LED မီးအလင်းရောင်အတွက် GaN ပစ္စည်းကို စိုက်ပျိုးထားသည့် 2 လက်မ 4 လက်မ 6 လက်မ Patterned Sapphire Substrate (PSS)

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

Patterned sapphire substrate (PSS) သည် နီလာအလွှာပေါ်တွင် ခြောက်သွေ့သော ထွင်းထုခြင်းအတွက် မျက်နှာဖုံးတစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ မျက်နှာဖုံးအား Standard lithography လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ပုံစံတစ်ခုဖြင့် ထွင်းထုထားပြီး၊ ထို့နောက် နီလာကို ICP etching နည်းပညာဖြင့် ထွင်းထုကာ မျက်နှာဖုံးကို ဖယ်ရှားပြီး နောက်ဆုံးတွင် GaN ပစ္စည်းကို ကြီးထွားစေပါသည်။ သို့မှသာ longitudinal epista material ၏ GaN အစိတ်အပိုင်းဖြစ်လာစေရန်၊ ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင် photoresist coating၊ step exposure၊ exposure pattern ဖွံ့ဖြိုးလာမှု၊ ICP dry etching နှင့် cleaning ကဲ့သို့သော အဆင့်များစွာ ပါဝင်ပါသည်။


ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ကုန်ပစ္စည်း တံဆိပ်များ

အဓိကအင်္ဂါရပ်များ

1. ဖွဲ့စည်းပုံသွင်ပြင်လက္ခဏာများ-
PSS မျက်နှာပြင်တွင် ပုံသဏ္ဍာန်၊ အရွယ်အစားနှင့် ဖြန့်ကျက်မှုဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်ဘောင်များကို ချိန်ညှိခြင်းဖြင့် ထိန်းချုပ်နိုင်သော တြိဂံပုံ သို့မဟုတ် တြိဂံပုံသဏ္ဍာန်ပုံသဏ္ဍာန်ရှိသည်။
ဤဂရပ်ဖစ်ဖွဲ့စည်းပုံများသည် အလင်း၏ပြန့်ပွားမှုလမ်းကြောင်းကို ပြောင်းလဲရန်နှင့် အလင်း၏စုစုပေါင်းရောင်ပြန်ဟပ်မှုကို လျှော့ချရန် ကူညီပေးသောကြောင့် အလင်းထုတ်ယူခြင်း၏ထိရောက်မှုကို တိုးတက်စေသည်။

2. ပစ္စည်းလက္ခဏာများ-
PSS သည် မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ အပူစီးကူးမှု၊ ကောင်းမွန်သော ဓာတုဗေဒ တည်ငြိမ်မှုနှင့် အလင်းမြင်သာမှုတို့ ပါ၀င်သည့် အရည်အသွေးမြင့် နီလာကို အသုံးပြုထားသည်။
ဤဝိသေသလက္ခဏာများသည် PSS သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော optical စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ဖိအားများကဲ့သို့သော ပြင်းထန်သောပတ်ဝန်းကျင်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။

3. Optical စွမ်းဆောင်ရည်-
GaN နှင့် sapphire အလွှာကြားရှိ များပြားလှသော ပြန့်ကျဲမှုကို ပြောင်းလဲခြင်းဖြင့် PSS သည် GaN အလွှာအတွင်း လုံးဝထင်ဟပ်နေသည့် ဖိုတွန်များကို နီလာအလွှာမှ လွတ်မြောက်ရန် အခွင့်အလမ်းကို ဖြစ်စေသည်။
ဤအင်္ဂါရပ်သည် LED ၏အလင်းထုတ်ယူမှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို သိသာထင်ရှားစွာတိုးတက်စေပြီး LED ၏တောက်ပသောပြင်းထန်မှုကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။

