4H-Semi HPSI 2inch SiC အလွှာ wafer ထုတ်လုပ်မှု Dummy သုတေသနအဆင့်

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာကို အဓိကအားဖြင့် conductive နှင့် semi- insulating အမျိုးအစားအဖြစ် ပိုင်းခြားထားပြီး၊ conductive silicon carbide substrate မှ n-type substrate များကို epitaxial GaN-based LED နှင့် အခြားသော optoelectronic ကိရိယာများ၊ SiC-based ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများ စသည်တို့အတွက် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုပါသည်။ SiC စီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာကို insulating လုပ်ခြင်းသည် GaN ပါဝါမြင့်ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်းကိရိယာများ၏ epitaxial ထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက်အဓိကအားဖြင့်အသုံးပြုသည်။ ထို့အပြင်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုတစ်ပိုင်းလျှပ်ကာ HPSI နှင့် SI တစ်ပိုင်းလျှပ်ကာသည်ကွဲပြားခြားနားသည်၊ မြင့်မားသောအီလက်ထရွန်ရွေ့လျားနိုင်မှုနှင့်အတူ 3.5 * 1013 ~ 8 * 1015 / cm3 အကွာအဝေး၊ semi- insulation သည် ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသော ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး ခံနိုင်ရည်အား အလွန်မြင့်မားသည်၊ ယေဘုယျအားဖြင့် မိုက်ခရိုဝေ့ဖ် ကိရိယာအလွှာအတွက် အသုံးပြုသော၊ လျှပ်ကူးမှုမရှိပါ။

Semi- insulating Silicon Carbide အလွှာစာရွက် SiC wafer

SiC ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံသည် ၎င်း၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ၊ Si နှင့် GaAs တို့နှင့် ဆက်စပ်မှုကို ဆုံးဖြတ်သည်၊ SiC သည် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများအတွက်၊ တားမြစ်ထားသော band width သည် စက်ပစ္စည်းသည် ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုအောက်တွင် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် အလုပ်လုပ်ကြောင်းသေချာစေရန် Si ထက် 3 ဆနီးပါး ကြီးမားပါသည်။ breakdown field strength သည် မြင့်မားသည်၊ ကိရိယာ၏ဗို့အားစွမ်းရည်ကိုသေချာစေရန်၊ ကိရိယာဗို့အားတန်ဖိုးကိုမြှင့်တင်ရန် Si ထက် 1O အဆဖြစ်သည်။ saturation အီလက်ထရွန်နှုန်းသည် ကြီးမားပြီး၊ ကိရိယာ၏ ကြိမ်နှုန်းနှင့် ပါဝါသိပ်သည်းဆကို တိုးမြှင့်ရန်အတွက် Si ထက် 2 ဆ ရှိသည်။ Thermal conductivity မြင့်သည်၊ Si ထက်ပိုသည်၊ thermal conductivity မြင့်သည်၊ thermal conductivity မြင့်သည်၊ thermal conductivity မြင့်သည်၊ thermal conductivity မြင့်သည်၊ Si ထက် ပိုသည်၊ thermal conductivity မြင့်သည်၊ thermal conductivity မြင့်သည်။ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု၊ Si ထက် 3 ဆပို၍ ကိရိယာ၏ အပူပျံ့စေနိုင်စွမ်းကို တိုးစေပြီး ကိရိယာ၏ သေးငယ်သော အသွင်ပြောင်းမှုကို နားလည်စေသည်။