GaN ပစ္စည်းကို စိုက်ပျိုးသည့် ၂ လက်မ ၄ လက်မ ၆ လက်မ ပုံစံရှိသော နီလာအလွှာ (PSS) သည် LED မီးအတွက် အသုံးပြုနိုင်သည်။

အကျဉ်းချုပ်ဖော်ပြချက်:

ပုံစံရှိသော နီလာအလွှာ (PSS) သည် နီလာအလွှာပေါ်တွင် ခြောက်သွေ့စွာ ထွင်းထုရန်အတွက် မျက်နှာဖုံးတစ်ခုဖြစ်ပြီး မျက်နှာဖုံးကို စံလစ်သိုဂရပ်ဖီလုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ပုံစံထွင်းထုပြီးနောက် နီလာကို ICP ထွင်းထုနည်းပညာဖြင့် ထွင်းထုကာ မျက်နှာဖုံးကို ဖယ်ရှားပြီး နောက်ဆုံးတွင် GaN ပစ္စည်းကို ၎င်းပေါ်တွင် စိုက်ပျိုးသောကြောင့် GaN ပစ္စည်း၏ longitudinal epitaxy သည် horizontal epitaxy ဖြစ်လာသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင် photoresist coating၊ step exposure၊ exposure pattern ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေခြင်း၊ ICP ခြောက်သွေ့စွာ ထွင်းထုခြင်းနှင့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းကဲ့သို့သော အဆင့်များစွာ ပါဝင်သည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ

အင်္ဂါရပ်များ

အဓိကအင်္ဂါရပ်များ

၁။ ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ဝိသေသလက္ခဏာများ-
PSS မျက်နှာပြင်တွင် စနစ်တကျဖွဲ့စည်းထားသော ကွန် သို့မဟုတ် တြိဂံပုံသဏ္ဍာန်ရှိပြီး ၎င်း၏ပုံသဏ္ဍာန်၊ အရွယ်အစားနှင့် ဖြန့်ဖြူးမှုကို etching လုပ်ငန်းစဉ် parameters များကို ချိန်ညှိခြင်းဖြင့် ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။
ဤဂရပ်ဖစ်ဖွဲ့စည်းပုံများသည် အလင်း၏ပျံ့နှံ့မှုလမ်းကြောင်းကို ပြောင်းလဲရန်နှင့် အလင်း၏ စုစုပေါင်းရောင်ပြန်ဟပ်မှုကို လျှော့ချရန် ကူညီပေးသောကြောင့် အလင်းထုတ်ယူမှု၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုးတက်စေသည်။

၂။ ပစ္စည်းဝိသေသလက္ခဏာများ-
PSS သည် အရည်အသွေးမြင့် နီလာကို အောက်ခံပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုထားပြီး မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ အပူစီးကူးမှုမြင့်မားခြင်း၊ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုကောင်းမွန်ခြင်းနှင့် အလင်းပြန်မှုပွင့်လင်းမြင်သာမှုတို့၏ ဝိသေသလက္ခဏာများရှိသည်။
ဤဝိသေသလက္ခဏာများသည် PSS အား မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ဖိအားများကဲ့သို့သော ပြင်းထန်သောပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပြီး အလွန်ကောင်းမွန်သော အလင်းဆိုင်ရာစွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်စေပါသည်။

၃။ အလင်းစွမ်းအား
GaN နှင့် sapphire substrate အကြား interface ရှိ multiple scattering ကို ပြောင်းလဲခြင်းဖြင့် PSS သည် GaN အလွှာအတွင်း အပြည့်အဝ ထင်ဟပ်နေသော photons များကို sapphire substrate မှ လွတ်မြောက်ရန် အခွင့်အရေးရရှိစေသည်။
ဤအင်္ဂါရပ်သည် LED ၏ အလင်းထုတ်ယူမှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို သိသိသာသာ တိုးတက်ကောင်းမွန်စေပြီး LED ၏ တောက်ပမှုပြင်းထန်မှုကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

