ပရီမီယံ နီလာ မြှင့်တင်တံများ တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲ Al₂O₃ ဝေဖာ မြှင့်တင်တံ
နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ
| ဓာတုဗေဒဖွဲ့စည်းမှု | အယ်လ်၂အို၃ |
| မာကျောမှု | ၉ မိုစ် |
| မျက်စိဆိုင်ရာ သဘောသဘာဝ | တစ်ဘက်ဝင် |
| အလင်းယိုင်ညွှန်းကိန်း | ၁.၇၆၂-၁.၇၇၀ |
| ဘိုင်ဖရင်းဂျင့်စ် | ၀.၀၀၈-၀.၀၁၀ |
| ပျံ့နှံ့မှု | အနိမ့်ဆုံး၊ ၀.၀၁၈ |
| တောက်ပမှု | မှန်ဘီလူး |
| ပလီအိုခရိုဝါဒ | အလယ်အလတ်မှ ပြင်းထန်သော |
| အချင်း | ၀.၄ မီလီမီတာ - ၃၀ မီလီမီတာ |
| အချင်းသည်းခံနိုင်မှု | ၀.၀၀၄ မီလီမီတာ - ၀.၀၅ မီလီမီတာ |
| အရှည် | ၂ မီလီမီတာ - ၁၅၀ မီလီမီတာ |
| အရှည်သည်းခံမှု | ၀.၀၃ မီလီမီတာ - ၀.၂၅ မီလီမီတာ |
| မျက်နှာပြင် အရည်အသွေး | ၄၀/၂၀ |
| မျက်နှာပြင် လုံးဝန်းခြင်း | RZ၀.၀၅ |
| စိတ်ကြိုက်ပုံသဏ္ဍာန် | နှစ်ဖက်စလုံး ပြားချပ်ချပ်၊ တစ်ဖက်စွန်း အနီရောင်၊ နှစ်ဖက်စလုံး መልእክት၊ ကုန်းနှီးတံများနှင့် အထူးပုံသဏ္ဍာန်များ |
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ
၁။ ထူးကဲသော မာကျောမှုနှင့် ဟောင်းနွမ်းမှုဒဏ်ခံနိုင်မှု- စိန်ပြီးလျှင် ဒုတိယနေရာတွင်ရှိသော Mohs မာကျောမှုအဆင့်သတ်မှတ်ချက် ၉ ရှိသော Sapphire Lift Pins များသည် ရိုးရာ silicon carbide၊ alumina ceramic သို့မဟုတ် metal alloy အစားထိုးပစ္စည်းများထက် သိသိသာသာ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဟောင်းနွမ်းမှုဝိသေသလက္ခဏာများကို ပြသသည်။ ဤအလွန်အမင်း မာကျောမှုသည် အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုလိုအပ်ချက်များကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးပြီး ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းသည် နှိုင်းယှဉ်နိုင်သော အသုံးချမှုများတွင် ရိုးရာပစ္စည်းများထက် ၃-၅ ဆ ပိုရှည်သည်။
၂။ သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်မြင့်မားမှုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း- ယိုယွင်းပျက်စီးခြင်းမရှိဘဲ ၁၀၀၀ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်ထက်ကျော်လွန်သော အပူချိန်တွင် ရေရှည်လည်ပတ်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော Sapphire Lift Pins များသည် အလိုအပ်ဆုံး အပူလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာခိုင်ခံ့မှုကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ၎င်းသည် ၎င်းတို့ကို ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (CVD)၊ သတ္တု-အော်ဂဲနစ်ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (MOCVD) နှင့် အပူချဲ့ထွင်မှု မကိုက်ညီမှုကြောင့် လုပ်ငန်းစဉ်အထွက်နှုန်းကို ထိခိုက်စေနိုင်သည့် အပူချိန်မြင့် အပူပေးစနစ်များကဲ့သို့သော အရေးကြီးသော အသုံးချမှုများအတွက် အထူးတန်ဖိုးရှိစေသည်။
၃။ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုမရှိခြင်း- တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲ နီလာဖွဲ့စည်းပုံသည် HF အက်ဆစ်၊ ကလိုရင်းအခြေခံ ဓာတုဗေဒပစ္စည်းများနှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် အဖြစ်များသော အခြားပြင်းထန်သော လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များမှ တိုက်ခိုက်မှုကို သိသိသာသာ ခံနိုင်ရည်ရှိကြောင်း ပြသထားသည်။ ဤဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှုသည် ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်တွင် တသမတ်တည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေပြီး wafer ညစ်ညမ်းမှုကို ဦးတည်စေနိုင်သည့် မျက်နှာပြင်ချို့ယွင်းချက်များ ဖြစ်ပေါ်ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးသည်။
