိ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တုံ့ပြန်မှုကို လက်ခံပါသည်။
အအေးခံခြင်းနှင့် ထုပ်ပိုးခြင်း- တုံ့ပြန်မှုအဆုံးတွင်၊ တုံ့ပြန်မှုခန်းရှိ အနည်အနှစ်များကို အေးမြစေပြီး ခိုင်မာစေရန် အပူချိန်ကို တဖြည်းဖြည်း လျှော့ချသည်။
Epitaxial wafer ကို လိမ်းပြီး ပြုပြင်ခြင်း- အပ်နှံထားသော epitaxial wafer သည် ၎င်း၏ လျှပ်စစ်နှင့် optical ဂုဏ်သတ္တိများ ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် ဖျက်သိမ်းပြီး နောက်ပိုင်းတွင် လုပ်ဆောင်သည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial wafer ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ တိကျသောအဆင့်များနှင့် အခြေအနေများသည် သီးခြားစက်ပစ္စည်းများနှင့် လိုအပ်ချက်များပေါ်မူတည်၍ ကွဲပြားနိုင်သည်။ အထက်ပါအချက်များသည် ယေဘုယျလုပ်ငန်းစဉ်စီးဆင်းမှုနှင့် နိယာမတစ်ခုသာဖြစ်ပြီး၊ တိကျသောလုပ်ဆောင်ချက်ကို ပကတိအခြေအနေအရ ချိန်ညှိကာ အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။