၏အားသာချက်များGlass မှတဆင့် (TGV)နှင့် TGV ဆိုင်ရာ Silicon Via (TSV) လုပ်ငန်းစဉ်များမှတဆင့် အဓိကအားဖြင့်-
(၁) အလွန်ကောင်းမွန်သော ကြိမ်နှုန်းမြင့်လျှပ်စစ်လက္ခဏာများ။ Glass material သည် insulator material ဖြစ်ပြီး dielectric constant သည် silicon material ၏ 1/3 ခန့်သာရှိပြီး ဆုံးရှုံးမှု factor သည် silicon material ထက် ပြင်းအား 2-3 orders နည်းပါးသောကြောင့် substrate loss နှင့် parasitic effect များကို များစွာလျှော့ချပေးပါသည်။ ထုတ်လွှင့်သော အချက်ပြ၏ ခိုင်မာမှုကို သေချာစေသည်။
(၂)အရွယ်အစားကြီးပြီး အလွန်ပါးလွှာသော ဖန်သားလွှာရရှိရန်လွယ်ကူသည်။ Corning၊ Asahi နှင့် SCHOTT နှင့် အခြားဖန်ထုတ်လုပ်သူများသည် အလွန်ကြီးမားသောအရွယ်အစား (>2m × 2m) နှင့် အလွန်ပါးလွှာသော (<50µm) panel glass နှင့် အလွန်ပါးလွှာသော ပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ်မှန်ပစ္စည်းများကို ပေးစွမ်းနိုင်ပါသည်။
3) ကုန်ကျစရိတ်သက်သာခြင်း။ ကြီးမားသောအရွယ်အစား အလွန်ပါးလွှာသောဖန်သားပြင်ကို လွယ်ကူစွာဝင်ရောက်နိုင်ခြင်းကြောင့် အကျိုးကျေးဇူးရပြီး insulating layers များထည့်သွင်းရန်မလိုအပ်ပါ၊ ဖန်ဒက်တာပန်းကန်၏ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်သည် ဆီလီကွန်အခြေခံဒက်တာပန်းကန်၏ 1/8 ခန့်သာရှိသည်။
4) ရိုးရှင်းသောလုပ်ငန်းစဉ်။ အလွှာမျက်နှာပြင်နှင့် TGV ၏အတွင်းနံရံတွင် insulating အလွှာတစ်ခုထည့်ရန်မလိုအပ်ဘဲ၊ အလွန်ပါးလွှာသော adapter plate တွင်ပါးလွှာရန်မလိုအပ်ပါ။
(၅) စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုအားကောင်းခြင်း။ adapter plate ၏အထူသည် 100µm ထက်နည်းသော်လည်း warpage သည် သေးငယ်နေသေးသည်။
(၆) ကျယ်ပြန့်သော applications များသည် wafer-wafer အဆင့်ထုပ်ပိုးမှုနယ်ပယ်တွင် ပေါ်ထွက်လာသော longitudinal interconnect နည်းပညာတစ်ခုဖြစ်ပြီး wafer-wafer အကြားအတိုဆုံးအကွာအဝေးကိုရရှိစေရန်၊ အပြန်အလှန်ချိတ်ဆက်မှု၏နိမ့်ဆုံး pitch သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော လျှပ်စစ်လမ်းကြောင်းအသစ်ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ၊ အပူပိုင်း၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ၊ RF ချစ်ပ်ရှိ၊ အဆင့်မြင့် MEMS အာရုံခံကိရိယာများ၊ သိပ်သည်းဆမြင့်မားသော စနစ်ပေါင်းစပ်မှုနှင့် ထူးခြားသော အားသာချက်များရှိသည့် အခြားနယ်ပယ်များ၊ သည် 5G၊ 6G ကြိမ်နှုန်းမြင့် ချစ်ပ် 3D ၏ မျိုးဆက်သစ်များအတွက် ပထမဆုံးရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။ မျိုးဆက်သစ် 5G နှင့် 6G ကြိမ်နှုန်းမြင့် ချစ်ပ်များ၏ 3D ထုပ်ပိုးမှု။
