ခေါင်းစဉ်: ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးမှာ FOUP ဆိုတာဘာလဲ။

မာတိကာ

၁။ FOUP ၏ ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်နှင့် အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်များ

၂။ FOUP ၏ ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် ဒီဇိုင်းအင်္ဂါရပ်များ

၃။ FOUP ၏ အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်းနှင့် အသုံးချမှုလမ်းညွှန်ချက်များ

၄။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင် FOUP ၏ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုနှင့် အရေးပါမှု

၅။ နည်းပညာဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုများနှင့် အနာဂတ်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုလမ်းကြောင်းများ

၆။ XKH ၏ စိတ်ကြိုက်ဖြေရှင်းချက်များနှင့် ဝန်ဆောင်မှုပံ့ပိုးမှု

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်တွင် Front Opening Unified Pod (FOUP) သည် ဝေဖာများကို ကာကွယ်ခြင်း၊ သယ်ယူပို့ဆောင်ခြင်းနှင့် သိမ်းဆည်းခြင်းအတွက် အသုံးပြုသည့် အရေးကြီးသော ကွန်တိန်နာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ အတွင်းပိုင်းတွင် ၃၀၀ မီလီမီတာ ဝေဖာ အပိုင်း ၂၅ ခု ထည့်သွင်းနိုင်ပြီး ၎င်း၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများတွင် ရှေ့ဖွင့်ကွန်တိန်နာနှင့် ဖွင့်/ပိတ်ရန်အတွက် သီးသန့်တံခါးဘောင်တစ်ခု ပါဝင်သည်။ FOUP သည် ၁၂ လက်မ ဝေဖာစက်ရုံများအတွင်းရှိ အလိုအလျောက် သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးစနစ်၏ အဓိက သယ်ဆောင်ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းကို ပုံမှန်အားဖြင့် ပိတ်ထားသော အခြေအနေတွင် သယ်ယူပို့ဆောင်ပြီး စက်ပစ္စည်း၏ ဝန်တင်ပေါက်သို့ တွန်းပို့မှသာ ပွင့်ပြီး ဝေဖာများကို စက်ပစ္စည်း၏ တင်/ချပေါက်သို့ လွှဲပြောင်းနိုင်စေပါသည်။

FOUP ၏ ဒီဇိုင်းကို အဏုကြည့်ပတ်ဝန်းကျင် လိုအပ်ချက်များနှင့် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်းတွင် wafer ထည့်သွင်းရန်အတွက် နောက်ဘက်တွင် slot များ ပါရှိပြီး အဖုံးကို opener ၏ clamp နှင့် ကိုက်ညီစေရန် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ Wafer ကိုင်တွယ်သည့် စက်ရုပ်များသည် Class 1 သန့်ရှင်းသောလေထုပတ်ဝန်းကျင်တွင် လည်ပတ်ပြီး transmission အတွင်း wafer များ မညစ်ညမ်းစေရန် သေချာစေသည်။ ထို့အပြင်၊ FOUP ကို ​​automated material handling system (AMHS) မှတစ်ဆင့် process tools များအကြား ရွှေ့ပြောင်းသည်။ ခေတ်မီ wafer fabs များသည် သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးအတွက် overhead rail systems များကို အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြပြီး၊ အဟောင်း fabs အနည်းငယ်တွင် ground-based automated guided vehicles (AGVs) များကို အသုံးပြုနိုင်သည်။

FOUP သည် အလိုအလျောက် wafer လွှဲပြောင်းမှုကို ပြုလုပ်နိုင်ရုံသာမက သိုလှောင်မှုလုပ်ဆောင်ချက်ကိုလည်း ဆောင်ရွက်ပေးပါသည်။ ထုတ်လုပ်မှုအဆင့်များစွာကြောင့် wafer များသည် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးပြီးစီးရန် လပေါင်းများစွာကြာနိုင်သည်။ လစဉ်ထုတ်လုပ်မှုပမာဏမြင့်မားခြင်းနှင့် ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ၊ ၎င်းသည် fab တစ်ခုအတွင်းရှိ wafer ထောင်ပေါင်းများစွာသည် မည်သည့်အချိန်တွင်မဆို အဆက်မပြတ်သယ်ယူပို့ဆောင်ခြင်း သို့မဟုတ် ယာယီသိုလှောင်မှုတွင် ရှိနေသည်ဟု ဆိုလိုသည်။ သိုလှောင်မှုအတွင်း၊ ညစ်ညမ်းပစ္စည်းများသည် wafer များနှင့်ထိတွေ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် FOUP များကို နိုက်ထရိုဂျင်ဖြင့် အခါအားလျော်စွာ သန့်စင်ပေးပြီး သန့်ရှင်းပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်ကို သေချာစေသည်။