၄။ လုပ်ငန်းစဉ် ဝိသေသလက္ခဏာများ-
PSS ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် အတော်လေးရှုပ်ထွေးပြီး လစ်သိုဂရပ်ဖီနှင့် ထွင်းထုခြင်းကဲ့သို့သော အဆင့်များစွာပါဝင်ကာ မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှု လိုအပ်ပါသည်။
သို့သော် နည်းပညာ စဉ်ဆက်မပြတ် တိုးတက်နေခြင်းနှင့် ကုန်ကျစရိတ်များ လျှော့ချလာခြင်းနှင့်အတူ PSS ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်ကို တဖြည်းဖြည်း အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ပြီး တိုးတက်ကောင်းမွန်လာပါသည်။

အဓိကအားသာချက်

၁။ အလင်းထုတ်ယူမှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပါ- PSS သည် အလင်းပျံ့နှံ့မှုလမ်းကြောင်းကို ပြောင်းလဲခြင်းနှင့် စုစုပေါင်းရောင်ပြန်ဟပ်မှုကို လျှော့ချခြင်းဖြင့် LED ၏ အလင်းထုတ်ယူမှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

၂။ LED သက်တမ်းကို ရှည်စေသည်- PSS သည် GaN epitaxial ပစ္စည်းများ၏ dislocation density ကို လျှော့ချပေးနိုင်ပြီး၊ ထို့ကြောင့် active region ရှိ non-radiative recombination နှင့် reverse leakage current ကို လျှော့ချပေးပြီး LED ၏ သက်တမ်းကို ရှည်စေပါသည်။

၃။ LED တောက်ပမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေခြင်း- အလင်းထုတ်ယူမှု စွမ်းဆောင်ရည် တိုးတက်လာခြင်းနှင့် LED သက်တမ်း တိုးချဲ့ခြင်းကြောင့် PSS ရှိ LED တောက်ပမှု ပြင်းထန်မှုကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

၄။ ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပါ- PSS ၏ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် အတော်လေးရှုပ်ထွေးသော်လည်း LED ၏ တောက်ပမှုစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးတက်ကောင်းမွန်စေသောကြောင့် ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ လျှော့ချပေးပြီး ထုတ်ကုန်၏ ယှဉ်ပြိုင်နိုင်စွမ်းကို တိုးတက်ကောင်းမွန်စေပါသည်။

အဓိကအသုံးချနယ်ပယ်များ

၁။ LED မီးအလင်းရောင်- LED ချစ်ပ်များအတွက် အောက်ခံပစ္စည်းအဖြစ် PSS သည် LED ၏ တောက်ပမှုစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးတက်စေနိုင်သည်။
LED မီးအလင်းရောင်နယ်ပယ်တွင် PSS ကို လမ်းမီးများ၊ စားပွဲတင်မီးများ၊ ကားမီးများ စသည်တို့ကဲ့သို့သော မီးအလင်းရောင်ထုတ်ကုန်အမျိုးမျိုးတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။

၂။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ- LED မီးများအပြင်၊ PSS ကို အလင်းရှာဖွေစက်များ၊ လေဆာများ စသည်တို့ကဲ့သို့သော အခြားတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်ရာတွင်လည်း အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။ ဤပစ္စည်းများသည် ဆက်သွယ်ရေး၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာ၊ စစ်ရေးနှင့် အခြားနယ်ပယ်များတွင် ကျယ်ပြန့်သော အသုံးချမှုများရှိသည်။

၃။ Optoelectronic ပေါင်းစပ်မှု- PSS ၏ optical ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် တည်ငြိမ်မှုသည် optoelectronic ပေါင်းစပ်မှုနယ်ပယ်တွင် စံပြပစ္စည်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်စေသည်။ optoelectronic ပေါင်းစပ်မှုတွင် PSS ကို optical waveguides၊ optical switches နှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများပြုလုပ်ရန် အသုံးပြုနိုင်ပြီး optical signal များ၏ ထုတ်လွှင့်မှုနှင့် လုပ်ဆောင်မှုကို သဘောပေါက်စေသည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ

