3inch High purity Semi-Insulating (HPSI)SiC wafer 350um Dummy grade Prime grade

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

၃လက်မ အချင်းနှင့် အထူ 350 µm ± 25 µm ရှိသော HPSI (High-Purity Silicon Carbide) SiC wafer ကို ခေတ်ပေါ် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ် အသုံးချပရိုဂရမ်များ အတွက် တီထွင်ဖန်တီးထားပါသည်။ SiC wafers များသည် ပါဝါတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် ဦးစားပေးရွေးချယ်မှုဖြစ်စေသည့် မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု၊ မြင့်မားသောဗို့အားခံနိုင်ရည်နှင့် စွမ်းအင်ဆုံးရှုံးမှုနည်းပါးခြင်းကဲ့သို့သော ထူးခြားသည့်ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများအတွက် ကျော်ကြားသည်။ ဤ wafer များသည် ပြင်းထန်သောအခြေအနေများကို ကိုင်တွယ်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး ကြိမ်နှုန်းမြင့်၊ ဗို့အားမြင့်၊ နှင့် အပူချိန်မြင့်သော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ပိုမိုကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး စွမ်းအင်ထိရောက်မှုနှင့် တာရှည်ခံမှုကို အာမခံပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ကုန်ပစ္စည်း တံဆိပ်များ

လျှောက်လွှာ

HPSI SiC wafers များသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အပလီကေးရှင်း အမျိုးမျိုးတွင် အသုံးပြုသည့် မျိုးဆက်သစ် ပါဝါစက်ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုနိုင်စေရန် အဓိက အရေးကြီးသည်-
ပါဝါကူးပြောင်းမှုစနစ်များ- SiC wafers များသည် လျှပ်စစ်ပတ်လမ်းများတွင် ထိရောက်သော ပါဝါကူးပြောင်းမှုအတွက် အရေးပါသော ပါဝါ MOSFETs၊ diodes နှင့် IGBTs ကဲ့သို့သော ပါဝါစက်ပစ္စည်းများအတွက် အဓိကပစ္စည်းအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများကို စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပါဝါထောက်ပံ့မှုများ၊ မော်တာဒရိုက်များနှင့် စက်မှုအင်ဗာတာများတွင် တွေ့ရှိရသည်။

လျှပ်စစ်ယာဉ်များ (EV များ)-လျှပ်စစ်မော်တော်ကားများအတွက် တိုးပွားလာသော ၀ယ်လိုအားသည် ပိုမိုထိရောက်သော ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုရန် လိုအပ်ပြီး SiC wafers များသည် ဤအသွင်ပြောင်းမှု၏ ရှေ့တန်းမှဖြစ်သည်။ EV ပါဝါရထားများတွင်၊ ဤ wafer များသည် မြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် မြန်ဆန်သော ကူးပြောင်းနိုင်မှုစွမ်းရည်များကို ပေးစွမ်းပြီး အားသွင်းချိန်ပိုမိုမြန်ဆန်ခြင်း၊ ပိုရှည်သောအကွာအဝေးနှင့် အလုံးစုံမော်တော်ယာဉ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်-နေရောင်ခြည်နှင့် လေစွမ်းအင်ကဲ့သို့သော ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်စနစ်များတွင် SiC wafers များကို ပိုမိုထိရောက်စွာ ဖမ်းယူနိုင်စေရန်နှင့် ဖြန့်ဖြူးပေးနိုင်သော အင်ဗာတာများနှင့် converters များတွင် အသုံးပြုပါသည်။ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် SiC ၏ သာလွန်သောပြိုကွဲဗို့အားတို့သည် ဤစနစ်များသည် အလွန်ဆိုးရွားသော ပတ်ဝန်းကျင်အခြေအနေအောက်တွင်ပင် စိတ်ချယုံကြည်စွာ လည်ပတ်နိုင်စေရန် သေချာစေသည်။

စက်မှု အလိုအလျောက်စနစ်နှင့် စက်ရုပ်များ-စက်မှု အလိုအလျောက်စနစ်နှင့် စက်ရုပ်များတွင် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများသည် လျင်မြန်စွာ ကူးပြောင်းနိုင်သော၊ ကြီးမားသော ပါဝါဝန်ထုပ်ဝန်ပိုးများကို ကိုင်တွယ်ရန်နှင့် မြင့်မားသောဖိစီးမှုအောက်တွင် လည်ပတ်နိုင်သည့် ကိရိယာများ လိုအပ်ပါသည်။ SiC-based semiconductors များသည် ကြမ်းတမ်းသောလည်ပတ်မှုပတ်ဝန်းကျင်များတွင်ပင် ပိုမိုမြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ကြံ့ခိုင်မှုကိုပေးဆောင်ခြင်းဖြင့် အဆိုပါလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။