၁။ FOUP ၏ လုပ်ဆောင်ချက်များနှင့် အရေးပါမှု

FOUP ၏ အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ ဝေဖာများကို ပြင်ပတုန်ခါမှုနှင့် ညစ်ညမ်းမှုမှ ကာကွယ်ပေးရန်၊ အထူးသဖြင့် လွှဲပြောင်းစဉ်အတွင်း ထွက်နှုန်းအပေါ် သက်ရောက်မှုများကို ရှောင်ရှားရန်ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်ခြင်းနှင့် ဒေသတွင်းလေထုထိန်းချုပ်မှု (LAC) ကဲ့သို့သော နည်းလမ်းများဖြင့် အစိုဓာတ်ကို ထိရောက်စွာ ကာကွယ်ပေးပြီး နောက်ထုတ်လုပ်မှုအဆင့်ကို စောင့်ဆိုင်းနေစဉ် ဝေဖာများသည် ဘေးကင်းသောအခြေအနေတွင် ရှိနေစေရန် သေချာစေသည်။ ၎င်း၏ တံဆိပ်ခတ်ပြီး ထိန်းချုပ်ထားသောစနစ်သည် လိုအပ်သောဒြပ်ပေါင်းများနှင့် ဒြပ်စင်များကိုသာ ဝင်ရောက်ခွင့်ပြုပြီး VOCs၊ အောက်ဆီဂျင်နှင့် အစိုဓာတ်၏ ဝေဖာများအပေါ် ဆိုးကျိုးများကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးသည်။

ဝေဖာ ၂၅ ခုဖြင့် အပြည့်အဝတင်ဆောင်ထားသော FOUP သည် ၉ ကီလိုဂရမ်အထိ အလေးချိန်ရှိနိုင်သောကြောင့် ၎င်း၏သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးသည် အလိုအလျောက်ပစ္စည်းကိုင်တွယ်မှုစနစ် (AMHS) ကို အားကိုးရမည်ဖြစ်သည်။ ၎င်းကိုလွယ်ကူချောမွေ့စေရန်အတွက် FOUP ကို ​​ချိတ်ဆက်ပြားများ၊ တံသင်များနှင့် အပေါက်များ ပေါင်းစပ်မှုအမျိုးမျိုးဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး အလွယ်တကူ ခွဲခြားသတ်မှတ်နိုင်စေရန်အတွက် RFID အီလက်ထရွန်းနစ်တဂ်များ တပ်ဆင်ထားသည်။ ဤအလိုအလျောက်ကိုင်တွယ်မှုသည် လက်ဖြင့်လုပ်ဆောင်မှုမလိုအပ်သလောက်ဖြစ်ပြီး အမှားအယွင်းနှုန်းကို သိသိသာသာလျှော့ချပေးပြီး ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ ဘေးကင်းမှုနှင့် တိကျမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်။

၂။ FOUP ၏ ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်း

FOUP ၏ ပုံမှန်အတိုင်းအတာများမှာ အနံ ၄၂၀ မီလီမီတာ၊ အနက် ၃၃၅ မီလီမီတာ နှင့် အမြင့် ၃၃၅ မီလီမီတာခန့်ရှိသည်။ ၎င်း၏ အဓိကဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများတွင် အောက်ပါတို့ ပါဝင်သည်- အပေါ်မှ ဝန်တင်စက်ဖြင့် သယ်ယူပို့ဆောင်ရန်အတွက် အပေါ် OHT (မှိုခေါင်း)၊ စက်ပစ္စည်းဝေဖာဝင်ရောက်ရန်အတွက် ရှေ့တံခါး၊ ညစ်ညမ်းမှုအဆင့်အမျိုးမျိုးရှိသော လုပ်ငန်းစဉ်ဧရိယာများကို ခွဲခြားရန် မကြာခဏ အရောင်ကုဒ်ဖြင့်ဖော်ပြထားသော ဘေးလက်ကိုင်များ၊ မက်ဆေ့ချ်ကတ်များထည့်ရန် ကတ်ဧရိယာနှင့် FOUP အတွက် ထူးခြားသော အမှတ်အသားအဖြစ် ဆောင်ရွက်သည့် အောက်ခြေ RFID တဂ်တစ်ခု၊ ကိရိယာများနှင့် အပေါ်မှ ဝန်တင်စက်များဖြင့် ၎င်းကို မှတ်မိနိုင်စေပါသည်။ အောက်ခြေတွင် ကိရိယာများနှင့် ကိုက်ညီစေရန်နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဧရိယာများကို ခွဲခြားသတ်မှတ်ရန်အတွက် ခွဲခြားသတ်မှတ်ခြင်းနှင့် နေရာချထားခြင်းအပေါက်လေးပေါက်လည်း တပ်ဆင်ထားသည်။

