6 လက်မ SiC Epitaxiy wafer N/P အမျိုးအစား စိတ်ကြိုက်လက်ခံသည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial wafer ၏ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် Chemical Vapor Deposition (CVD) နည်းပညာကိုအသုံးပြုထားသောနည်းလမ်းဖြစ်သည်။ အောက်ပါတို့သည် သက်ဆိုင်ရာ နည်းပညာဆိုင်ရာ စည်းမျဉ်းများနှင့် ပြင်ဆင်မှု လုပ်ငန်းစဉ် အဆင့်များဖြစ်သည်-
နည်းပညာဆိုင်ရာ နိယာမ-
Chemical Vapor Deposition- ဓါတ်ငွေ့အဆင့်ရှိ ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြု၍ သီးခြားတုံ့ပြန်မှုအခြေအနေများအောက်တွင် ၎င်းကို ပြိုကွဲပျက်စီးစေပြီး လိုချင်သောပါးလွှာသောဖလင်အဖြစ် ဖန်တီးရန် အလွှာပေါ်တွင် ထားရှိပါသည်။
ဓာတ်ငွေ့အဆင့် တုံ့ပြန်မှု- pyrolysis သို့မဟုတ် ကွဲအက်တုံ့ပြန်မှုမှတစ်ဆင့်၊ ဓာတ်ငွေ့အဆင့်ရှိ ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့များသည် တုံ့ပြန်မှုခန်းအတွင်း ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် ပြောင်းလဲသွားပါသည်။
ပြင်ဆင်မှု လုပ်ငန်းစဉ် အဆင့်များ-
အလွှာကို ကုသခြင်း- epitaxial wafer ၏ အရည်အသွေးနှင့် ပုံဆောင်ခဲများကို သေချာစေရန်အတွက် အလွှာသည် မျက်နှာပြင် သန့်ရှင်းရေးနှင့် ကြိုတင် သန့်စင်မှု ပြုလုပ်ရပါမည်။
တုံ့ပြန်မှုအခန်း အမှားရှာပြင်ခြင်း- တုံ့ပြန်မှုအခန်း၏ အပူချိန်၊ ဖိအားနှင့် စီးဆင်းမှုနှုန်းနှင့် တုံ့ပြန်မှုအခြေအနေများ၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတို့ကို သေချာစေရန် တုံ့ပြန်မှုအခန်းနှင့် အခြားကန့်သတ်ဘောင်များကို ချိန်ညှိပါ။
ကုန်ကြမ်းထောက်ပံ့မှု- လိုအပ်သောဓာတ်ငွေ့ကုန်ကြမ်းများကို ဓာတ်ပြုခန်းထဲသို့ ပေးဆောင်ကာ လိုအပ်သလို ရောစပ်ကာ စီးဆင်းမှုနှုန်းကို ထိန်းချုပ်ခြင်း။
တုံ့ပြန်မှုလုပ်ငန်းစဉ်- ဓာတ်ပြုခန်းကို အပူပေးခြင်းဖြင့်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖလင် (ဥပမာ- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖလင်) ကို ထုတ်ယူရန်အတွက် အခန်းအတွင်းရှိ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တုံ့ပြန်မှုကို လက်ခံပါသည်။
အအေးခံခြင်းနှင့် ထုပ်ပိုးခြင်း- တုံ့ပြန်မှုအဆုံးတွင်၊ တုံ့ပြန်မှုခန်းရှိ အနည်အနှစ်များကို အေးမြစေပြီး ခိုင်မာစေရန် အပူချိန်ကို တဖြည်းဖြည်း လျှော့ချသည်။
Epitaxial wafer ကို လိမ်းပြီး ပြုပြင်ခြင်း- အပ်နှံထားသော epitaxial wafer သည် ၎င်း၏ လျှပ်စစ်နှင့် optical ဂုဏ်သတ္တိများ ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် ဖျက်သိမ်းပြီး နောက်ပိုင်းတွင် လုပ်ဆောင်သည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial wafer ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ တိကျသောအဆင့်များနှင့် အခြေအနေများသည် သီးခြားစက်ပစ္စည်းများနှင့် လိုအပ်ချက်များပေါ်မူတည်၍ ကွဲပြားနိုင်သည်။ အထက်ပါအချက်များသည် ယေဘုယျလုပ်ငန်းစဉ်စီးဆင်းမှုနှင့် နိယာမတစ်ခုသာဖြစ်ပြီး၊ တိကျသောလုပ်ဆောင်ချက်ကို ပကတိအခြေအနေအရ ချိန်ညှိကာ အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
အသေးစိတ် ပုံကြမ်း