၄။ အမှုန်အမွှားညစ်ညမ်းမှုနည်းပါးခြင်း- အပြစ်အနာအဆာကင်းစင်ပြီး မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော နီလာပုံဆောင်ခဲများ (ပုံမှန်အားဖြင့် >99.99%) မှ ထုတ်လုပ်ထားသော ဤ lift pin များသည် ကြာရှည်စွာအသုံးပြုပြီးနောက်တွင်ပင် အမှုန်အမွှားများ အနည်းဆုံးသာ ကွာကျမှုကို ပြသသည်။ ၎င်းတို့၏ အပေါက်မပါသော မျက်နှာပြင်ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် ඔප දැමීමများသည် အတင်းကျပ်ဆုံး cleanroom လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပြီး အဆင့်မြင့် node semiconductor ထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် လုပ်ငန်းစဉ်အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်လာစေရန် တိုက်ရိုက်အထောက်အကူပြုသည်။
မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော စက်ယန္တရား- အဆင့်မြင့်စိန်ကြိတ်ခွဲခြင်းနှင့် လေဆာလုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းပညာများကို အသုံးပြု၍ Sapphire Lift Pins များကို sub-micron ခံနိုင်ရည်များနှင့် 0.05μm Ra အောက် မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်များဖြင့် ထုတ်လုပ်နိုင်သည်။ tapered profiles၊ အထူး tip configurations နှင့် integrated alignment features များအပါအဝင် စိတ်ကြိုက် geometries များကို နောက်မျိုးဆက် ထုတ်လုပ်ရေးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် သီးခြား wafer ကိုင်တွယ်မှုစိန်ခေါ်မှုများကို ဖြေရှင်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်နိုင်သည်။
အဓိကအသုံးချမှုများ
၁။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်း- Sapphire Lift Pins များသည် အဆင့်မြင့် wafer လုပ်ငန်းစဉ်စနစ်များတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပြီး photolithography၊ etching၊ deposition နှင့် inspection လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပံ့ပိုးမှုနှင့် တိကျသော နေရာချထားမှုကို ပေးစွမ်းပါသည်။ ၎င်းတို့၏ အပူနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုသည် နာနိုမီတာ စကေးများတွင် အတိုင်းအတာ တည်ငြိမ်မှု မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည့် EUV lithography tools များနှင့် အဆင့်မြင့် packaging applications များတွင် အထူးတန်ဖိုးရှိစေသည်။
၂။LED Epitaxy (MOCVD): gallium nitride (GaN) နှင့် ဆက်စပ်သော ဒြပ်ပေါင်း semiconductor epitaxial ကြီးထွားမှုစနစ်များတွင်၊ Sapphire Lift Pins များသည် မကြာခဏ 1000°C ထက်ကျော်လွန်သော အပူချိန်များတွင် တည်ငြိမ်သော wafer အထောက်အပံ့ကို ပေးစွမ်းသည်။ ၎င်းတို့၏ sapphire substrates နှင့် ကိုက်ညီသော thermal expansion ဝိသေသလက္ခဏာများသည် epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer bowing နှင့် slip ဖွဲ့စည်းခြင်းကို လျော့နည်းစေသည်။