ဆက်သွယ်ရေးစနစ်များ-မြင့်မားသောယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် ထိရောက်သောစွမ်းအင်ကူးပြောင်းမှုသည် အရေးကြီးသည့်နေရာတွင် ဆက်သွယ်ရေးအခြေခံအဆောက်အအုံတွင် SiC wafers များကို power supply နှင့် DC-DC converters များတွင်အသုံးပြုပါသည်။ SiC ကိရိယာများသည် စွမ်းအင်သုံးစွဲမှုကို လျှော့ချပြီး ဒေတာစင်တာများနှင့် ဆက်သွယ်ရေးကွန်ရက်များတွင် စနစ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည်။

ပါဝါမြင့်သော အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ခိုင်မာသောအခြေခံအုတ်မြစ်ကို ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့်၊ HPSI SiC wafer သည် စွမ်းအင်သက်သာသည့် စက်ပစ္စည်းများကို ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေကာ စက်မှုလုပ်ငန်းများကို ပိုမိုစိမ်းလန်းပြီး ရေရှည်တည်တံ့သော ဖြေရှင်းနည်းများဆီသို့ ကူးပြောင်းရာတွင် ကူညီပေးသည်။

သတ္တိ

operty	ထုတ်လုပ်မှုအဆင့်	သုတေသနအဆင့်	Dummy အဆင့်
လုံးပတ်	75.0 မီလီမီတာ ± 0.5 မီလီမီတာ	75.0 မီလီမီတာ ± 0.5 မီလီမီတာ	75.0 မီလီမီတာ ± 0.5 မီလီမီတာ
အထူ	350 µm ± 25 µm	350 µm ± 25 µm	350 µm ± 25 µm
Wafer Orientation	ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 0.5°	ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 2.0°	ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 2.0°
Wafers (MPD) ၏ 95% အတွက် Micropipe Density	≤ 1 စင်တီမီတာ⁻²	≤ 5 စင်တီမီတာ⁻²	≤ 15 cm⁻²
လျှပ်စစ်ခုခံနိုင်မှု	≥ 1E7 Ω·စင်တီမီတာ	≥ 1E6 Ω·စင်တီမီတာ	≥ 1E5 Ω·စင်တီမီတာ
Dopant	ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။	ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။	ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။
Primary Flat Orientation	{11-20} ± 5.0°	{11-20} ± 5.0°	{11-20} ± 5.0°
မူလတန်းအလျား	32.5 မီလီမီတာ ± 3.0 မီလီမီတာ	32.5 မီလီမီတာ ± 3.0 မီလီမီတာ	32.5 မီလီမီတာ ± 3.0 မီလီမီတာ
Secondary Flat Length	18.0 မီလီမီတာ ± 2.0 မီလီမီတာ	18.0 မီလီမီတာ ± 2.0 မီလီမီတာ	18.0 မီလီမီတာ ± 2.0 မီလီမီတာ
Secondary Flat Orientation	Si သည် မျက်နှာမူခြင်း- မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0°	Si သည် မျက်နှာမူခြင်း- မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0°	Si သည် မျက်နှာမူခြင်း- မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0°
အနားသတ် ချန်လှပ်ခြင်း။	3 မီလီမီတာ	3 မီလီမီတာ	3 မီလီမီတာ
LTV/TTV/Bow/Warp	3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm	3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm	5 µm / 15 µm / ± 40 µm / 45 µm
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်း။	C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်၊ Si-face- CMP	C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်၊ Si-face- CMP	C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်၊ Si-face- CMP
အက်ကြောင်းများ (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်)	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ
Hex Plates (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့်စစ်ဆေးသည်)	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ	စုစည်းဧရိယာ 10%
Polytype ဧရိယာများ (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်)	စုစည်းဧရိယာ 5%	စုစည်းဧရိယာ 5%	စုစည်းဧရိယာ 10%
ခြစ်ရာများ (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်)	≤ 5 ခြစ်ရာ၊ တိုးပွားလာသော အရှည် ≤ 150 မီလီမီတာ	≤ 10 ခြစ်ရာ၊ တိုးပွားလာသော အရှည် ≤ 200 မီလီမီတာ	≤ 10 ခြစ်ရာ၊ တိုးပွားလာသော အရှည် ≤ 200 မီလီမီတာ
အစွန်းအထင်း	အကျယ်နှင့် အတိမ်အနက် ≥ 0.5 မီလီမီတာကို ခွင့်မပြုပါ။	2 ခွင့်ပြုသည်၊ ≤ 1 မီလီမီတာ အကျယ်နှင့် အတိမ်အနက်	5 ခွင့်ပြုသည်၊ ≤ 5 မီလီမီတာ အကျယ်နှင့် အတိမ်အနက်
Surface Contamination (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်)	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ	တစ်ခုမှ