ပစ္စည်း	ပုံစံတူ နီလာအလွှာ (၂~၆ လက်မ)
အချင်း	၅၀.၈ ± ၀.၁ မီလီမီတာ	၁၀၀.၀ ± ၀.၂ မီလီမီတာ	၁၅၀.၀ ± ၀.၃ မီလီမီတာ
အထူ	၄၃၀ ± ၂၅ မိုက်ခရိုမီတာ	၆၅၀ ± ၂၅ မိုက်ခရိုမီတာ	၁၀၀၀ ± ၂၅ မိုက်ခရိုမီတာ
မျက်နှာပြင် အနေအထား	C-ပြား (၀၀၀၁) သည် M-ဝင်ရိုး (၁၀-၁၀) သို့ ထောင့်လွဲနေပါသည် ၀.၂ ± ၀.၁°
	C-ပြား (၀၀၀၁) သည် A-ဝင်ရိုး (၁၁-၂၀) သို့ ထောင့်လွဲနေသည် (၀ ± ၀.၁°)
အဓိက ပြားချပ်ချပ် အနေအထား	A-ပြား (၁၁-၂၀) ± ၁.၀°
အဓိကပြားချပ်အရှည်	၁၆.၀ ± ၁.၀ မီလီမီတာ	၃၀.၀ ± ၁.၀ မီလီမီတာ	၄၇.၅ ± ၂.၀ မီလီမီတာ
R-ပလက်ဖောင်း	၉ နာရီ
ရှေ့မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်	ပုံစံပြုလုပ်ထားသည်
နောက်ကျောမျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု	SSP: ကောင်းမွန်သောမြေပြင်၊ Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-ပွတ်တိုက်၊ Ra<0.3nm
လေဆာ အမှတ်အသား	နောက်ဘက်
တီတီဗီ	≤8μm	≤10μm	≤၂၀ မိုက်ခရိုမီတာ
ဘိုး	≤10μm	≤၁၅ မိုက်ခရိုမီတာ	≤၂၅ မိုက်ခရိုမီတာ
WARP	≤၁၂ မိုက်ခရိုမီတာ	≤၂၀ မိုက်ခရိုမီတာ	≤30μm
အနားသတ်ဖယ်ထုတ်ခြင်း	≤၂ မီလီမီတာ
ပုံစံသတ်မှတ်ချက်	ပုံသဏ္ဍာန်ဖွဲ့စည်းပုံ	ခုံး၊ ကွန်၊ ပိရမစ်
	ပုံစံအမြင့်	၁.၆~၁.၈ မိုက်ခရိုမီတာ
	ပုံစံအချင်း	၂.၇၅~၂.၈၅ မိုက်ခရိုမီတာ
	ပုံစံ နေရာလွတ်	၀.၁~၀.၃ မိုက်ခရိုမီတာ

XKH သည် ပုံစံတူ နီလာအောက်ခံ (PSS) ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး၊ ထုတ်လုပ်ရေးနှင့် ရောင်းချရေးတို့ကို အာရုံစိုက်ပြီး ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ ဖောက်သည်များအား အရည်အသွေးမြင့်၊ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် PSS ထုတ်ကုန်များ ပံ့ပိုးပေးရန် ကတိပြုထားသည်။ XKH တွင် အဆင့်မြင့် ထုတ်လုပ်မှုနည်းပညာနှင့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် နည်းပညာအဖွဲ့ရှိပြီး ၎င်းတို့သည် ဖောက်သည်များ၏ လိုအပ်ချက်များအလိုက် မတူညီသော သတ်မှတ်ချက်များနှင့် မတူညီသော ပုံစံဖွဲ့စည်းပုံများဖြင့် PSS ထုတ်ကုန်များကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ XKH သည် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးနှင့် ဝန်ဆောင်မှုအရည်အသွေးကို အာရုံစိုက်ပြီး ဖောက်သည်များအား နည်းပညာပံ့ပိုးမှုနှင့် ဖြေရှင်းချက်အပြည့်အစုံကို ပေးအပ်ရန် ကတိပြုထားသည်။ PSS နယ်ပယ်တွင်၊ XKH သည် ကြွယ်ဝသော အတွေ့အကြုံနှင့် အားသာချက်များကို စုဆောင်းထားပြီး LED မီးအလင်းရောင်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများနှင့် အခြားစက်မှုလုပ်ငန်းများ၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှု ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို ပူးတွဲမြှင့်တင်ရန် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ မိတ်ဖက်များနှင့် ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်ရန် မျှော်လင့်ပါသည်။