4. လုပ်ငန်းစဉ်လက္ခဏာများ-
PSS ၏ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် အတော်လေးရှုပ်ထွေးပြီး ပုံသဏ္ဍာန်နှင့် ထွင်းထုခြင်းကဲ့သို့သော အဆင့်များစွာပါဝင်ပြီး တိကျသောစက်ပစ္စည်းများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှု လိုအပ်ပါသည်။
သို့သော်လည်း နည်းပညာများ စဉ်ဆက်မပြတ် တိုးတက်လာခြင်းနှင့် ကုန်ကျစရိတ်များ လျှော့ချခြင်းနှင့်အတူ PSS ၏ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်သည် တဖြည်းဖြည်း ပိုမိုကောင်းမွန်လာပြီး တိုးတက်လာသည်။

အဓိကအားသာချက်

1.အလင်းထုတ်ယူမှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်- PSS သည် အလင်းပြန့်ပွားမှုလမ်းကြောင်းကိုပြောင်းလဲပြီး စုစုပေါင်းရောင်ပြန်ဟပ်မှုကို လျှော့ချခြင်းဖြင့် LED ၏အလင်းထုတ်ယူမှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို သိသိသာသာတိုးတက်စေသည်။

2. LED သက်တမ်းရှည်သည်- PSS သည် GaN epitaxial ပစ္စည်းများ၏ dislocation သိပ်သည်းဆကို လျှော့ချနိုင်ပြီး တက်ကြွသောဒေသရှိ ဓာတ်မတည့်မှုမဟုတ်သော ပြန်လည်ပေါင်းစပ်မှုနှင့် ပြောင်းပြန်ယိုစိမ့်မှုတို့ကို လျှော့ချနိုင်ပြီး LED ၏ သက်တမ်းကို တိုးစေသည်။

3. LED တောက်ပမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်- အလင်းထုတ်ယူမှု ထိရောက်မှုနှင့် LED သက်တမ်း တိုးလာခြင်းကြောင့် PSS ရှိ LED တောက်ပမှု ပြင်းထန်မှုကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

4. ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချခြင်း- PSS ၏ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်သည် ရှုပ်ထွေးသော်လည်း၊ ၎င်းသည် LED ၏ တောက်ပသော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သက်တမ်းကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးနိုင်ပြီး ထုတ်လုပ်မှု ကုန်ကျစရိတ်များကို အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ လျှော့ချကာ ထုတ်ကုန်၏ ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းကို တိုးတက်စေသည်။

အဓိက အသုံးချနယ်မြေများ

1. LED အလင်းရောင်- PSS သည် LED ချစ်ပ်များအတွက် အလွှာတစ်ခုအနေဖြင့်၊ LED ၏ တောက်ပသော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးတက်စေနိုင်သည်။
LED မီးထွန်းခြင်းနယ်ပယ်တွင်၊ PSS ကို လမ်းမီးများ၊ စားပွဲတင်မီးအိမ်များ၊ ကားမီးလုံးစသည်ဖြင့် အမျိုးမျိုးသောအလင်းရောင်ထုတ်ကုန်များတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။

2.Semiconductor ကိရိယာများ- LED အလင်းရောင်အပြင်၊ PSS သည် အလင်းရှာဖွေကိရိယာများ၊ လေဆာများ စသည်တို့ကဲ့သို့သော အခြားတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများကို ထုတ်လုပ်ရန်အတွက်လည်း အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။ ဤစက်ပစ္စည်းများတွင် ဆက်သွယ်ရေး၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာ၊ စစ်ရေးနှင့် အခြားနယ်ပယ်များတွင် အသုံးချပရိုဂရမ်များစွာရှိသည်။

3.Optoelectronic ပေါင်းစပ်မှု- PSS ၏ optical ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် တည်ငြိမ်မှုသည် ၎င်းအား optoelectronic ပေါင်းစပ်မှုနယ်ပယ်တွင် စံပြပစ္စည်းများထဲမှတစ်ခုဖြစ်စေသည်။ optoelectronic ပေါင်းစပ်မှုတွင်၊ PSS ကို optical waveguides၊ optical switches များနှင့် အခြားသော အစိတ်အပိုင်းများကို optical signals များ၏ ထုတ်လွှင့်မှုနှင့် လုပ်ဆောင်မှုကို သိရှိနားလည်စေရန်အတွက် PSS ကို အသုံးပြုနိုင်သည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ

