3inch High purity Semi-Insulating (HPSI)SiC wafer 350um Dummy grade Prime grade
လျှောက်လွှာ
HPSI SiC wafers များသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အပလီကေးရှင်း အမျိုးမျိုးတွင် အသုံးပြုသည့် မျိုးဆက်သစ် ပါဝါစက်ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုနိုင်စေရန် အဓိက အရေးကြီးသည်-
ပါဝါကူးပြောင်းမှုစနစ်များ- SiC wafers များသည် လျှပ်စစ်ပတ်လမ်းများတွင် ထိရောက်သော ပါဝါကူးပြောင်းမှုအတွက် အရေးပါသော ပါဝါ MOSFETs၊ diodes နှင့် IGBTs ကဲ့သို့သော ပါဝါစက်ပစ္စည်းများအတွက် အဓိကပစ္စည်းအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများကို စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပါဝါထောက်ပံ့မှုများ၊ မော်တာဒရိုက်များနှင့် စက်မှုအင်ဗာတာများတွင် တွေ့ရှိရသည်။
လျှပ်စစ်ယာဉ်များ (EV များ)-လျှပ်စစ်မော်တော်ကားများအတွက် တိုးပွားလာသော ၀ယ်လိုအားသည် ပိုမိုထိရောက်သော ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုရန် လိုအပ်ပြီး SiC wafers များသည် ဤအသွင်ပြောင်းမှု၏ ရှေ့တန်းမှဖြစ်သည်။ EV ပါဝါရထားများတွင်၊ ဤ wafer များသည် မြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် မြန်ဆန်သော ကူးပြောင်းနိုင်မှုစွမ်းရည်များကို ပေးစွမ်းပြီး အားသွင်းချိန်ပိုမိုမြန်ဆန်ခြင်း၊ ပိုရှည်သောအကွာအဝေးနှင့် အလုံးစုံမော်တော်ယာဉ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်-နေရောင်ခြည်နှင့် လေစွမ်းအင်ကဲ့သို့သော ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်စနစ်များတွင် SiC wafers များကို ပိုမိုထိရောက်စွာ ဖမ်းယူနိုင်စေရန်နှင့် ဖြန့်ဖြူးပေးနိုင်သော အင်ဗာတာများနှင့် converters များတွင် အသုံးပြုပါသည်။ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် SiC ၏ သာလွန်သောပြိုကွဲဗို့အားတို့သည် ဤစနစ်များသည် အလွန်ဆိုးရွားသော ပတ်ဝန်းကျင်အခြေအနေအောက်တွင်ပင် စိတ်ချယုံကြည်စွာ လည်ပတ်နိုင်စေရန် သေချာစေသည်။
စက်မှု အလိုအလျောက်စနစ်နှင့် စက်ရုပ်များ-စက်မှု အလိုအလျောက်စနစ်နှင့် စက်ရုပ်များတွင် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများသည် လျင်မြန်စွာ ကူးပြောင်းနိုင်သော၊ ကြီးမားသော ပါဝါဝန်ထုပ်ဝန်ပိုးများကို ကိုင်တွယ်ရန်နှင့် မြင့်မားသောဖိစီးမှုအောက်တွင် လည်ပတ်နိုင်သည့် ကိရိယာများ လိုအပ်ပါသည်။ SiC-based semiconductors များသည် ကြမ်းတမ်းသောလည်ပတ်မှုပတ်ဝန်းကျင်များတွင်ပင် ပိုမိုမြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ကြံ့ခိုင်မှုကိုပေးဆောင်ခြင်းဖြင့် အဆိုပါလိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီပါသည်။
ဆက်သွယ်ရေးစနစ်များ-မြင့်မားသောယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် ထိရောက်သောစွမ်းအင်ကူးပြောင်းမှုသည် အရေးကြီးသည့်နေရာတွင် ဆက်သွယ်ရေးအခြေခံအဆောက်အအုံတွင် SiC wafers များကို power supply နှင့် DC-DC converters များတွင်အသုံးပြုပါသည်။ SiC ကိရိယာများသည် စွမ်းအင်သုံးစွဲမှုကို လျှော့ချပြီး ဒေတာစင်တာများနှင့် ဆက်သွယ်ရေးကွန်ရက်များတွင် စနစ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည်။
ပါဝါမြင့်သော အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ခိုင်မာသောအခြေခံအုတ်မြစ်ကို ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့်၊ HPSI SiC wafer သည် စွမ်းအင်သက်သာသည့် စက်ပစ္စည်းများကို ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေကာ စက်မှုလုပ်ငန်းများကို ပိုမိုစိမ်းလန်းပြီး ရေရှည်တည်တံ့သော ဖြေရှင်းနည်းများဆီသို့ ကူးပြောင်းရာတွင် ကူညီပေးသည်။
သတ္တိ
operty | ထုတ်လုပ်မှုအဆင့် | သုတေသနအဆင့် | Dummy အဆင့် |