အဓိက အားသာချက်များ

သာလွန်သောအပူပေးစွမ်းဆောင်မှု- SiC ၏ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုသည် ပါဝါစက်ပစ္စည်းများတွင် ထိရောက်သောအပူကို သက်သာစေပြီး ၎င်းတို့အား မြင့်မားသောပါဝါအဆင့်နှင့် ကြိမ်နှုန်းများတွင် အပူလွန်ကဲခြင်းမရှိဘဲ လည်ပတ်နိုင်စေပါသည်။ ၎င်းသည် ပိုမိုသေးငယ်သော၊ ပိုမိုထိရောက်သောစနစ်များနှင့် ပိုမိုကြာရှည်သော လုပ်ငန်းဆောင်ရွက်မှုသက်တမ်းကို ဘာသာပြန်ဆိုသည်။

High Breakdown Voltage- ဆီလီကွန်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော bandgap ဖြင့် SiC wafers များသည် ဗို့အားမြင့် application များကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် လျှပ်စစ်ကားများ၊ grid ဓာတ်အားစနစ်များနှင့် ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်စနစ်များကဲ့သို့ မြင့်မားသောပြိုကွဲဗို့အားများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် စံပြဖြစ်စေပါသည်။

ပါဝါဆုံးရှုံးမှုကို လျှော့ချခြင်း- SiC စက်များ၏ ခုခံမှုနည်းပြီး မြန်ဆန်သော ကူးပြောင်းမှုအမြန်နှုန်းများသည် လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း စွမ်းအင်ဆုံးရှုံးမှုကို လျော့နည်းစေသည်။ ၎င်းသည် ထိရောက်မှုကို မြှင့်တင်ပေးရုံသာမက ၎င်းတို့အသုံးပြုသည့် စနစ်များ၏ အလုံးစုံ စွမ်းအင်ချွေတာမှုကိုလည်း မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ပိုမိုကောင်းမွန်သော ယုံကြည်စိတ်ချရမှု- SiC ၏ ခိုင်မာသောပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများသည် မြင့်မားသောအပူချိန် (600°C အထိ)၊ မြင့်မားသောဗို့အားများနှင့် ကြိမ်နှုန်းများကဲ့သို့သော ပြင်းထန်သောအခြေအနေများတွင် လုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။ ယင်းကြောင့် SiC wafers များသည် စက်မှု၊ မော်တော်ကားနှင့် စွမ်းအင်ဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။

စွမ်းအင်ထိရောက်မှု- SiC ကိရိယာများသည် သမားရိုးကျ ဆီလီကွန်အခြေခံ ကိရိယာများထက် ပါဝါသိပ်သည်းဆ ပိုမိုမြင့်မားပြီး ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်စနစ်များ၏ အရွယ်အစားနှင့် အလေးချိန်ကို လျှော့ချပေးကာ ၎င်းတို့၏ အလုံးစုံစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ၎င်းသည် ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်နှင့် လျှပ်စစ်ကားများကဲ့သို့သော အသုံးချမှုများတွင် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာစေပြီး ပတ်ဝန်းကျင်ခြေရာကို သေးငယ်စေသည်။

ချဲ့ထွင်နိုင်မှု- HPSI SiC wafer ၏ 3-လက်မ အချင်းနှင့် တိကျသော ကုန်ထုတ်လုပ်မှု ခံနိုင်ရည်များသည် ၎င်းသည် အစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုအတွက် အတိုင်းအတာအထိ ချဲ့ထွင်နိုင်ပြီး သုတေသနနှင့် စီးပွားဖြစ်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေသည်။

နိဂုံး

၎င်း၏ 3 လက်မအချင်းနှင့် 350 µm ± 25 µm အထူရှိသော HPSI SiC wafer သည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ်စက်ပစ္စည်းများ၏ မျိုးဆက်သစ်များအတွက် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောပေါင်းစပ်အပူစီးကူးမှု၊ မြင့်မားသောပြိုကွဲဗို့အား၊ စွမ်းအင်နိမ့်ကျမှုနှင့် လွန်ကဲသောအခြေအနေများအောက်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့က ၎င်းအား ဓာတ်အားပြောင်းလဲခြင်း၊ ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်၊ လျှပ်စစ်ကားများ၊ စက်မှုလုပ်ငန်းစနစ်များနှင့် တယ်လီဖုန်းဆက်သွယ်ရေးများတွင် အမျိုးမျိုးသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။

ဤ SiC wafer သည် ပိုမိုမြင့်မားသောထိရောက်မှု၊ စွမ်းအင်ပိုမိုချွေတာမှုနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်သောစနစ်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုရရှိရန် ကြိုးပမ်းသည့်လုပ်ငန်းများအတွက် အထူးသင့်လျော်ပါသည်။ ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်နည်းပညာများ ဆက်လက်တိုးတက်ပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ HPSI SiC wafer သည် မျိုးဆက်သစ်၊ စွမ်းအင်သက်သာသည့်ဖြေရှင်းချက်များအား ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေရန်အတွက် အခြေခံအုတ်မြစ်ကို ပံ့ပိုးပေးကာ ပိုမိုရေရှည်တည်တံ့ကာ ကာဗွန်နည်းသောအနာဂတ်အသွင်ကူးပြောင်းမှုကို မောင်းနှင်ပေးပါသည်။