TGV ၏ ပုံသွင်းခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အဓိကအားဖြင့် သဲသောင်ထုတ်ခြင်း၊ ultrasonic တူးဖော်ခြင်း၊ စိုစွတ်သော etching၊ နက်ရှိုင်းသော ဓာတ်ပြုမှု ion etching၊ photosensitive etching၊ laser etching၊ laser-induced depth etching နှင့် discharge hole ဖွဲ့စည်းခြင်းတို့ကို အာရုံစိုက်ခြင်း ပါဝင်သည်။
မကြာသေးမီက သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုရလဒ်များက နည်းပညာသည် အပေါက်များနှင့် 5:1 မျက်မမြင်အပေါက်များကို အနက်မှ အကျယ်အချိုး 20:1 ဖြင့် ပြင်ဆင်နိုင်ပြီး ကောင်းမွန်သော ပုံသဏ္ဍာန်ရှိကြောင်း ပြသထားသည်။ သေးငယ်သော မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည့် လေဆာဖြင့် နက်ရှိုင်းစွာ ခြစ်ထုတ်ခြင်းသည် လက်ရှိတွင် လေ့လာအများဆုံး နည်းလမ်းဖြစ်သည်။ ပုံ 1 တွင်ပြထားသည့်အတိုင်း၊ သာမန်လေဆာတူးဖော်ခြင်းပတ်လည်တွင် သိသာထင်ရှားသောအက်ကွဲကြောင်းများရှိပြီး လေဆာဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော အနက်ရှိုင်းသော etching ၏ပတ်ဝန်းကျင်နှင့် ဘေးနံရံများသည် သန့်ရှင်းချောမွေ့နေပါသည်။
လုပ်ဆောင်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များTGVinterposer ကို ပုံ 2 တွင် ပြထားသည်။ ခြုံငုံအစီအစဥ်မှာ ဖန်သားကြမ်းလွှာပေါ်ရှိ အပေါက်များကို ဦးစွာတူးပြီး ဘေးဘက်နံရံနှင့် မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် မျိုးစေ့အလွှာနှင့် အတားအဆီးအလွှာကို အပ်နှံရန်ဖြစ်သည်။ အတားအဆီးအလွှာသည် ဖန်သားလွှာသို့ Cu ပျံ့နှံ့မှုကို ဟန့်တားပေးသည်၊ နှစ်ခု၏ ကပ်ငြိမှုကို တိုးမြင့်စေပြီး၊ အချို့သောလေ့လာမှုများတွင် အတားအဆီးအလွှာသည် မလိုအပ်ကြောင်းကိုလည်း တွေ့ရှိခဲ့သည်။ ထို့နောက် Cu ကို လျှပ်စစ်ပလပ်စတစ်ဖြင့် မြှုပ်နှံပြီး နှိမ့်ချကာ Cu အလွှာကို CMP ဖြင့် ဖယ်ရှားသည်။ နောက်ဆုံးတွင်၊ RDL rewiring layer ကို PVD coating lithography ဖြင့်ပြင်ဆင်ပြီး ကော်ကိုဖယ်ရှားပြီးနောက် passivation အလွှာကိုဖွဲ့စည်းသည်။
(က) wafer ပြင်ဆင်ခြင်း၊ (ခ) TGV ဖွဲ့စည်းခြင်း၊ (ဂ) နှစ်ထပ်လျှပ်စစ်ပလပ်ခြင်း - ကြေးနီကို အပ်နှံခြင်း၊ (ဃ) လိမ်းခြယ်ခြင်းနှင့် CMP ဓာတု-စက်မှုဆိုင်ရာ ပွတ်တိုက်ခြင်း၊ မျက်နှာပြင်ကြေးနီအလွှာကို ဖယ်ရှားခြင်း၊ (င) PVD အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် ပုံသဏ္ဍာန်တူခြင်း၊ ၊ (စ) RDL ပြန်လည်ဝါယာကြိုးအလွှာကို နေရာချထားခြင်း၊ (ဆ) degluing နှင့် Cu/Ti etching၊ (h) passivation အလွှာဖွဲ့စည်းခြင်း။
အကျဥ်းရုံးသည်,အပေါက်ဖောက်ဖန် (TGV)အပလီကေးရှင်းအလားအလာများသည် ကျယ်ပြန့်ပြီး လက်ရှိပြည်တွင်းဈေးကွက်သည် မြင့်တက်လာသည့်အဆင့်တွင် ရှိနေပြီး၊ စက်ကိရိယာများမှ ထုတ်ကုန်ဒီဇိုင်းနှင့် သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှုန်းသည် ကမ္ဘာ့ပျမ်းမျှထက် ပိုမိုမြင့်မားနေသည်။
ချိုးဖောက်မှုရှိပါက ဖျက်ရန် ဆက်သွယ်ပါ။
တင်ချိန်- ဇူလိုင် ၁၆-၂၀၂၄