၆ လက်မ SiC Epitaxiy wafer N/P အမျိုးအစားကို စိတ်ကြိုက်လက်ခံပါသည်
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial wafer ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် Chemical Vapor Deposition (CVD) နည်းပညာကို အသုံးပြုသည့် နည်းလမ်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အောက်ပါတို့သည် သက်ဆိုင်ရာ နည်းပညာဆိုင်ရာ အခြေခံမူများနှင့် ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ် အဆင့်များဖြစ်သည်-
နည်းပညာဆိုင်ရာ အခြေခံမူ:
ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း- ဓာတ်ငွေ့အဆင့်ရှိ ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြု၍ သတ်မှတ်ထားသော ဓာတ်ပြုမှုအခြေအနေများအောက်တွင်၊ ၎င်းကို ပြိုကွဲပြီး လိုချင်သော အလွှာပါးကို ဖွဲ့စည်းရန် အလွှာပေါ်တွင် စုပုံထားသည်။
ဓာတ်ငွေ့အဆင့်တုံ့ပြန်မှု- ပိုင်ရိုလစ်စစ် သို့မဟုတ် ကွဲအက်ခြင်းတုံ့ပြန်မှုမှတစ်ဆင့် ဓာတ်ငွေ့အဆင့်ရှိ ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့အမျိုးမျိုးကို ဓာတ်ပြုခန်းတွင် ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် ပြောင်းလဲစေသည်။
ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အဆင့်များ-
အောက်ခံအလွှာကုသမှု- epitaxial wafer ၏ အရည်အသွေးနှင့် ပုံဆောင်ခဲဖြစ်မှုကို သေချာစေရန် အောက်ခံအလွှာကို မျက်နှာပြင်သန့်ရှင်းရေးနှင့် ကြိုတင်ပြုပြင်မှုပြုလုပ်သည်။
တုံ့ပြန်မှုအခန်း အမှားရှာဖွေခြင်း- တုံ့ပြန်မှုအခြေအနေများ၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုကို သေချာစေရန် တုံ့ပြန်မှုအခန်း၏ အပူချိန်၊ ဖိအားနှင့် စီးဆင်းမှုနှုန်းနှင့် အခြား parameters များကို ချိန်ညှိပါ။
ကုန်ကြမ်းထောက်ပံ့မှု- လိုအပ်သောဓာတ်ငွေ့ကုန်ကြမ်းများကို ဓာတ်ပြုခန်းထဲသို့ ထောက်ပံ့ပေးပြီး လိုအပ်သလို ရောနှောပြီး စီးဆင်းမှုနှုန်းကို ထိန်းချုပ်ပေးသည်။
ဓာတ်ပြုမှုလုပ်ငန်းစဉ်- ဓာတ်ပြုခန်းကို အပူပေးခြင်းဖြင့် ဓာတ်ငွေ့ပါဝင်ပစ္စည်းများသည် အခန်းထဲတွင် ဓာတုဓာတ်ပြုမှုတစ်ခု ဖြစ်ပေါ်လာပြီး လိုချင်သော အနည်အနှစ်၊ ဆိုလိုသည်မှာ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖလင်ကို ထုတ်လုပ်သည်။
အအေးခံခြင်းနှင့် ချခြင်း- ဓာတ်ပြုမှုအဆုံးတွင်၊ ဓာတ်ပြုခန်းရှိ အနည်အနှစ်များကို အအေးခံပြီး အစိုင်အခဲဖြစ်စေရန် အပူချိန်ကို တဖြည်းဖြည်း လျှော့ချသည်။
Epitaxial wafer အပူပေးခြင်းနှင့် post-processing: သွင်းထားသော epitaxial wafer ကို ၎င်း၏ လျှပ်စစ်နှင့် optical ဂုဏ်သတ္တိများ တိုးတက်ကောင်းမွန်စေရန် အပူပေးခြင်းနှင့် post-processed ပြုလုပ်ပါသည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial wafer ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ သီးခြားအဆင့်များနှင့် အခြေအနေများသည် သီးခြားပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် လိုအပ်ချက်များပေါ် မူတည်၍ ကွဲပြားနိုင်သည်။ အထက်ဖော်ပြပါအချက်များသည် အထွေထွေလုပ်ငန်းစဉ်စီးဆင်းမှုနှင့် မူတစ်ခုသာဖြစ်ပြီး၊ သီးခြားလုပ်ဆောင်ချက်ကို တကယ့်အခြေအနေအရ ချိန်ညှိပြီး အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
အသေးစိတ်ပုံကြမ်း