၃။ ဓာတ်အားလျှပ်စစ်စက်မှုလုပ်ငန်း- မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်မှုသည် အပူချိန်မြင့်မားသောပျံ့နှံ့မှု၊ sintering နှင့် thin-film deposition လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် sapphire ၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများမှ အကျိုးကျေးဇူးရရှိပါသည်။ တံသင်များ၏ ဟောင်းနွမ်းမှုခံနိုင်ရည်သည် အစိတ်အပိုင်းများ၏သက်တမ်းသည် ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို တိုက်ရိုက်သက်ရောက်မှုရှိသည့် အစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အထူးတန်ဖိုးရှိပါသည်။
၄။ တိကျသောအလင်းပညာနှင့်အီလက်ထရွန်းနစ်လုပ်ငန်းစဉ်- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအသုံးချမှုများထက် ကျော်လွန်၍ Sapphire Lift Pins များသည် ညစ်ညမ်းမှုကင်းစင်သော လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် ခြစ်ရာကာကွယ်မှု အရေးကြီးသည့် နူးညံ့သိမ်မွေ့သောအလင်းပညာအစိတ်အပိုင်းများ၊ MEMS စက်ပစ္စည်းများနှင့် အထူးအလွှာများကို ကိုင်တွယ်ရာတွင် အသုံးပြုပါသည်။ ၎င်းတို့၏ လျှပ်စစ်လျှပ်ကာဂုဏ်သတ္တိများသည် လျှပ်စစ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းကို အာရုံခံနိုင်သော စက်ပစ္စည်းများပါဝင်သည့် အသုံးချမှုများအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်စေသည်။
XKH ရဲ့ sapphire lift pin တွေအတွက် ဝန်ဆောင်မှုများ
XKH သည် Sapphire Lift Pins အတွက် ပြည့်စုံသော နည်းပညာပံ့ပိုးမှုနှင့် စိတ်ကြိုက်ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးဆောင်သည်-
၁။ စိတ်ကြိုက် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး ဝန်ဆောင်မှုများ
· အတိုင်းအတာ၊ ဂျီဩမေတြီနှင့် မျက်နှာပြင်ကုသမှု စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်မှုအတွက် ပံ့ပိုးမှု
· ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုနှင့် နည်းပညာဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းဆိုင်ရာ အကြံပြုချက်များ
· ပူးပေါင်းထုတ်ကုန်ဒီဇိုင်းနှင့် သရုပ်ဖော်အတည်ပြုခြင်း
၂။ တိကျသော ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်များ
· ±1μm အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသော သည်းခံနိုင်စွမ်းဖြင့် မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော စက်ဖြင့် ပြုပြင်ခြင်း
· မှန်ကို ඔප දැමීමနှင့် အနားသတ်များ ချွန်ထက်စေခြင်း အပါအဝင် အထူးကုသမှုများ
· ကပ်ငြိမှုကင်းသော အပေါ်ယံလွှာများကဲ့သို့သော ရွေးချယ်နိုင်သော မျက်နှာပြင်ပြုပြင်မွမ်းမံခြင်း ဖြေရှင်းချက်များ
၃။ အရည်အသွေးအာမခံစနစ်
· ဝင်လာသော ပစ္စည်းစစ်ဆေးခြင်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှုကို တင်းကျပ်စွာ အကောင်အထည်ဖော်ခြင်း
· အပြည့်အဝ ရှုထောင့်မှန်ဘီလူးစစ်ဆေးခြင်းနှင့် မျက်နှာပြင်ပုံသဏ္ဍာန် ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း
· ထုတ်ကုန်စွမ်းဆောင်ရည်စမ်းသပ်မှုအစီရင်ခံစာများ ပံ့ပိုးပေးခြင်း
၄။ ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်ဝန်ဆောင်မှုများ
· စံထုတ်ကုန်များကို လျင်မြန်စွာ ပို့ဆောင်ပေးခြင်း
· အဓိကအကောင့်များအတွက် သီးသန့်စာရင်းစီမံခန့်ခွဲမှု
၅။ နည်းပညာပံ့ပိုးမှု
· အပလီကေးရှင်းဖြေရှင်းချက် အတိုင်ပင်ခံပေးခြင်း
· ရောင်းချပြီးနောက် လျင်မြန်စွာ တုံ့ပြန်မှု
ကျွန်ုပ်တို့သည် semiconductor၊ LED နှင့် အခြားအဆင့်မြင့်စက်မှုလုပ်ငန်းများ၏ တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် အရည်အသွေးမြင့် Sapphire Lift Pins ထုတ်ကုန်များနှင့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်နည်းပညာဝန်ဆောင်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးရန် ကတိပြုပါသည်။