ကုသိုလ်ကံ Patterned Sapphire Substrate (2~6လက်မ)
လုံးပတ် 50.8 ± 0.1 မီလီမီတာ 100.0 ± 0.2 မီလီမီတာ 150.0 ± 0.3 မီလီမီတာ
အထူ 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Surface Orientation C-လေယာဉ် (0001) မှ M-ဝင်ရိုးဆီသို့ (10-10) 0.2 ± 0.1°
C-လေယာဉ် (0001) မှ A-ဝင်ရိုးဆီသို့ (11-20) 0 ± 0.1°
Primary Flat Orientation A-Plane (11-20) ± 1.0°
မူလတန်းအလျား 16.0 ± 1.0 မီလီမီတာ 30.0 ± 1.0 မီလီမီတာ 47.5 ± 2.0 မီလီမီတာ
R-Plane ၉ နာရီ
အရှေ့မျက်နှာပြင် ပြီးမြောက်ခြင်း။ ပုံဖော်ထားသည်။
Back Surface Finish SSP: မြေကောင်း၊Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished၊Ra<0.3nm
လေဆာမှတ်ပါ။ ကျောဘက်
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
ညွှတ် ≤10μm ≤15μm ≤25μm
WARP ≤12μm ≤20μm ≤30μm
အနားသတ် ချန်လှပ်ခြင်း။ ≤2 မီလီမီတာ
Pattern Specification ပုံသဏ္ဍာန်ဖွဲ့စည်းပုံ Dome၊ Cone၊ Pyramid
Pattern အမြင့် 1.6~1.8μm
Pattern Diameter 2.75~2.85μm
Pattern Space 0.1~0.3μm

XKH သည် ပုံစံဆင်ထားသော နီလာအလွှာ (PSS) ၏ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု၊ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ရောင်းချမှုအပေါ် အာရုံစိုက်ပြီး အရည်အသွေးမြင့် PSS ထုတ်ကုန်များကို ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ သုံးစွဲသူများအား ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်။ XKH တွင် အဆင့်မြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုနည်းပညာနှင့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်နည်းပညာအဖွဲ့ ရှိပြီး သုံးစွဲသူများ၏ လိုအပ်ချက်အရ ကွဲပြားခြားနားသော သတ်မှတ်ချက်များနှင့် မတူညီသော ပုံစံဖွဲ့စည်းပုံများဖြင့် PSS ထုတ်ကုန်များကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင် XKH သည် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးနှင့် ဝန်ဆောင်မှုအရည်အသွေးကို အာရုံစိုက်ပြီး သုံးစွဲသူများအား နည်းပညာပိုင်းဆိုင်ရာ ပံ့ပိုးကူညီမှုနှင့် ဖြေရှင်းချက်များစွာကို ပေးဆောင်ရန် ကတိပြုပါသည်။ PSS နယ်ပယ်တွင် XKH သည် ကြွယ်ဝသောအတွေ့အကြုံနှင့် အားသာချက်များကို စုဆောင်းထားပြီး LED မီးချောင်းများ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် အခြားစက်မှုလုပ်ငန်းများ၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုဆိုင်ရာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာမိတ်ဖက်များနှင့် ပူးပေါင်းလုပ်ဆောင်ရန် မျှော်လင့်ထားသည်။

အသေးစိတ် ပုံကြမ်း

Patterned Sapphire Substrate (PSS) ၆
Patterned Sapphire Substrate (PSS) ၅
Patterned Sapphire Substrate (PSS) ၄

  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု:

  • သင့်စာကို ဤနေရာတွင် ရေးပြီး ကျွန်ုပ်တို့ထံ ပေးပို့ပါ။