လုံးပတ် | 75.0 မီလီမီတာ ± 0.5 မီလီမီတာ | 75.0 မီလီမီတာ ± 0.5 မီလီမီတာ | 75.0 မီလီမီတာ ± 0.5 မီလီမီတာ |
အထူ | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm |
Wafer Orientation | ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 0.5° | ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 2.0° | ဝင်ရိုးပေါ်- <0001> ± 2.0° |
Wafers (MPD) ၏ 95% အတွက် Micropipe Density | ≤ 1 စင်တီမီတာ⁻² | ≤ 5 စင်တီမီတာ⁻² | ≤ 15 cm⁻² |
လျှပ်စစ်ခုခံနိုင်မှု | ≥ 1E7 Ω·စင်တီမီတာ | ≥ 1E6 Ω·စင်တီမီတာ | ≥ 1E5 Ω·စင်တီမီတာ |
Dopant | ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။ | ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။ | ဖြုတ်ပစ်လိုက်သည်။ |
Primary Flat Orientation | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° |
မူလတန်းအလျား | 32.5 မီလီမီတာ ± 3.0 မီလီမီတာ | 32.5 မီလီမီတာ ± 3.0 မီလီမီတာ | 32.5 မီလီမီတာ ± 3.0 မီလီမီတာ |
Secondary Flat Length | 18.0 မီလီမီတာ ± 2.0 မီလီမီတာ | 18.0 မီလီမီတာ ± 2.0 မီလီမီတာ | 18.0 မီလီမီတာ ± 2.0 မီလီမီတာ |
Secondary Flat Orientation | Si သည် မျက်နှာမူခြင်း- မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0° | Si သည် မျက်နှာမူခြင်း- မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0° | Si သည် မျက်နှာမူခြင်း- မူလအပြားမှ 90° CW ± 5.0° |
အနားသတ် ဖယ်ထုတ်ခြင်း | 3 မီလီမီတာ | 3 မီလီမီတာ | 3 မီလီမီတာ |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 5 µm / 15 µm / ± 40 µm / 45 µm |
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်း။ | C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်၊ Si-face- CMP | C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်၊ Si-face- CMP | C-မျက်နှာ- ပွတ်သည်၊ Si-face- CMP |
အက်ကြောင်းများ (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်) | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ |
Hex Plates (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့်စစ်ဆေးသည်) | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ | စုစည်းဧရိယာ 10% |
Polytype ဧရိယာများ (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်) | စုစည်းဧရိယာ 5% | စုစည်းဧရိယာ 5% | စုစည်းဧရိယာ 10% |
ခြစ်ရာများ (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်) | ≤ 5 ခြစ်ရာ၊ တိုးပွားလာသော အရှည် ≤ 150 မီလီမီတာ | ≤ 10 ခြစ်ရာ၊ တိုးပွားလာသော အရှည် ≤ 200 မီလီမီတာ | ≤ 10 ခြစ်ရာ၊ တိုးပွားလာသော အရှည် ≤ 200 မီလီမီတာ |
အစွန်းအထင်း | အကျယ်နှင့် အတိမ်အနက် ≥ 0.5 မီလီမီတာကို ခွင့်မပြုပါ။ | 2 ခွင့်ပြုသည်၊ ≤ 1 မီလီမီတာ အကျယ်နှင့် အတိမ်အနက် | 5 ခွင့်ပြုသည်၊ ≤ 5 မီလီမီတာ အကျယ်နှင့် အတိမ်အနက် |
Surface Contamination (ပြင်းထန်သောအလင်းရောင်ဖြင့် စစ်ဆေးသည်) | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ | တစ်ခုမှ |
အဓိက အားသာချက်များ
သာလွန်သောအပူပေးစွမ်းဆောင်မှု- SiC ၏ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုသည် ပါဝါစက်ပစ္စည်းများတွင် ထိရောက်သောအပူကို သက်သာစေပြီး ၎င်းတို့အား မြင့်မားသောပါဝါအဆင့်နှင့် ကြိမ်နှုန်းများတွင် အပူလွန်ကဲခြင်းမရှိဘဲ လည်ပတ်နိုင်စေပါသည်။ ၎င်းသည် ပိုမိုသေးငယ်သော၊ ပိုမိုထိရောက်သောစနစ်များနှင့် ပိုမိုကြာရှည်သော လုပ်ငန်းဆောင်ရွက်မှုသက်တမ်းကို ဘာသာပြန်ဆိုသည်။