အသုံးပြုပုံအပေါ်အခြေခံ၍ FOUP များကို အမျိုးအစားသုံးမျိုးခွဲခြားထားသည်- PRD (ထုတ်လုပ်မှုအတွက်)၊ ENG (အင်ဂျင်နီယာဝေဖာများအတွက်) နှင့် MON (မော်နီတာဝေဖာများအတွက်)။ PRD FOUP များကို ထုတ်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုအတွက် အသုံးပြုနိုင်ပြီး ENG အမျိုးအစားများသည် R&D သို့မဟုတ် စမ်းသပ်မှုများအတွက် သင့်လျော်ပြီး MON အမျိုးအစားများသည် CMP နှင့် DIFF ကဲ့သို့သော အဆင့်များအတွက် လုပ်ငန်းစဉ်စောင့်ကြည့်ရန်အတွက် ရည်ရွယ်ပါသည်။ PRD FOUP များကို ENG နှင့် MON ရည်ရွယ်ချက်နှစ်မျိုးလုံးအတွက် အသုံးပြုနိုင်ပြီး ENG အမျိုးအစားများကို MON အတွက် အသုံးပြုနိုင်သော်လည်း ပြောင်းပြန်လုပ်ဆောင်ချက်သည် အရည်အသွေးအန္တရာယ်များကို ဖြစ်စေကြောင်း မှတ်သားထားရန် အရေးကြီးပါသည်။

ညစ်ညမ်းမှုအဆင့်အလိုက် အမျိုးအစားခွဲခြားထားသော FOUP များကို FE FOUP (ရှေ့ပိုင်းလုပ်ငန်းစဉ်၊ သတ္တုမပါ)၊ BE FOUP (နောက်ဘက်လုပ်ငန်းစဉ်၊ သတ္တုပါဝင်သည်) နှင့် NI FOUP၊ CU FOUP နှင့် CO FOUP ကဲ့သို့သော သီးခြားသတ္တုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးပြုလုပ်ထားသော FOUP များအဖြစ် ခွဲခြားနိုင်သည်။ မတူညီသောလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် FOUP များကို ဘေးလက်ကိုင်များ သို့မဟုတ် တံခါးပြားများ၏ အရောင်ဖြင့် ခွဲခြားလေ့ရှိသည်။ ရှေ့ပိုင်းလုပ်ငန်းစဉ်များမှ FOUP များကို နောက်ဘက်လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုနိုင်သော်လည်း နောက်ဘက် FOUP များကို ရှေ့ပိုင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးမပြုရပါ၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ၎င်းသည် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို ဖြစ်စေနိုင်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အဓိက သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးကုမ္ပဏီတစ်ခုအနေဖြင့် FOUP သည် မြင့်မားသော အလိုအလျောက်စနစ်နှင့် တင်းကျပ်သော ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်မှုမှတစ်ဆင့် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဝေဖာများ၏ ဘေးကင်းမှုနှင့် သန့်ရှင်းမှုကို သေချာစေပြီး ခေတ်မီဝေဖာစက်ရုံများတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အခြေခံအဆောက်အအုံတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။

နိဂုံးချုပ်

XKH သည် သင့်လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များနှင့် စက်ပစ္စည်းမျက်နှာပြင်သတ်မှတ်ချက်များကို တင်းကြပ်စွာလိုက်နာပြီး ဖောက်သည်များအား အလွန်စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ထားသော Front-Opening Unified Pod (FOUP) ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်။ အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းနည်းပညာနှင့် တိကျသောထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များကို အသုံးပြု၍ FOUP ထုတ်ကုန်တိုင်းသည် ထူးကဲသောလေလုံမှု၊ သန့်ရှင်းမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းနိုင်ကြောင်း ကျွန်ုပ်တို့သေချာစေပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏နည်းပညာအဖွဲ့သည် နက်ရှိုင်းသောစက်မှုလုပ်ငန်းကျွမ်းကျင်မှုရှိပြီး ရွေးချယ်မှုဆိုင်ရာတိုင်ပင်ဆွေးနွေးမှုနှင့်ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာအကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းမှသည် သန့်ရှင်းရေးနှင့်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုအထိ ပြည့်စုံသောသက်တမ်းစက်ဝန်းပံ့ပိုးမှုကို ပေးဆောင်ပြီး FOUP နှင့် သင့်အလိုအလျောက်ပစ္စည်းကိုင်တွယ်မှုစနစ် (AMHS) အပြင် လုပ်ငန်းစဉ်စက်ပစ္စည်းများအကြား ချောမွေ့စွာပေါင်းစပ်မှုနှင့် ထိရောက်သောပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုကို သေချာစေသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဝေဖာများ၏ဘေးကင်းမှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းတိုးမြှင့်ခြင်းကို ကျွန်ုပ်တို့၏အဓိကရည်မှန်းချက်များအဖြစ် အဆက်မပြတ်ဦးစားပေးပါသည်။ ဆန်းသစ်သောထုတ်ကုန်များနှင့် အားလုံးပါဝင်သောနည်းပညာဝန်ဆောင်မှုများမှတစ်ဆင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သင့် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ခိုင်မာသောအာမခံချက်ကို ပေးဆောင်ပြီး နောက်ဆုံးတွင် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုနှင့် ထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။