High Breakdown Voltage- ဆီလီကွန်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော bandgap ဖြင့် SiC wafers များသည် ဗို့အားမြင့် application များကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် လျှပ်စစ်ကားများ၊ grid ဓာတ်အားစနစ်များနှင့် ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်စနစ်များကဲ့သို့ မြင့်မားသောပြိုကွဲဗို့အားများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် စံပြဖြစ်စေပါသည်။
ပါဝါဆုံးရှုံးမှုကို လျှော့ချခြင်း- SiC စက်များ၏ ခုခံမှုနည်းပြီး မြန်ဆန်သော ကူးပြောင်းမှုအမြန်နှုန်းများသည် လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း စွမ်းအင်ဆုံးရှုံးမှုကို လျော့နည်းစေသည်။ ၎င်းသည် ထိရောက်မှုကို မြှင့်တင်ပေးရုံသာမက ၎င်းတို့အသုံးပြုသည့် စနစ်များ၏ အလုံးစုံ စွမ်းအင်ချွေတာမှုကိုလည်း မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ပိုမိုကောင်းမွန်သော ယုံကြည်စိတ်ချရမှု- SiC ၏ ခိုင်မာသောပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများသည် မြင့်မားသောအပူချိန် (600°C အထိ)၊ မြင့်မားသောဗို့အားများနှင့် ကြိမ်နှုန်းများကဲ့သို့သော ပြင်းထန်သောအခြေအနေများတွင် လုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။ ယင်းကြောင့် SiC wafers များသည် စက်မှုလုပ်ငန်း၊ မော်တော်ကားနှင့် စွမ်းအင်ဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
စွမ်းအင်ထိရောက်မှု- SiC ကိရိယာများသည် သမားရိုးကျ ဆီလီကွန်အခြေခံ ကိရိယာများထက် ပါဝါသိပ်သည်းဆ ပိုမိုမြင့်မားပြီး ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်စနစ်များ၏ အရွယ်အစားနှင့် အလေးချိန်ကို လျှော့ချပေးကာ ၎င်းတို့၏ အလုံးစုံစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ၎င်းသည် ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်နှင့် လျှပ်စစ်ကားများကဲ့သို့သော အသုံးချမှုများတွင် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာစေပြီး ပတ်ဝန်းကျင်ခြေရာကို သေးငယ်စေသည်။
ချဲ့ထွင်နိုင်မှု- HPSI SiC wafer ၏ 3-လက်မ အချင်းနှင့် တိကျသော ကုန်ထုတ်လုပ်မှု ခံနိုင်ရည်များသည် ၎င်းသည် အစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုအတွက် အတိုင်းအတာအထိ ချဲ့ထွင်နိုင်ပြီး သုတေသနနှင့် စီးပွားဖြစ်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေသည်။
နိဂုံး
၎င်း၏ 3 လက်မအချင်းနှင့် 350 µm ± 25 µm အထူရှိသော HPSI SiC wafer သည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ်စက်ပစ္စည်းများ၏ မျိုးဆက်သစ်များအတွက် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောပေါင်းစပ်အပူစီးကူးမှု၊ မြင့်မားသောပြိုကွဲဗို့အား၊ စွမ်းအင်နိမ့်ကျမှုနှင့် လွန်ကဲသောအခြေအနေများအောက်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့က ၎င်းအား ဓာတ်အားပြောင်းလဲခြင်း၊ ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်၊ လျှပ်စစ်ကားများ၊ စက်မှုလုပ်ငန်းစနစ်များနှင့် တယ်လီဖုန်းဆက်သွယ်ရေးများတွင် အမျိုးမျိုးသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
ဤ SiC wafer သည် ပိုမိုမြင့်မားသောထိရောက်မှု၊ စွမ်းအင်ပိုမိုချွေတာမှုနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်သောစနစ်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုရရှိရန် ကြိုးပမ်းသည့်လုပ်ငန်းများအတွက် အထူးသင့်လျော်ပါသည်။ ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်နည်းပညာများ ဆက်လက်တိုးတက်ပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ HPSI SiC wafer သည် မျိုးဆက်သစ်၊ စွမ်းအင်သက်သာသည့်ဖြေရှင်းချက်များအား ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေရန်အတွက် အခြေခံအုတ်မြစ်ကို ပံ့ပိုးပေးကာ ပိုမိုရေရှည်တည်တံ့ကာ ကာဗွန်နည်းသောအနာဂတ်အသွင်ကူးပြောင်းမှုကို မောင်းနှင်ပေးပါသည်။